招商证券股份有限公司关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司部分募集资金投资项目增加实施主体暨新增募集资金专户的核查意
见
招商证券股份有限公司（以下简称“招商证券”或“保荐机构”）作为矽电半导体设备（深圳）股份有限公司（以下简称“矽电股份”或“公司”）首次公开发行股票并在创业板上市的保荐人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《深圳证券交易所创业板股票上市规则》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》等有关规定，对矽电股份部分募集资金投资项目增加实施主体暨新增募集资金专户的事项进行了核查，具体情况如下：
一、本次募集资金的基本情况
经中国证券监督管理委员会《关于同意矽电半导体设备（深圳）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕138号）同意注册，并经深圳证券交易所同意，公司首次向社会公开发行人民币普通股股票1,043.1819万股，每股面值1.00元，发行价格为人民币52.28元/股。本次募集资金总额为人民币54,537.55万元，扣除发行费用后，实际募集资金净额为人民币46,352.87万元。
上述募集资金已于2025年3月17日划至公司募集资金专项账户，容诚会计师事务所（特殊普通合伙）已对公司募集资金的到位情况进行了审验，并于当日出具《验资报告》（容诚验字[2025]100Z0015号）。公司已与存放募集资金的商业银行、保荐机构签署了募集资金三方监管协议。
二、募集资金投资项目基本情况
根据《矽电半导体设备（深圳）股份有限公司首次公开发行股票并在创业板上市招股说明书》及第二届董事会第十六次会议和第二届监事会第十三次会议审
议通过《关于调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的议案》的相关内容，公司本次发行募集资金投资项目调整后的募集资金使用计划如下：
单位：万元序号 项目 拟投资总额
调整前拟投入募集资金金额
调整后募集资金
拟投资额
探针台研发及产业基地建设
项目
26,127.08 26,127.08 21,700.002 分选机技术研发项目 8,005.71 8,005.71 6,600.003 营销服务网络升级建设项目 5,454.72 5,454.72 4,500.004 补充流动资金 16,000.00 16,000.00 13,552.87
合计 55,587.51 55,587.51 46,352.87注：如上表各分项之和与合计数在尾数上存在差异，均系由四舍五入造成。
三、本次部分募集资金投资项目增加实施主体暨新增募集资金专户具体情
况
（一）本次部分募投项目增加实施主体的具体情况
为有效整合公司内部资源，提高募集资金的使用效率，加快募集资金投资项目的实施进度，公司决定新增全资子公司矽旺科技（深圳）有限公司（以下简称“矽旺科技”）作为募投项目“探针台研发及产业基地建设项目”的实施主体之一。新增实施主体的具体情况如下：
项目 变更事项 变更前 变更后探针台研发及产业基地建设项目
新增实施主体
矽电股份
矽电股份、矽旺科
技本次部分募投项目拟增加的实施主体为公司全资子公司，不存在改变募投项目实施方式、实施地点、建设内容、募集资金投资用途及投资规模的情形，不会对募投项目的实施产生实质性的影响，无需提交股东大会审议。
（二）本次部分募投项目新增实施主体的基本情况
企业名称 矽旺科技（深圳）有限公司法定代表人 何沁修注册资本 600万元
统一社会信用代码 91440300MA5F388D5J营业期限 2018-04-18至无固定期限经营场所
深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房五层西区-
经营范围
计算机软硬件的技术开发、技术测试、技术转让、技术服务及销售；智能程序软件的技术开发、服务、技术咨询及销售；技术咨询；数据库服务；集成电路设计、研发；计算机系统集成；经营
电子商务股权结构 公司全资子公司
（三）本次部分募投项目新增募集资金专户的情况
为确保募集资金规范管理，新增募投项目实施主体后，矽旺科技拟开立募集资金专户，用于“探针台研发及产业基地建设项目”投入募集资金的存放、管理和使用。董事会授权公司管理层办理开户、签订募集资金监管协议等与新增募集资金专户相关具体事宜。公司及全资子公司矽旺科技将根据《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《深圳证券交易所创业板股票上市规则》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》等相关法律法规及公司《募集资金使用管理制度》实施监管。
（四）本次部分募投项目新增实施主体的原因及影响
公司本次新增全资子公司矽旺科技作为募集资金投资项目“探针台研发及产业基地建设项目”的实施主体，是公司基于未来整体发展战略和募投项目实施作出的审慎决定，本次调整后将有利于保障募投项目的顺利实施，提高资金使用效率，不存在变相改变募集资金投向和损害股东利益的情形。
四、审议程序及专项意见
（一）董事会意见
2025年4月14日，公司召开第二届董事会第十六会议审议通过了《关于部分募集资金投资项目增加实施主体暨新增募集资金专户的议案》，同意公司本次新增全资子公司矽旺科技作为募集资金投资项目“探针台研发及产业基地建设项目”的实施主体，并授权公司管理层办理开户、签订募集资金监管协议等与新增
募集资金专户相关具体事宜。董事会认为：本次新增募集资金投资项目实施主体系公司的全资子公司，纳入公司合并报表范围内，本次调整未改变募集资金的用途及募投项目的实施方式和建设内容，不会对募投项目的实施造成实质性影响，有助于优化公司内部资源配置，充分发挥公司与全资子公司之间的业务协同效应，提高公司整体运营及管理效率，符合公司的长远规划和发展战略，不存在损害公司和全体股东利益的情形。
（二）监事会意见
2025年4月14日，公司召开第二届监事会第十三次会议审议通过了《关于部分募集资金投资项目增加实施主体暨新增募集资金专户的议案》。
监事会认为：本次部分募集资金投资项目增加实施主体暨新增募集资金专户事项是公司根据项目实施的实际情况做出的审慎决定，符合公司实际经营状况和未来发展需要，有利于募集资金投资项目顺利实施，有利于提高募集资金使用效果，不影响募集资金投资项目的实施内容，未改变募集资金的投资方向及内容，不会对募集资金投资项目产生实质性影响，不存在变相改变募集资金投向和损害公司股东利益的情况，不会对公司经营、财务状况产生不利影响。因此，一致同意公司本次部分募集资金投资项目增加实施主体暨新增募集资金专户的事项。
五、保荐机构核查意见
经核查，保荐机构认为：
矽电股份本次部分募集资金投资项目增加实施主体暨新增募集资金专户事项已经上市公司董事会及监事会审议通过，履行了必要的内部审批程序，符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《深圳证券交易所创业板股票上市规则》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》等相关法律法规的规定要求，不存在变相改变募集资金用途的情况，不存在损害公司及股东利益的情形。
综上，保荐机构对公司本次部分募集资金投资项目增加实施主体暨新增募集资金专户事项无异议。