招商证券股份有限公司关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的核查
意见
招商证券股份有限公司（以下简称“招商证券”或“保荐机构”）作为矽电半导体设备（深圳）股份有限公司（以下简称“矽电股份”或“公司”）首次公开发行股票并在创业板上市的保荐人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《深圳证券交易所创业板股票上市规则》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》等有关规定，对矽电股份使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的事项进行了核查，具体情况如下：
一、本次募集资金的基本情况
经中国证券监督管理委员会《关于同意矽电半导体设备（深圳）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕138号）同意注册，并经深圳证券交易所同意，公司首次向社会公开发行人民币普通股股票1,043.1819万股，每股面值1.00元，发行价格为人民币52.28元/股。本次募集资金总额为人民币54,537.55万元，扣除发行费用后，实际募集资金净额为人民币46,352.87万元。
上述募集资金已于2025年3月17日划至公司募集资金专项账户，容诚会计师事务所（特殊普通合伙）已对公司募集资金的到位情况进行了审验，并于当日出具《验资报告》（容诚验字[2025]100Z0015号）。公司已与存放募集资金的商业银行、保荐机构签署了募集资金三方监管协议。
二、募集资金投资项目基本情况
根据《矽电半导体设备（深圳）股份有限公司首次公开发行股票并在创业板上市招股说明书》及第二届董事会第十六次会议和第二届监事会第十三次会议审
议通过《关于调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的议案》的相关内容，公司本次发行募集资金投资项目调整后的募集资金使用计划如下：
单位：万元序号
项目 拟投资总额
调整前拟投入募集资金金额
调整后募集资金拟投资额1 探针台研发及产业基地建设项目 26,127.08 26,127.08 21,700.002 分选机技术研发项目 8,005.71 8,005.71 6,600.003 营销服务网络升级建设项目 5,454.72 5,454.72 4,500.004 补充流动资金 16,000.00 16,000.00 13,552.87
合计 55,587.51 55,587.51 46,352.87注：如上表各分项之和与合计数在尾数上存在差异，均系由四舍五入造成。
三、使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的原因
根据募集资金专款专用原则，在募集资金到位后，募投项目全部支出原则上均应从募集资金专户直接支付划转，但在募投项目实施期间，公司存在需要使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换的情形，主要原因如下：
（一）公司募投项目在实施过程中需要支付人员工资、奖金等薪酬费用。根
据中国人民银行《人民币银行结算账户管理办法》的规定，基本存款账户是存款人的主办账户，存款人日常经营活动的资金收付及其工资、奖金和现金的支取，应通过该账户办理。以募集资金专户直接支付募投项目涉及的人员薪酬费用，会出现公司通过不同账户支付人员薪酬的情况，不符合前述相关规定的要求。
（二）公司募投项目的支出涉及员工社会保险、住房公积金及税金，根据社
会保险、住房公积金及税金征收机关的要求，公司每月住房公积金、社保费用的汇缴及各项税费的缴纳等均通过银行托收的方式进行，若通过多个银行账户支付，可操作性较差。
（三）公司募投项目涉及部分差旅费、办公费、水电费、房屋租赁费用等小
额零星开支，较为繁琐且细碎，若是所有费用从募集资金专户直接支付，操作性较差，便利性较低，影响公司运营效率。
综上，为提高支付和运营管理效率，公司计划在募投项目实施期间，根据实
际需要并经相关审批后，预先使用自有资金支付募投项目人员薪酬费用、部分差旅费以及募投项目涉及的办公费、水电费、房屋租赁费用等小额零星开支，之后再定期以募集资金等额置换，从募集资金专项账户划转款项至公司自有资金账户，该部分等额置换资金视同募投项目使用资金。
四、使用自有资金支付募投项目资金并以募集资金等额置换的操作流程
为提高公司募集资金使用效率、保障募投项目正常推进，公司计划在募投项目实施期间，根据实际情况使用自有资金支付募集资金投资项目所需资金并以募集资金等额置换，具体操作流程如下：
1、根据募投项目的实施情况，相关业务部门按照公司规定的支付流程，将
拟以自有资金垫付的募投项目相关款项提交付款申请。财务部门根据审批后的付款申请单，以自有资金进行款项支付；
2、公司财务部门根据募投项目的实施情况，建立募投项目核算台账，汇总
自有资金支付的募投项目资金明细，定期统计未置换的以自有资金支付募投项目的款项，按照募集资金支付的有关审批程序，将自有资金支付的募投项目所使用的款项，从募集资金账户中等额转入公司一般账户；
3、保荐人及保荐代表人对募集资金等额置换的情况进行持续监督，可以定
期或不定期对公司采取现场核查、书面问询等方式行使监管权，公司和存放募集资金的商业银行应当配合保荐人及保荐代表人的核查与问询。
五、对公司日常经营的影响
公司根据募投项目实施的具体情况，使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换，有利于提高公司经营效率，保障募投项目的顺利推进，不会影响募投项目投资计划的正常实施，不存在变相更改募集资金投向和损害股东利益的情形。
六、履行的审议程序及专项意见
（一）董事会意见
2025年4月14日，公司召开第二届董事会第十六会议审议通过了《关于使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的议案》，同意公司在
募投项目实施期间使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换。董事会认为：公司根据募投项目实施的具体情况，使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换，不影响募投项目投资计划的正常实施，不存在变相更改募集资金投向和损害股东利益的情形，符合《上市公司监管指引第 2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第 2 号——创业板上市公司规范运作》及公司《募集资金使用管理制度》等法律法规、规范性文件的规定。
（二）独立董事意见
独立董事认为：公司本次使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的事项符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》等相关规定及公司《募集资金使用管理制度》的有关要求，有利于提高资金的使用效率，不会影响公司募投项目的正常开展，不存在改变或变相改变募集资金投向的情况。本议案表决程序合法合规，不存在因此而损害公司及其他股东利益的情形。独立董事一致同意公司及子公司本次使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换的事项。
（三）监事会意见
2025年4月14日，公司召开第二届监事会第十三次会议审议通过了《关于使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的议案》。
监事会认为：公司使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换事项的内容及审议程序符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》等相关规定要求，不会影响募投项目的正常进行，不存在改变或变相改变募集资金投向和损害公司及股东利益的情形，符合公司和全体股东的利益。
七、保荐机构核查意见
经核查，保荐机构认为：
矽电股份使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的事项已经公司董事会、监事会审议通过，独立董事对该事项发表了明确同意意见，履行了必要的审批程序，有利于提高公司资金的使用效率，不影响公司募投项目的正常进行，不存在改变或变相改变募集资金投向和损害股东利益的情形。符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《深圳证券交易所创业板股票上市规则》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》等相关法律、法规和规范性文件的规定。综上，保荐机构对矽电股份使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的事项无异议。