招商证券股份有限公司关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的核查意见
招商证券股份有限公司（以下简称“招商证券”或“保荐机构”）作为矽电半导体设备（深圳）股份有限公司（以下简称“矽电股份”或“公司”）首次公开发行股票并在创业板上市的保荐人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《深圳证券交易所创业板股票上市规则》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》等有关规定，对矽电股份调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额事项进行了核查，具体情况如下：
一、本次募集资金的基本情况
经中国证券监督管理委员会《关于同意矽电半导体设备（深圳）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕138号）同意注册，并经深圳证券交易所同意，公司首次向社会公开发行人民币普通股股票1,043.1819万股，每股面值1.00元，发行价格为人民币52.28元/股。本次募集资金总额为人民币54,537.55万元，扣除发行费用后，实际募集资金净额为人民币46,352.87万元。
上述募集资金已于2025年3月17日划至公司募集资金专项账户，容诚会计师事务所（特殊普通合伙）已对公司募集资金的到位情况进行了审验，并于当日出具《验资报告》（容诚验字[2025]100Z0015号）。公司已与存放募集资金的商业银行、保荐机构签署了募集资金三方监管协议。
二、本次募投项目拟投入募集资金金额的调整情况
由于公司实际募集资金净额低于《矽电半导体设备（深圳）股份有限公司首次公开发行股票并在创业板上市招股说明书》中募投项目拟投入的募集资金金额。为保障募集资金投资项目的顺利实施，提高募集资金的使用效率，在不改变募集资金用途的前提下，公司拟对募投项目拟投入募集资金金额进行适当调整，项目
投资资金不足部分由公司通过自有或自筹资金等方式解决。具体调整情况如下：
单位：万元序号 项目 拟投资总额
调整前拟投入募
集资金金额
调整后募集资金拟投资额
探针台研发及产业基地建设
项目
26,127.08 26,127.08 21,700.002 分选机技术研发项目 8,005.71 8,005.71 6,600.003 营销服务网络升级建设项目 5,454.72 5,454.72 4,500.004 补充流动资金 16,000.00 16,000.00 13,552.87
合计 55,587.51 55,587.51 46,352.87注：如上表各分项之和与合计数在尾数上存在差异，均系由四舍五入造成。
三、调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额对公司的影响
公司本次调整募投项目使用募集资金投资金额，是基于实际募集资金净额低于拟投入募投项目募集资金金额情况做出的审慎决定，调整后募投项目投资金额不足部分由公司通过自有或自筹资金等方式解决，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情况，本次调整有利于保障募投项目顺利实施，不会对募集资金的正常使用造成实质性影响，符合中国证券监督管理委员会、深圳证券交易所关于上市公司募集资金管理的有关规定，符合公司未来发展战略和全体股东的利益。公司将严格遵守有关募集资金使用的相关法律法规的要求，加强对募投项目建设及募集资金使用的监督，以提高募集资金的使用效率。
四、审议程序及专项意见说明
（一）董事会意见
2025年4月14日，公司召开第二届董事会第十六会议审议通过了《关于调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的议案》。
董事会认为：公司本次对募投项目拟投入募集资金金额进行调整是根据募集资金到位的实际情况以及公司目前经营发展战略规划和实际经营需要而做出的审慎决定，有利于保障募投项目顺利实施，不存在变相改变募集资金用途和损害公司及全体股东利益的情形，不会对公司经营、财务状况产生不利影响，不会对募集资金的正常使用造成实质性影响，符合公司未来发展战略和全体股东的利益，
董事会同意公司对募投项目拟投入募集资金金额进行调整的相关事项。
（二）监事会意见
2025年4月14日，公司召开第二届监事会第十三次会议审议通过了《关于调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的议案》。
监事会认为：公司本次对募投项目拟投入募集资金金额调整的相关事项，履行了必要的决策程序，符合相关规定。本次调整不会对募集资金的正常使用造成实质性影响，不存在改变或者变相改变募集资金用途和损害股东利益的情况，符合中国证监会、深圳证券交易所关于上市公司募集资金管理的有关规定，监事会同意公司对募集资金投资项目拟投入募集资金金额进行调整的相关事项。
五、保荐机构核查意见
经核查，保荐机构认为：
矽电股份本次调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的事项已经公司董事会、监事会审议通过，该议案在董事会审批权限范围内，无需提交公司股东大会审批。调整事项履行了必要的程序，符合《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《深圳证券交易所创业板股票上市规则》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》等法律、法规及公司章程的规定，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情况。
综上所述，保荐机构对公司本次调整募投项目拟投入募集资金金额事项无异议。