矽电半导体设备（深圳）股份有限公司独立董事关于独立董事专门会议2025年第一次会议议案的审核意见

根据《上市公司独立董事管理办法》《矽电半导体设备（深圳）股份有限公司独立董事工作制度》等有关规定，公司独立董事专门会议于2025年4月14日召开2025年第一次会议，全体独立董事出席了会议。独立董事本着认真、负责的态度，基于独立、审慎、客观的立场，对于以下议案及其材料进行了认真审核，并形成一致审核意见如下：

一、《关于使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的议案》；

经审阅，全体独立董事认为：公司本次使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的事项符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》等相关规定及公司《募集资金使用管理制度》的有关要求，有利于提高资金的使用效率，不会影响公司募投项目的正常开展，不存在改变或变相改变募集资金投向的情况。本议案表决程序合法合规，不存在因此而损害公司及其他股东利益的情形。独立董事一致同意公司及子公司本次使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换的事项。

二、《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》；

经审阅，全体独立董事认为：公司在不影响募集资金投资项目建设的情况下，使用部分闲置的募集资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好、风险低、投资期限不超过12个月或可转让、可提前支取的保本型产品，有利于提高募集资金的使用效率，为公司及股东获取更多投资回报。公司本次使用募集资金进行现金管理的决策程序符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》以及公司《募集资金使用管理制度》等相关规定，符合公司

和全体股东的利益，不存在损害公司及全体股东尤其是中小股东利益的情形。独立董事一致同意公司使用部分闲置募集资金进行现金管理。（以下无正文，为《矽电半导体设备（深圳）股份有限公司独立董事关于独立董事专门会议2025年第一次会议议案的审核意见》签署页）

（本页无正文，为《矽电半导体设备（深圳）股份有限公司独立董事关于独立董事专门会议2025年第一次会议议案的审核意见》签署页）

独立董事签名：

李平

年 月 日

向旭家

年 月 日

赵英

年 月 日