7-1-1

关于上海盛剑科技股份有限公司

向不特定对象发行可转换公司债券

申请文件的审核问询函的回复

保荐人（主承销商）

上海市黄浦区广东路689号

二〇二五年三月

7-1-2

上海证券交易所：

贵所于2024年12月29日出具的《关于上海盛剑科技股份有限公司向不特定对象发行可转换公司债券申请文件的审核问询函》（以下简称“审核问询函”）已收悉。上海盛剑科技股份有限公司（以下简称“盛剑科技”、“发行人”或“公司”）与海通证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”或“保荐人”）、中汇会计师事务所（特殊普通合伙）（以下简称“申报会计师”）、上海市方达律师事务所（以下简称“发行人律师”）等相关方已就审核问询函中提到的问题进行了逐项落实并回复，并对申请文件进行了相应的补充。

本审核问询函回复中所使用的术语、名称、缩略语，除特别说明外，与其在《上海盛剑科技股份有限公司向不特定对象发行可转换公司债券募集说明书》中的含义相同。

7-1-3

目录

问题1：关于本次募投项目必要性 ...... 4

问题2：关于融资规模和效益测算 ...... 64

问题3.1：关于业务及经营情况................................................................................ 90

问题3.2：关于业务及经营情况.............................................................................. 131

问题3.3：关于业务及经营情况.............................................................................. 175

问题4：关于财务性投资 ...... 184

问题5.1：其他.......................................................................................................... 196

问题5.2：其他.......................................................................................................... 200

保荐机构关于发行人回复的总体意见： ...... 205

7-1-4

问题1：关于本次募投项目必要性根据申报材料，1）本次募投项目为“国产半导体制程附属设备及关键零部件项目”的一期子项目，计划生产产品主要包括工艺废气处理设备、真空设备以及温控设备，并提升运维服务规模；报告期内，公司已开展工艺废气处理设备的生产，最近一年一期的产能利用率较低，主要系产品预计销量未实现。2）项目实施主体为公司控股子公司盛剑半导体，盛剑半导体原为公司全资子公司，2023年9月通过增资扩股引入外部投资者榄佘坤企管及盛剑半导体员工持股平台勤顺聚芯、勤顺汇芯，增资完成后，公司直接持有盛剑半导体股份的比例为85.11%；本次募投项目的建设资金拟由公司单方面以股东借款的形式投入盛剑半导体。3）2022年2月，公司调整前次募投项目“环保装备智能制造项目”及“新技术研发建设项目”相关内容及募集资金拟投入金额。请发行人说明：（1）本次募投项目的具体内容，结合募投项目相关产品在报告期内的生产及销售情况、产能利用率情况及其波动原因、市场竞争情况等，进一步说明公司开展本次募投项目的主要考虑及必要性；（2）结合公司现有产品结构及收入情况，分析本次募投项目是否涉及新产品或新业务，与公司现有业务的协同效应，在原材料、技术、工艺、应用领域、下游客户等方面的区别与联系，公司是否已具备实施本次募投项目的相关能力，目前产品研发及验证测试进度，是否存在技术障碍，是否具有明确的销售渠道及商业化安排，本次募集资金是否符合投向主业要求；（3）结合本项目拟生产产品或提供服务的细分市场空间及发展情况、上下游供需情况、同行业公司产能建设情况、发行人市场占有率、客户验证进展或预计订单情况等，说明本项目新增产能规模的合理性及具体产能消化措施；（4）结合盛剑半导体业务开展具体情况，分析本次通过盛剑半导体实施募投项目的背景，前期引入榄佘坤企管及员工持股平台的原因及合理性，对本次实施募投项目的具体影响，上述机构的股权结构及股东情况，与公司的具体关系，是否存在退出安排、是否实缴出资，未同比例提款借款的主要考虑；（5）前次募集资金投向变更前后，实际用于非资本性支出占募集资金总额的比例是否超过30%。

请保荐机构对上述事项进行核查并发表明确意见。请保荐机构及发行人律师

7-1-5

结合《监管规则适用指引—发行类第6号》第8条对问题（4）进行核查并发表明确意见。请申报会计师对问题（5）进行核查并发表明确意见。【回复】

一、本次募投项目的具体内容，结合募投项目相关产品在报告期内的生产及销售情况、产能利用率情况及其波动原因、市场竞争情况等，进一步说明公司开展本次募投项目的主要考虑及必要性

（一）本次募投项目的具体内容

为秉持“行业延伸+产品延伸”的发展战略，进一步深化在半导体产业链的延伸布局，加速公司半导体产业链研发成果产业化，公司在上海市嘉定区投资建设“国产半导体制程附属设备及关键零部件项目”，以提升国产半导体制程附属设备及关键零部件的生产能力、运维能力和产业竞争力。

本次募投项目为“国产半导体制程附属设备及关键零部件项目”的一期子项目，该项目通过购置土地、投资建设新厂房、引进先进的生产设备及生产系统，建造高度自动化的生产线，打造先进国产半导体制程附属设备平台，建设国产半导体制程附属设备及关键零部件生产基地，以进一步扩大设备及关键零部件产品的生产能力，并同步提升运维服务能力。

本次募投项目计划生产产品主要包括工艺废气处理设备、真空设备以及温控设备，该项目建设有助于公司现有工艺废气处理设备生产产线高度自动化升级，进一步提高产品生产工艺精度、生产工艺智能化及丰富产品型号，提升公司工艺废气处理设备的行业市场份额；有助于加速真空设备和温控设备等新产品的产业化，壮大国产半导体制程附属设备及关键零部件运维服务业务板块，更好地满足集成电路、半导体显示及新能源等下游领域日益增长的市场需求。

本次募投项目运维服务的运维产品为本次募投项目计划生产的工艺废气处理设备、真空设备等产品，运维服务内容为工艺废气处理设备、真空设备等产品的零部件和耗材的维修更换及提供定期检修服务等。

7-1-6

（二）结合募投项目相关产品在报告期内的生产及销售情况、产能利用率情况及其波动原因、市场竞争情况等，进一步说明公司开展本次募投项目的主要考虑及必要性本次募投项目实施是公司坚持秉持“行业延伸+产品延伸”发展战略，进一步深化在半导体产业链的延伸布局的必要措施，有助于公司积极推进研发成果产业化，有助于公司满足客户多样化和一站式采购需求，有助于提升公司产品的市场竞争力，有助于推进我国半导体制程附属设备和关键零部件的国产化进程。

1、本次募投项目实施是公司坚持秉持“行业延伸+产品延伸”发展战略，进一步深化在半导体产业链延伸布局的必要措施

半导体产业是国家战略性新兴产业，是加快发展新质生产力、扎实推进高质量发展的重要产业方向，该产业技术含量高、附加值高，相对毛利率较高。

自公司创立开始，始终秉持“行业延伸+产品延伸”发展战略，业务便涉及半导体产业相关业务。在服务过程中，公司意识到国家发展半导体产业的决心和重视程度，作为与半导体生产工艺息息相关的工艺废气治理必将迎来难得的发展机遇。公司将业务重点聚焦于半导体工艺废气治理领域。但这对公司技术与产品提出更高的要求，为此公司开始进行技术与产品的转型升级。2011年，公司产品不锈钢涂层风管通过FM Approvals关于半导体洁净室专用的排气及排烟管道系统认证；2012年，公司首次整体承接半导体工艺废气治理系统项目；2017年，公司技术研发重点为工艺废气处理设备国产化研制和湿电子化学品供应与回收再生技术研究；2018年，公司完成工艺废气处理设备单腔等离子水洗机型的研制开发并实现销售。

为进一步深化在半导体产业链的延伸布局，公司本次募投项目在半导体制程附属设备工艺废气处理设备生产扩产基础上，积极推进新产品真空设备和温控设备的产业化，壮大国产半导体制程附属设备及关键零部件运维服务业务板块。

公司工艺废气处理设备、真空设备和温控设备产品共同服务于半导体生产线主设备，其主要工序流程图如下：

7-1-7

工艺废气处理设备与中央废气治理设备共同作用于半导体制程，其中工艺废气处理设备对半导体制程腔排出的含氟、氯、硅等元素为代表的成分复杂的有毒有害废气进行源头处理，源头处理后的工艺废气再通过中央废气治理设备进一步处理，而中央废气治理设备作为公司主要产品绿色厂务系统的重要组成部分，可针对生产车间及周围支持设备内产生的酸性、碱性、有机物等进行中央端无害化处理。真空设备与工艺废气处理设备相连，可使半导体工艺制程腔反应腔体内部形成发生反应所必须的真空环境，并抽离工艺废气，传输至工艺废气处理设备中进行无害化处理。公司本次募投项目产品之一温控设备与半导体工艺制程腔相连，可对工艺制程腔进行高精密的温度控制，以实现半导体工艺制程的控温需求。

因此，本次募投项目实施是公司坚持秉持“行业延伸+产品延伸”发展战略，进一步深化在半导体产业链延伸布局的必要措施。

2、本次募投项目相关产品市场竞争指标与行业主流产品整体接近，本次募投项目实施有助于公司积极推进研发成果产业化

半导体附属设备及关键零部件的性能稳定性直接关系到半导体行业产线的

7-1-8

产能利用率、产品良率，因此半导体附属设备及关键零部件的技术研发要求高、周期长，公司报告期内持续开展相关产品研发投入，在稳定性、处理效率及精度等多方面进行提升，不断优化产品的结构和设计，以满足半导体制造工艺不断升级的需求。公司目前工艺废气处理设备整体性能上与行业主流产品指标接近，报告期内已实现量产，本次募投项目实施将实现生产产线高度自动化升级，进一步提高产品生产工艺精度，并可满足工艺废气处理设备升级产品和型号的产业化。

公司真空设备技术指标与行业主流产品相近，温控设备技术指标与行业主流产品基本相近，报告期内上述产品未产生收入，但公司已完成上述产品的研制开发或测试验证，积极开展产品商业化开拓，本次募投项目实施将实现公司真空设备和温控设备的研发成果产业化。

（1）工艺废气处理设备与行业主流产品关键指标对比情况

工艺废气处理设备关键指标为废气处理效率和无故障工作时间等，公司工艺废气处理设备上述关键指标与行业主要主流产品关键指标接近。公司工艺废气处理设备整体性能上与京仪装备较为接近，市场主流产品均有布局。

公司工艺废气处理设备主要竞争对手主要为京仪装备、爱德华公司及戴思公司，相关产品关键指标对比情况如下：

7-1-9

数据来源：京仪装备招股说明书、问询回复及公告文件、爱德华公司及戴思公司公开资料。

（2）真空设备与行业主流产品关键指标对比情况

真空设备关键指标为抽速、极限真空压力和极限真空功率等，公司真空设备的抽速、极限真空压力指标与行业主要主流产品关键指标接近，在极限真空功率指标上优于行业主流产品。公司真空设备在相同运行背景下具有功率优势，整体技术水平与同行业可比公司相近，且相关产品已在客户处进行验证，报告期内暂未产生收入。

公司真空设备国内市场的竞争对手主要为中科仪、爱德华公司以及荏原机械，相关产品关键指标对比情况如下：

数据来源：中科仪招股说明书、爱德华公司及荏原机械公司公开资料。

（3）温控设备与行业主流产品关键指标对比情况

温控设备关键指标为温控精度等，公司温控设备与行业主流产品基本接近。公司相关设备已在第三方测试验证阶段并已与客户开展技术交流，报告期内暂未产生收入。

公司温控设备国内市场的竞争对手主要为京仪装备、ATS公司及SMC公司，相关产品关键指标对比情况如下：

1）单通道产品关键指标对比情况

7-1-10

数据来源：京仪装备招股说明书、ATS公司和SMC公司公开资料。

2）双通道产品关键指标对比情况

数据来源：京仪装备招股说明书、ATS公司和SMC公司公开资料。3）三通道产品关键指标对比情况

数据来源：京仪装备招股说明书

3、本次募投项目实施有助于公司满足客户多样化和一站式采购需求，有助于提升公司产品的市场竞争力

（1）公司报告期内工艺废气处理设备的产量、销量和产能利用率等数据波动主要受客户数量和客户项目影响，公司已积极推进客户转化工作

7-1-11

报告期内，本次募投项目相关产品工艺废气处理设备产量、销量和产能利用率等数据存在一定波动，主要系验证客户数量少和部分客户订单量波动导致，具体情况如下：

单位：套

2022年度，公司工艺废气处理设备产能利用率较高主要原因系公司2022年工艺废气处理设备的订单量较高，公司增加了生产排产时间，同时部分通过外采满足生产需求。公司2023年度半导体附属设备产能利用率较低，主要原因系2023年半导体附属设备产品预计销量未实现，公司减少生产排产，导致产品产量较低。公司2023年半导体附属设备产品预计销量未实现主要受某集成电路大客户项目因其自身原因延期启动等多方面因素影响，同时公司其他集成电路行业客户产品验证时间长，公司产品尚处于验证测试阶段。2024年1-9月，公司半导体附属设备销量增长，产能利用率企稳回升。

公司本次募投项目相关产品的下游应用领域客户与绿色厂务系统客户重合，公司已加快将绿色厂务系统客户转化为本次募投项目相关产品的客户。报告期各期，公司工艺废气处理设备前五大客户销售收入占比均为90%以上，该部分客户均为公司绿色厂务系统客户。

截至本问询回复出具之日，公司的工艺废气处理设备已开拓北方华创、中芯国际、长江存储、中环半导体等半导体龙头客户以及天合光能、隆基绿能等新能源领域龙头客户。

未来，随着公司客户数量进一步开拓和客户订单采购量持续增加，公司产能利用率和产销率数据预计波动将减少，产品产量和销量预计将进一步提升。

（2）半导体制程环节较多，客户对本次募投项目相关产品类型的需求存在多元化；同时，本次募投项目相关产品在半导体制程环节共同发挥作用，客户

7-1-12

对于产线的搭建会考虑不同设备及零部件之间的一致性

报告期内，基于公司研发技术突破，公司加大绿色厂务系统客户转化为工艺废气处理设备的客户，转化工作良好。截至2025年2月28日，公司本次募投项目相关产品的在手订单金额8,373.74万元。本次募投项目将进一步丰富公司产品型号，公司报告期内工艺废气处理设备的销售型号为单腔等离子水洗式和单腔电加热水洗式等两款，本次募投项目达产后公司新增双腔等离子水洗式、双腔燃烧水洗式等型号的量产能力，不同型号的设备在废气处理效率、产品售价存在较大差异。半导体制程环节较多，客户基于成本效益原则，根据废气处理效率、产品售价等因素，会在制程不同环节选择不同类型的工艺废气处理设备。

同时，下游客户对于半导体产线的搭建会考虑不同设备及零部件之间的一致性，公司在工艺废气处理设备领域积累的半导体客户资源和市场影响力预计在真空设备和温控设备等新业务领域得到转化。

因此，本次募投项目实施有助于公司满足客户多样化和一站式采购需求，有助于提升公司产品的市场竞争力。

4、本次募投项目有助于推进我国半导体制程附属设备和关键零部件的国产化进程

国内半导体制程附属设备及关键零部件市场由几家国际大型供应商主导，该国际大型供应商在技术、工艺水平、客户资源和品牌影响力等方面具有先发优势，在全球市场占据重要地位，市场集中度较高。

在当前国际贸易形势和国家产业政策的推动下，尤其是美国商务部工业和安全局（BIS）新规影响下，半导体制程附属设备国产化进程加快。国内半导体制程附属设备及关键零部件企业将迎来更多的发展机遇。通过技术研发和产品升级，提高设备的性能和质量，国内产品将逐步实现国产替代，降低对进口设备的依赖。国内企业在本地化服务、性价比等方面具有一定优势，有望在国产替代进程中占据更大的市场份额。

公司已具备本次募投项目相关产品自主生产能力，本次募投项目建成后，公

7-1-13

司有望凭借规模化生产和本土服务优势，打造出高性价比的本土产品，推动本土工艺废气处理设备、真空设备和温控设备自主供给率的提升，对于促进下游行业供应链的稳定和推动行业的健康发展具有重要意义。

（1）国内工艺废气处理设备的国产化率整体低于30%，公司工艺废气处理设备在整体性能上与行业主流产品指标接近，在技术上具有国产替代的可行性，并已开拓北方华创、中芯国际、长江存储、中环半导体等半导体龙头客户，本次募投项目的实施有助于提升公司工艺废气处理设备的国产替代进程根据《京仪装备首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书》内容，2022年国内工艺废气处理设备市场前六名供应商合计市场占有率约为90%，其中京仪装备销售规模为22,683.86万元，市场占有率为15.57%。根据公司2022年度的工艺废气处理设备的销售收入17,345.47万元及国产工艺废气处理设备的竞争情况，预计国内工艺废气处理设备市场国产化率低于30%。2022年以来，地缘政治不确定性持续加剧，半导体附属设备及关键零部件仍处于国产替代的黄金期。

目前国内工艺废气处理设备主要供应商包括国外厂商爱德华、戴思和国内厂商京仪装备、发行人，主要竞争对手的简要情况如下：

7-1-14

工艺废气处理设备关键指标为废气处理效率和无故障工作时间等，目前公司工艺废气处理设备上述关键指标与行业主要主流产品关键指标接近，已具备替代国外供应商的技术储备。具体详见本问询回复“问题一、关于本次募投项目必要性”之“（二）结合募投项目相关产品在报告期内的生产及销售情况、产能利用率情况及其波动原因、市场竞争情况等，进一步说明公司开展本次募投项目的主要考虑及必要性”之“2、本次募投项目相关产品市场竞争指标与行业主流产品整体接近，本次募投项目实施有助于公司积极推进研发成果产业化”之“（1）工艺废气处理设备与行业主流产品关键指标对比情况”相关内容。截至本问询回复出具之日，公司的工艺废气处理设备已开拓北方华创、中芯国际、长江存储、中环半导体等半导体龙头客户。公司将通过本次募投项目的实施，增强公司工艺废气处理设备的生产能力并同步提升产品技术水平，持续拓展龙头客户，在商业端逐步实现工艺废气处理设备的国产替代。

（2）国内真空设备的国产化率整体不足10%，公司真空设备在整体性能上与行业主流产品指标接近，在技术上具有国产替代的可行性，公司已积极开展真空设备的客户验证工作，本次募投项目的实施有助于提升公司真空设备的国产替代进程

根据东吴证券测算，2022年国内半导体真空泵国产化率仅为6%。根据汉钟精机2024年半年度报告，半导体真空泵目前主要由国外企业主导，欧美日品牌占据整个市场90%左右份额。根据上述数据测算，半导体真空设备国产化率不足10%。

目前市场主要真空设备供应商包括国外厂商德国普发、爱德华、荏原机械和国内厂商中科仪，主要竞争对手的简要情况如下：

7-1-15

真空设备关键指标为抽速、极限真空压力及极限真空功率等，目前公司真空设备上述关键指标与行业主要主流产品关键指标接近，已具备替代国外供应商的技术储备。具体详见本问询回复“问题一、关于本次募投项目必要性”之“（二）结合募投项目相关产品在报告期内的生产及销售情况、产能利用率情况及其波动原因、市场竞争情况等，进一步说明公司开展本次募投项目的主要考虑及必要性”之“2、本次募投项目相关产品市场竞争指标与行业主流产品整体接近，本次募投项目实施有助于公司积极推进研发成果产业化”之“（2）真空设备与行业主流产品关键指标对比情况”相关内容。截至本问询回复出具之日，公司的真空设备已获得SEMI S系列及SEMI F系列认证，且已在多家客户处开展可靠性测试验证工作。公司将通过本次募投项目的实施，打造国产半导体附属设备及关键零部件平台，持续探求市场机会，争取在客户端完成相关产品的国产替代。

（3）国内温控设备的国产化率低于40%，公司温控设备在整体性能上与行业主流产品指标接近，在技术上具有国产替代的可行性，公司已积极开展温控设备的客户交流工作，本次募投项目的实施有助于提升公司温控设备的国产替代进程

根据QY Research数据，2022年中国大陆约60%的半导体专用温控设备市场被海外厂商占据，市场集中度较高，市场前六名供应商市场占有率在90%左右，

7-1-16

国产化率不足40%。2022年以来，地缘政治不确定性持续加剧，半导体附属设备及关键零部件仍处于国产替代的黄金期。目前市场主要温控设备供应商包括国外厂商ATS、SMC和国内厂商京仪装备，主要竞争对手的简要情况如下：

温控设备关键指标为温控范围、温控精度及冷却能力等，目前公司温控设备上述关键指标与行业主要主流产品关键指标接近，已具备替代国外供应商的技术储备。具体详见本问询回复“问题一、关于本次募投项目必要性”之“（二）结合募投项目相关产品在报告期内的生产及销售情况、产能利用率情况及其波动原因、市场竞争情况等，进一步说明公司开展本次募投项目的主要考虑及必要性”之“2、本次募投项目相关产品市场竞争指标与行业主流产品整体接近，本次募投项目实施有助于公司积极推进研发成果产业化”之“（3）温控设备与行业主流产品关键指标对比情况”相关内容。

截至本问询回复出具之日，公司的温控设备已获得SEMI S系列及SEMI F系列认证，并已与多家客户开展技术交流。公司将通过本次募投项目的实施，提升公司在行业下游客户中的影响力，同时积极与相关客户进行技术交流及验

7-1-17

证测试，争取在客户端完成相关产品的国产替代。

（4）本次募投项目的实施有助于公司在国际贸易摩擦背景下提升量产能力，加快国产替代进程，有利于维护国内半导体产业链的安全

在国际贸易形势日趋复杂、贸易摩擦不断加剧的大背景下，半导体产业供应链面临着前所未有的挑战，关键技术与产品的供应稳定性受到严重威胁。在此关键时刻，公司拟通过本次募投项目实施，在半导体附属设备及关键零部件领域逐步实现国产替代。

公司本次募投项目主要产品工艺废气处理设备、真空设备及温控设备在技术层面上达到国际同类产品水平，更在本土化响应速度上具备显著优势。本次募投项目的实施，将使得公司在具备相关技术储备的基础上提升量产能力，进一步加快国产替代进程，此举一方面可以保障国内半导体产业链各环节的设备与技术供给，有效避免因国际形势变化导致的断供风险，维护产业链的连续性与稳定性；另一方面，也将促进本土半导体产业上下游的协同发展，增强产业集群的整体竞争力，对于提升国内半导体产业在全球产业链中的地位、保障国家信息安全和产业安全有着深远的战略意义。

5、本次募投项目拟生产产品的产业化进度安排符合半导体行业的建厂特点和行业供应商准入要求特点

报告期内，公司工艺废气处理设备已实现量产并批量交付；公司真空设备和温控设备的研发取得阶段性成果，已完成样机的研制，真空设备已完成小批量试产。

为实现工艺废气处理设备生产产线高度自动化升级，进一步提高产品生产工艺精度、生产工艺智能化及丰富产品型号，公司决定实施本次募投项目。同时，公司考虑到真空设备、温控设备已完成研发，在生产工艺上与工艺废气处理设备具有相通性，可以共用高精密机加工及机械装备和测试设备，因此本次募投项目在工艺废气处理设备产线扩产的基础上，将加速真空设备和温控设备等新产品的产业化，壮大公司国产半导体制程附属设备及关键零部件业务板块。

半导体行业终端客户行业集中度高，下游厂商在全球具有较大的影响力，

7-1-18

其对产品的稳定性、可靠性、一致性要求极高，在成为其合格供应商前，需通过严格的质量管理体系审核和产品性能检测认证。严格的质量管理体系审核具体表现为客户通过对供应商进行验厂，检查供应商的生产能力与质量保证能力，对生产环境、技术水准、工艺特征等方面进行严格考察审核，确保供应商具备良好的生产能力、质量控制能力、环保安全意识等。公司通过现有产线进行真空设备、温控设备的研发、测试及试产，在客户端加快技术交流、研发测试及商业转化，待新产线建成时可以加快供应商评审、验厂工作，时间安排上具有互补性和同步性。上述科学性规划，可以加快公司新产品的商业化落地，使得新产线可以最快、最大发挥产能效应。公司通过本次募投项目的实施，有助于加快公司工艺废气处理设备新型号、真空设备和温控设备等在客户端的供应商导入，符合半导体行业的建厂特点和行业供应商准入要求。

二、结合公司现有产品结构及收入情况，分析本次募投项目是否涉及新产品或新业务，与公司现有业务的协同效应，在原材料、技术、工艺、应用领域、下游客户等方面的区别与联系，公司是否已具备实施本次募投项目的相关能力，目前产品研发及验证测试进度，是否存在技术障碍，是否具有明确的销售渠道及商业化安排，本次募集资金是否符合投向主业要求

（一）结合公司现有产品结构及收入情况，分析本次募投项目是否涉及新产品或新业务

本次募投项目拟生产产品包括工艺废气处理设备、真空设备和温控设备等，其中工艺废气处理设备是公司现有业务主营产品，不涉及新产品或新业务；真空设备和温控设备是公司秉持“行业延伸+产品延伸”发展战略进行研发并拟量产的新产品，其与公司现有业务主营产品工艺废气处理设备共同作用于半导体制程设备反应腔的辅助控制，产品应用领域一致，三类设备具有协同效应，均属于半导体制程附属设备，因此真空设备和温控设备不属于新业务。本次募集资金使用符合投向主业的要求。

1、本次募投项目拟生产产品工艺废气处理设备是公司现有业务主营产品，报告期内已量产并实现销售收入

7-1-19

公司在集成电路、半导体显示产业工艺废气治理领域具有竞争优势和自主创新能力，拥有多项自主研发的核心技术成果，现有业务产品主要包括绿色厂务系统、设备及关键零部件产品、电子化学品材料。公司设备及关键零部件产品包括半导体附属设备及关键零部件、工艺排气管道和中央废气治理设备，半导体附属设备主要为工艺废气处理设备。

本次募投项目拟生产产品工艺废气处理设备是公司现有业务主营产品，公司本次募投项目拟生产工艺废气处理设备整机型号报告期内已实现量产收入

3.92亿元。

因此，本次募投项目拟生产产品工艺废气处理设备不涉及新产品或新业务。

2、本次募投项目拟生产产品真空设备和温控设备涉及新产品，但其与公司现有业务主营产品工艺废气处理设备共同作用于半导体制程设备反应腔的辅助控制，产品应用领域一致，三类设备具有协同效应，均属于半导体制程附属设备

报告期内，本次募投项目拟生产产品真空设备和温控设备未形成销售收入。本次募集资金投资项目产品中的真空设备及温控设备为公司基于“行业延伸+产品延伸”发展战略进行的新产品拓展，与公司现有业务主营产品工艺废气处理设备共同作用于半导体制程设备反应腔的辅助控制，产品应用领域一致，三类设备具有协同效应，均属于半导体制程附属设备。

因此，本次募投项目拟生产产品真空设备和温控设备涉及新产品，但不涉及新业务。

（二）本次募投项目与公司现有业务的协同效应

本次募集资金投资项目主要围绕公司主营业务进行，是公司响应行业发展趋势，满足下游市场发展需求的重要举措，亦是对公司半导体附属设备及关键零部件业务的进一步拓展和扩大，本次募投项目拟生产产品与公司现有业务的协同效应如下：

7-1-20

1、产品应用的协同效应

工艺废气处理设备、真空设备和温控设备共同作用于对半导体制程设备反应腔的辅助控制，可使反应腔满足刻蚀、离子注入、扩散及薄膜沉积等工艺所需的环境条件，是半导体制程中不可或缺的重要组成部分。

公司募投项目相关产品工艺废气处理设备对半导体及新能源工艺制程腔排出的含氟、氯、硅等元素为代表的成分复杂的有毒有害废气，以及生产车间某些区域循环风中含有的一定量的挥发性VOCs气体进行源头处理，而中央废气治理设备作为公司主要产品绿色厂务系统的重要组成部分，可针对生产车间及周围支持设备内产生的粉尘类及酸性、碱性、有机物等有毒有害物质，进行中央端无害化处理，从而满足相关工艺制程要求。真空设备与工艺废气处理设备相连，可使反应腔体内部形成发生反应所必需的真空环境，并抽离工艺废气，传输至工艺废气处理设备中进行无害化处理。温控设备与工艺制程腔相连，可对工艺制程腔进行高精密的温度控制，以实现半导体工艺制程的控温需求。故本次募投项目产品与公司现有产品具有产品应用的协同效应。

2、产品市场销售端的协同效应

本次募集资金投资项目实施后，公司将打造一个集研发、制造、销售和维保服务为一体的国产先进半导体附属装备平台。基于公司现有业务的头部客户，公司将通过本次募集资金投资项目的实施，进一步提升公司半导体附属设备及关键零部件的生产能力、拓展产品品类。鉴于公司现有的工艺废气处理设备产品与本次募集资金投资项目新增的真空设备及温控设备产品共同作用于对半导体制程设备反应腔的辅助控制，本次募集资金投资项目的实施将增强公司为半导体龙头客户提供半导体附属设备及关键零部件领域的全方位服务能力，增强客户黏性。因此相关产品在销售端具有协同效应。

此外，本次募集资金投资项目的实施将增强公司对半导体附属设备及关键零部件产品的维保服务能力，增加公司客户拓展渠道。在本次募集资金投资项目的终端客户领域与公司现有业务的客户领域相近的情况下，本次募集资金投资项目在产品市场端与现有业务亦具有协同效应。

7-1-21

3、产品技术端的协同效应

工艺废气处理设备和真空设备、温控设备虽然部分核心技术因产品功能不同原因导致差异，但在通用技术上具有相通性，均使用结构设计、机加工技术、仿真分析设计以及流体技术等通用技术。此外，公司现有业务的部分核心技术与本次募集资金投资项目产品亦具有相通性，如绿色厂务系统中的酸碱废气处理系统和工艺废气处理设备的洗涤模块技术相通等。

基于相关技术的相通性，公司在研发环节可以将现有业务积累的结构设计、机加工技术、仿真分析设计及流体技术等通用技术直接应用或稍作改进用于本次募集资金投资项目相关产品，以达到缩短产品研发周期、降低研发成本的技术协同效应。同时，公司亦可以基于现有业务产品的技术经验积累持续拓展应用到本次募集资金投资项目的研发中，持续发挥相关产品在技术端的协同效应。

综上所述，公司现有业务与本次募集资金投资项目中的产品技术端具有较强的协同效应，从而使得公司在实施本次募集资金投资项目时拥有较强的实施能力。

4、产品生产的协同效应

工艺废气处理设备和真空设备、温控设备虽然核心装置的构成和设计不同，但在生产工艺上具有相通性，均以高精密机加工、机械装配和测试等工艺为基础。本次募集资金投资项目拟采购的高精密机加工及机械装备和测试设备主要为进口设备，进一步提升生产工艺精度，具体如下：

7-1-22

为满足公司主要客户的高精度、高稳定性的产品质量要求，公司拟采购的主要高精密机加工及机械装备和测试设备均为经过多轮询比价后择优选择的国际知名品牌产品。由于工艺废气处理设备和真空设备、温控设备的生产均可共用先进的自动化机加工中心，因此相关产品在生产阶段可以合理控制成本，真空设备及温控设备与公司现有工艺废气处理设备在生产时具有协同效应。

（三）本次募投项目与公司现有业务在原材料、技术、工艺、应用领域、下游客户等方面的区别与联系，公司是否已具备实施本次募投项目的相关能力

本次募投项目拟生产产品包括工艺废气处理设备、真空设备和温控设备等，其中工艺废气处理设备是公司现有业务主营产品，本次募投项目拟生产工艺废气处理设备整机型号报告期内已实现量产收入3.92亿元。本次募投项目拟生产的工艺废气处理设备是基于公司现有设备型号的技术升级，公司具备实施本次募投项目的相关能力；真空设备和温控设备系公司围绕工艺废气处理设备在半导体制程附属设备领域延伸的新产品。经过多年的研发技术积累，公司掌握了真空设备和温控设备的关键技术，新产品已完成第三方机构认证，并已开展客户测试验证工作或正在与客户开展技术交流。公司具备实施本次募投项目的相关能力。

1、本次募投项目拟生产产品工艺废气处理设备是公司现有业务主营产品，是基于公司现有设备型号的技术升级，公司具备实施本次募投项目的相关能力

（1）本次募投项目拟生产产品工艺废气处理设备是公司现有业务主营产品

本次募投项目拟生产产品工艺废气处理设备共规划等离子水洗式、电加热水洗式和燃烧水洗式等三大类设备，上述三大类工艺废气处理设备报告期内均已实现量产并实现销售收入。因此，本次募投项目拟生产产品工艺废气处理设备与公司现有业务在原材料、技术、工艺、应用领域、下游客户等方面不存在较大差异，公司具备实施本次募投项目的相关能力。

报告期内，公司工艺废气处理设备不同类别整机实现的收入情况如下：

7-1-23

工艺废气处理设备技术原理为：1）利用不同能量方式产生一定高温环境，工艺废气在设备内部高温反应腔内进行高温氧化反应，形成其他稳定化合物或水溶性物质；2）该化合物或水溶性物质沉积至设备内部循环容器，排放至指定厂务系统；其余气体经降温与水处理后形成低毒或无毒气体，排放至绿色厂务处理系统中，从而实现对工艺废气的无害化处理。工艺废气处理设备早期以纯水洗式处理方式为主，后期因半导体不同工艺气体类型特性对其处理要求及应用场景要求不同，行业内形成以等离子水洗式、电加热水洗式和燃烧水洗式等为主的工艺废气处理方式。其中等离子水洗式是利用高压电离氮气分子产生高温环境，对工艺废气进行无害化处理后进行排放；电加热水洗式是利用电棒加热产生高温环境，对工艺废气进行无害化处理后进行排放；燃烧水洗式是利用燃料燃烧产生高温环境，对工艺废气进行无害化处理后进行排放。等离子水洗式工艺废气处理设备在工艺废气处理过程中无需额外添加燃料，设备运行成本较低，同时能够显著降低CO?和NOx等副产物气体的产生，逐渐成为行业的主流选择。报告期内，公司主要聚焦等离子水洗式工艺废气处理设备的研发、生产和销售。

燃烧水洗式工艺废气处理设备燃料主要是天然气，燃烧需要使用大量天然气，设备运行成本较高，同时其燃烧后产生NOx等副产物，副产物需单独进行处理。报告期内，燃烧水洗式工艺废气处理设备非公司主要的技术拓展方向和销售方向。

（2）本次募投项目拟生产产品工艺废气处理设备是基于公司现有产品上进行技术及结构升级，并进一步丰富产品细分型号

7-1-24

本次募投项目拟采购国际先进的机加工设备和柔性制造线等自动化设备，在公司现有产品上进行生产工艺升级，包括生产精度的升级和生产智能化的升级，减少部分非自动化工序对设备生产精度的影响。同时，本次募投项目拟生产产品工艺废气处理设备将进行管路及电控集成化设计升级，优化空间布局，实现整体设备体积减小，响应客户设备小型化需求。

本次募投项目将进一步丰富公司产品型号，公司报告期内工艺废气处理设备主要销售型号为单腔等离子水洗式和单腔电加热水洗式等，本次募投项目达产后公司将新增双腔等离子水洗式和双腔燃烧水洗式等型号的量产能力，进一步提升公司产品的竞争力。

本次募投项目拟生产的工艺废气处理设备产品型号和现有产品的区别情况如下：

注：公司双腔等离子水洗式工艺废气处理设备在报告期期后已形成销售收入。

双反应腔（以下简称“双腔”）的工艺废气处理设备较单反应腔（以下简称“单腔”）的工艺废气处理设备主要区别是增加一套独立的反应腔处理系统，通过结构优化设计等技术创新可以实现设备体积增加不超过二分之一但废气处理量增加一倍的技术效果，显著降低设备生产加工成本，同时减少客户占地空间和管理成本，是行业的主要发展趋势。因此，公司本次募投项目将结合客户需求增加双腔等离子水洗式和双腔燃烧水洗式工艺废气处理设备的量产能力。

燃烧水洗式工艺废气处理设备适用范围广，覆盖半导体的刻蚀、薄膜、扩散等工艺，因此其存量市场的替换空间大。公司布局燃烧水洗式工艺废气处理设备可以兼顾不同客户的使用习惯和技术要求，提升公司全面、优质的综合解决方案能力，同时可以丰富公司的产品矩阵、技术路线，符合公司打造国产先进半导体附属装备平台和“行业延伸+产品延伸”的战略要求。因此，本次募投项目将增加双腔燃烧水洗式工艺废气处理设备的量产能力，进一步提升公司工

7-1-25

艺废气处理设备整体商业竞争力。截至本问询回复出具之日，公司双腔等离子水洗式工艺废气处理设备已形成销售收入，公司双腔燃烧水洗式工艺废气处理设备正在与行业龙头客户开展技术交流工作。

2、本次募投项目拟生产产品真空设备是工艺废气处理设备的工艺段延伸产品，公司已掌握真空设备的核心技术，真空设备已在客户处开展验证测试，公司具备实施本次募投项目的相关能力本次募投项目拟生产产品真空设备是工艺废气处理设备的工艺段延伸产品，真空设备可使反应腔体内部形成发生反应所必需的真空环境，并抽离工艺废气，将工艺废气传输至工艺废气处理设备中进行无害化处理。

公司真空设备采用自主研发的结构设计及控制系统，提供半导体制程所必需的超洁净真空环境。公司于2022年开始真空设备研发立项，于2023年完成首款干式真空泵产品研发，目前真空设备已完成第三方机构SEMI F47和SEMI S系列标准认证，正在开展客户验证测试工作。公司于2023年开始全面布局适用于半导体行业清洁、中等和苛刻工艺制程的真空设备产品平台；同时和上市公司卧龙电气驱动集团股份有限公司形成全面战略合作，合作开发国产水冷变频器及高效永磁同步电机，进一步提升真空设备在占地面积、能耗和智能控制三个方面的优势。

公司目前已掌握真空设备的核心技术，利用转子与泵腔型线设计和控制分析技术，设计真空泵、阀门、管路、控制器、传感器等，结合对真空泵的转速控制、温度控制、氮气吹扫控制等，满足真空设备在高负载、大粉尘、强腐蚀等苛刻工艺环境中的适用性，保障长期连续运行下的密封性和真空度；利用系统及结构设计，在电机传动平稳性、可靠性基础上实现技术性能优化，降低半导体制程的真空环境维持能耗。

本次募投项目拟生产产品真空设备和工艺废气处理设备虽然核心技术和核心生产工艺存在区别，但在原材料、工艺、技术、应用领域及下游客户方面均具有相通性，公司在生产、技术及市场等方面均存在相关储备，因此公司在实

7-1-26

施本次募投项目时拥有较强的实施能力。本次募投项目拟生产产品真空设备和工艺废气处理设备的区别与联系如下：

7-1-27

3、本次募投项目拟生产产品温控设备、真空设备及工艺废气处理设备共同作用于半导体制程设备反应腔的辅助控制，公司已掌握温控设备的核心技术，已与客户开展技术交流工作，具备实施本次募投项目的相关能力

本次募投项目产品温控设备、真空设备及工艺废气处理设备共同作用于半导体制程设备反应腔的辅助控制，温控设备可对半导体制程反应腔进行高精密的温度控制，以实现半导体工艺制程的控温需求。

公司于2023年开始温控设备研发立项，重点开展对半导体机台高精度液冷温控设备进行研发，于2023年5月开始搭建测试平台，于2023年下半年实现精度±0.1℃的精准控制能力，于2024年6月实现-20℃低温控制能力，于2024年第三季度实现+170℃的高温控制能力，并完成-45℃超低温控制的研发测试。目前，公司温控设备已完成第三方机构SEMI F47和SEMI S系列标准认证，正在与客户开展技术交流工作。

公司目前已掌握温控设备的核心技术，温控设备使用双变频技术，实现对半导体工艺设备生产环境±0.1℃的精准控制；同时，通过结构设计优化，运用多通道和设备紧凑布局设计，在大负载状态、超低温或超高温等特殊状态实现快速温度控制，实现节能降耗，具有较高性价比。

本次募投项目拟生产产品温控设备和工艺废气处理设备虽然在核心技术和核心生产工艺存在区别，但在原材料、工艺、技术、应用领域及下游客户方面均具有相通性，公司在生产、技术及市场等方面均存在相关储备。因此，公司在实施本次募投项目时拥有较强的实施能力。本次募投项目拟生产产品温控设备和工艺废气处理设备的区别与联系如下：

7-1-28

4、公司已具备相关半导体附属设备及关键零部件产品所需的各项技术储备和制造经验公司管理和研发团队长期专注于半导体工艺废气治理，持续进行产品线的研发和技术创新，在半导体附属设备及关键零部件等方面均已形成深厚的技术积淀。截至2024年9月30日，发行人及其子公司已经取得专利证书的专利权共372项，包括16项发明专利和347项实用新型专利以及9项外观设计专利；软件著作权40项。在半导体附属设备及关键零部件领域，公司持续加大研发投入，逐步完成工艺废气处理设备、真空设备及温控设备等半导体附属设备和关键零部件的国产化研制，积累了丰富的技术储备，具备了规模化的生产能力。综上所述，公司已具备实施本次募投项目的相关能力。

（四）目前产品研发及验证测试进度，是否存在技术障碍，是否有明确的销售渠道及商业化安排，本次募集资金是否符合投向主业要求

本次募投项目拟生产产品工艺废气处理设备、真空设备和温控设备均已完成内部研发，形成产品样机，其中工艺废气处理设备是公司现有业务主营产品，报告期内已量产并实现销售收入，已完成第三方机构验证和客户验证，截至2025年2月28日在手订单合计金额为8,373.74万元；真空设备已完成第三方机构验证，正在开展客户验证工作，不存在量产的技术障碍；温控设备已完成第三方机构验证，正与客户开展技术交流工作，不存在量产的技术障碍。针对真空

7-1-29

设备和温控设备的商业化安排，因其与工艺废气处理设备共同作用于半导体制程设备反应腔的辅助控制，产品应用领域和终端客户相同，公司利用工艺废气处理设备的销售渠道正在积极开拓商业化安排。目前公司正在与行业知名客户开展战略合作协议或意向性协议签署沟通工作。

本次募投项目总投资金额为46,203.51万元，其中工程建设投资38,434.81万元，以募集资金投入金额35,000.00万元，募集资金用途全部为生产相关的投资，主要包括场地建造、场地装修和软硬件设备投资等，募集资金用途符合投向主业要求；本次募投项目基本预备费和铺底流动资金合计金额为7,768.70万元，全部以自有资金投入。本次募投项目投资未规划研发投入，后续的研发投入以公司自有资金形式开展。

1、本次募投项目拟生产产品工艺废气处理设备是公司现有业务主营产品，报告期内已量产并实现销售收入，已完成第三方机构验证和客户验证，截至2025年2月28日在手订单合计金额为8,373.74万元，不存在技术障碍，已有明确的销售渠道及商业化安排

本次募投项目拟生产产品工艺废气处理设备的研发进度情况如下：

注：双腔燃烧水洗式工艺废气处理设备是两套单腔燃烧水洗式工艺废气处理设备通过结构优化设计等技术进行集成，实现设备体积增加不超过二分之一但废气处理量增加一倍的技术效果。双腔燃烧水洗式工艺废气处理设备关键工艺与单腔燃烧水洗式工艺废气处理设备一致，差异点在气流分配和温度控制，公司已经掌握了气流分配和温度控制等相关差异点技术。公司已实现单腔燃烧水洗式工艺废气处理设备的生产及销售，已完成双腔燃烧水洗式工艺废气处理设备样机开发，双腔燃烧水洗式工艺废气处理设备的量产和销售不存在技术障碍。

在复杂的国际形势下，保障供应链安全、实现关键技术的自主可控已成为我国半导体产业发展的核心任务。报告期内，公司积极开展技术研发攻关，潜心解决“卡脖子”难题，已逐步积累了深厚的技术实力，完成工艺废气处理设

7-1-30

备在各技术路线和各应用场景布局，具备高度自产能力。在技术路线布局方面，公司先后成功研发等离子水洗式、电加热水洗式、燃烧水洗式等机型，实现了技术路线的全面掌握；在应用场景布局方面，公司实现了半导体外延、薄膜沉积、扩散、刻蚀等工艺段的全覆盖，持续解决客户的工艺需求和行业痛点；在自产能力方面，工艺废气处理设备已实现高度自产和机加工，并能够针对客户的特定需求定制化开发产品。

随着半导体工艺制程的不断演进与特色工艺的不断创新，下游客户对制程附属设备的要求越来越多样化、智能化、复杂化和集成化。公司将秉持“量产一批、研发一批、预研一批”的研发战略，聚焦客户和行业的特定需求，持续引领技术创新，为行业发展持续赋能，塑造竞争新优势。

截至本问询回复出具之日，公司工艺废气处理设备新产品研发主要聚焦客户的需求，其进度情况如下：

截至本问询回复出具之日，公司工艺废气处理设备新产品的预研主要聚焦行业的需求，其进度情况如下：

7-1-31

2、本次募投项目拟生产产品真空设备已完成内部研发，真空设备已完成第三方机构验证，正在开展客户验证工作，不存在量产技术障碍，公司利用工艺废气处理设备的销售渠道正在积极开拓真空设备商业化安排

本次募投项目拟生产产品真空设备的研发进度情况如下：

注：公司干式真空泵是抽速为1,800m?/h的多级罗茨真空泵机组第一代产品。

公司目前已掌握真空设备的核心技术，利用转子与泵腔型线设计和控制分析技术，设计真空泵、阀门、管路、控制器、传感器等，结合对真空泵的转速控制、温度控制、氮气吹扫控制等，满足真空设备在高负载、大粉尘、强腐蚀等苛刻工艺环境中的适用性，保障长期连续运行下的密封性和真空度；利用系统及结构设计，在电机传动平稳性、可靠性基础上实现技术性能优化，降低半导体制程的真空环境维持能耗。

公司利用工艺废气处理设备的销售渠道正在积极开拓真空设备商业化安排，目前公司正在与行业知名客户开展战略合作协议或意向性协议签署沟通工作。

公司在真空设备方向也秉持“量产一批、研发一批、预研一批”的研发战略，聚焦客户和行业的特定需求，持续引领技术创新。

截至本问询回复出具之日，公司真空设备新产品研发主要聚焦客户的需求，其进度情况如下：

7-1-32

注：罗茨真空泵内部装有两个向相反方向同步旋转的叶形转子，转子与转子、转子与泵壳间形成具有极小间隙而又不相互接触的密闭空间，通过转子的旋转运动、以极小的压缩比将气体从泵的入口输送到出口；多级爪式真空泵是通过两根轴上的多个爪形转子在泵腔内旋转，形成周期性的容积变化，实现气体的吸入、隔离、压缩和排气，多级爪式真空泵具有较高的压缩比和粉尘处理能力。

截至本问询回复出具之日，公司真空设备新产品预研主要聚焦行业的需求，其进度情况如下：

7-1-33

3、本次募投项目拟生产产品温控设备已完成内部研发，温控设备已完成第三方机构验证，正在与客户开展技术交流工作，不存在量产技术障碍，公司利用工艺废气处理设备的销售渠道正在积极开拓温控设备商业化安排本次募投项目拟生产产品温控设备的研发进度情况如下：

公司目前已掌握温控设备的核心技术，温控设备使用双变频技术，实现对半导体工艺设备生产环境±0.1℃的精准控制；同时，通过结构设计优化，运用多通道和设备紧凑布局设计，在大负载、超低温或超高温等特殊状态实现快速温度控制，实现节能降耗，具有较高性价比。

公司利用工艺废气处理设备的销售渠道正在积极开拓温控设备商业化安排，目前公司正在与行业知名客户开展战略合作协议或意向性协议签署沟通工作。

7-1-34

4、本次募投项目拟生产产品经过行业第三方机构认证情况

截至本问询回复出具之日，公司半导体附属设备及关键零部件在第三方机构的验证测试进度情况如下：

半导体行业作为高端制造行业，不仅投资额巨大，对于设备的安全性要求极其严苛。为了降低危险，半导体行业采用非常多类别的防制与管理措施。SEMI（国际半导体产业协会的简称）标准是半导体、平板显示器、微机电系统、光伏和高亮度LED行业的自愿性技术标准。SEMI标准旨在为半导体生产设备提供环境、健康、安全方面的导则，内容涵盖半导体设备安装指导、废气处理、液体加热系统、通风排气、人机工程、危险评估、生产设备净化、安全指导手册、防火安全、安全联锁系统电子设计、电离辐射、激光辐射等级等，被广泛应用于半导体产品的生产、测试、集成。其中最典型的措施是在采购设备系统时，将SEMI S安规认证、SEMI F47电压暂降列为必备的规格要求。

SEMI认证是对半导体设备可靠性、安全性和稳定性等方面的检测与认定。SEMI认证得到国际晶圆大厂普遍认可，是国际通行且被产业链广泛认可的通行证。获得认证的产品在市场上更具竞争力，能赢得客户信任，有助于拓展市场

7-1-35

份额，尤其是在全球半导体市场中，认证是企业实力和产品质量的重要体现。综上所述，发行人目前产品研发及验证测试均在正常周期范围内，相关进度正在稳步推进，且部分产品已获得第三方认证机构颁发的认证证书，不存在明显技术障碍。

5、本次募投项目拟生产产品客户验证测试持续推进，商业化落地持续推进针对本次募集资金投资项目的工艺废气处理设备、真空设备及温控设备，公司已有明确的销售渠道及商业化落地安排。

（1）本次募集资金投资项目中工艺废气处理设备产品已取得批量订单报告期内，本次募集资金投资项目相关产品工艺废气处理设备已完成半导体和新能源行业龙头企业的测试验证，并已取得批量订单，相关完成测试验证的企业包括中芯国际、长江存储、北方华创、华润微、中环半导体等多家半导体行业龙头企业和天合光能等多家新能源行业企业。

截至2025年2月28日，公司与本次募集资金投资项目相关产品工艺废气处理设备在手订单合计8,373.74万元，在手订单对应工艺废气处理设备台数为334台。

截至本问询回复出具之日，公司双腔等离子水洗式工艺废气处理设备已形成销售收入，公司双腔燃烧水洗式工艺废气处理设备正在与行业龙头客户开展技术交流工作。

（2）本次募集资金投资项目中真空设备及温控设备产品客户验证测试工作持续推进

截至本问询回复出具之日，本次募集资金投资项目中真空设备及温控设备产品在客户处验证测试具体情况如下：

7-1-36

注：本次募集资金投资项目中真空设备及温控设备测试验证情况系截至本问询回复出具之日情况。截至本问询回复出具之日，针对本次募集资金投资项目的工艺废气处理设备，公司已有明确的在手订单，公司同目标客户的合作意向较为明确，量产和商业化实现性较好。针对公司的真空设备产品，公司真空设备样机已经发往部分客户处进行验证测试，因验证周期较长的原因，相关样机均在客户处持续验证测试中，测试进展符合预期，暂未收到验证测试不通过的相关通知。真空设备客户验证工作一般分为性能测试验证和可靠性测试验证等验证工作。其中，性能测试验证主要对真空设备开展启动性、抽速、极限真空压力及极限真空功率等独立指标的性能测试验证。可靠性测试验证主要将真空设备与客户产线设备开展衔接，在连续运行一段时间后，检查真空设备的性能是否可靠稳定。性能测试验证和可靠性测试验证完成后，公司将与客户开展商务合同洽谈工作。目前，公司已完成部分客户的性能测试验证工作，截至目前正在开展该部分客户的可靠性测试验证工作。公司研发的温控设备已完成内部验证测试并已和潜在客户开展技术交流，拟于近期将样机发往客户处进行验证测试。同时，公司部分真空设备及温控设备产品已向部分客户提供报价单及签署试用订单，相关商业化进展持续推进中。

7-1-37

公司本次募集资金投资项目产品主要应用于半导体制程及新能源领域，下游行业景气度较高，市场需求旺盛。公司相关产品均已有明确的销售渠道及目标客户，工艺废气处理设备已与部分目标客户签订了订单或供货协议，真空设备验证测试进度符合预期，温控设备已和潜在客户开展技术交流，具有较好的商业可实现性。

综上所述，公司已具备相关半导体附属设备产品所需的各项技术储备和制造经验，具备实施本次募投项目的相关能力；相关产品研发及验证测试进展顺利，不存在明显的技术障碍；公司工艺废气处理设备已与多家客户签署订单或供货协议，真空设备与温控设备亦与潜在客户进行商业化洽谈或技术交流，相关产品具有明确的销售渠道及目标客户，商业化落地不存在重大不确定性。

本次募投项目拟生产产品工艺废气处理设备是公司现有业务主营产品，真空设备和温控设备与公司现有业务具有协同效应，在原材料、技术、工艺、应用领域、下游客户等方面存在协同性，紧密围绕发行人现有业务实施。因此，本次募集资金符合投向主业要求。

三、结合本项目拟生产产品或提供服务的细分市场空间及发展情况、上下游供需情况、同行业公司产能建设情况、发行人市场占有率、客户验证进展或预计订单情况等，说明本项目新增产能规模的合理性及具体产能消化措施

（一）结合本次募投项目拟生产产品或提供服务的细分市场空间及发展情况、发行人市场占有率等说明本项目新增产能规模的合理性及具体产能消化措施

本次可转债募集资金投资项目计划生产产品主要包括工艺废气处理设备、真空设备以及温控设备，为提高项目投资效益，本次募投项目工艺废气处理设备生产产线的募集资金投入是新购高度自动化设备并利用公司部分现有设备进行新产线建造，进一步提高产品生产工艺精度、生产工艺智能化及丰富产品型号；本次募投项目的真空设备和温控设备生产设备为新购置的生产产线。

考虑到产线投产时间、客户验证时间、产品研发进度等因素，本次募集资金投资项目拟分年逐步达产，项目实施产品的产能规划和销售规划情况如下：

7-1-38

单位：台/年

注：公司2024年度产能情况为年化数据。本次募集资金投资项目拟投入的产品收入预计情况如下：

单位：万元

注：公司2024年度产能情况为年化数据。

1、本次募投项目计划生产产品工艺废气处理设备的销售规划数量是基于细分市场规模、公司预计市场占有率、开拓客户数量、客户需求及产线产能调试等因素测算，因此本次工艺废气处理设备销售规划具有合理性并具有明确的市场消化安排

（1）本次募投项目计划生产产品工艺废气处理设备的销售规划数量是基于细分市场规模及预计市场占有率进行测算

本次募投项目计划生产产品工艺废气处理设备所处下游市场为持续增长的半导体晶圆制造市场，工艺废气处理设备的销售规划数量是公司根据细分市场规模及市场占有率进行测算的结果，具体数据如下：

7-1-39

注1：2025年度国内新增晶圆产能预计数量及新增晶圆产能预计增长率来源于《SEMI报告：全球半导体晶圆厂产能预计2024年增长6%，2025年增长7%》，公司根据2025年度国内新增晶圆产能预计数量及预计增长率结合市场情况合理预测2026年度、2027年度和2028年的新增晶圆产能预计数量及预计增长率。注2：每新增万片晶圆产能预计新增工艺废气处理设备需求量来源于华西证券股份有限公司《京仪装备(688652.SH):半导体专用温控/废气处理设备龙头，最受益先进制程扩产》研报内容。

注3：公司预计市场占有率系根据公司战略规划制定的市场占有率提升计划。

注4：上述测算数据仅包含集成电路领域市场，公司工艺废气处理设备产品亦可用于半导体显示及新能源等领域。

注5：上述测算仅考虑市场新机需求，未考虑存量机型替换需求。

（2）本次募投项目计划生产产品工艺废气处理设备的销售规划数量是基于公司预计开拓客户数量及客户需求、产线产能调试进行测算

本次募投项目计划生产产品工艺废气处理设备拟开发客户持续进行产能扩产，工艺废气处理设备销售规划数量是基于公司预计开拓客户数量及客户需求、产线产能调试进行测算，具体数据如下：

单位：台

7-1-40

注：上述测算数据仅包含集成电路及半导体显示领域市场，公司工艺废气处理设备产品亦可用于新能源等领域。公司预计开拓客户数量及客户需求与下游客户的产能扩张整体趋势一致，根据华西证券股份有限公司《京仪装备(688652.SH):半导体专用温控/废气处理设备龙头，最受益先进制程扩产》研报内容和公开市场披露信息，国内主要晶圆厂2023年至2025年扩产计划如下：

7-1-41

（3）本次募投项目计划生产产品工艺废气处理设备的销售规划数量目前已有意向性订单支持

本次募投项目计划生产产品工艺废气处理设备的销售规划数量目前已有意向性订单支持。

2、本次募投项目计划生产产品真空设备的销售规划数量是基于细分市场规模及公司预计市场占有率、公司预计开拓客户数量及客户需求、产线产能调试等因素测算，因此本次真空设备销售规划具有合理性并具有明确的市场消化安排

（1）本次募投项目计划生产产品真空设备的销售规划数量是基于细分市场规模及公司预计达成的市场占有率目标进行测算

本次募投项目计划生产产品真空设备所处下游市场为持续增长的半导体晶圆制造市场，真空设备的销售规划数量是公司根据细分市场规模及市场占有率进行测算的结果，具体数据如下：

7-1-42

注1：2025年度国内新增晶圆产能预计数量及新增晶圆产能预计增长率来源于《SEMI报告：全球半导体晶圆厂产能预计2024年增长6%，2025年增长7%》，公司根据2025年度国内新增晶圆产能预计数量及预计增长率结合市场情况合理预测2026年度、2027年度和2028年的新增晶圆产能预计数量及预计增长率。

注2：每新增万片晶圆产能预计新增真空设备需求量来源于《中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书》。

注3：公司预计市场占有率系根据公司战略规划制定的市场占有率提升计划。

注4：上述测算数据仅包含集成电路领域市场，公司真空设备产品亦可用于半导体显示及新能源等领域。

注5：上述测算仅考虑市场新机需求，未考虑存量机型替换需求。

（2）本次募投项目计划生产产品真空设备的销售规划数量是基于公司预计开拓客户数量及客户需求、产线产能调试进行测算，具体数据如下：

单位：台

注：上述测算数据仅包含集成电路及半导体显示领域市场，公司真空设备产品亦可用于新能源等领域。

（3）本次募投项目计划生产产品真空设备的销售规划数量目前已有意向性订单支持

7-1-43

本次募投项目计划生产产品真空设备的销售规划数量目前已有意向性订单支持。

3、本次募投项目计划生产产品温控设备的销售规划数量是基于细分市场规模及公司预计市场占有率、公司预计开拓客户数量及客户需求、产线产能调试等因素测算，因此本次温控设备销售规划具有合理性并具有明确的市场消化安排

（1）本次募投项目计划生产产品温控设备的销售规划数量是基于细分市场规模及公司预计达成的市场占有率目标进行测算

本次募投项目计划生产产品温控设备所处下游市场为持续增长的半导体晶圆制造市场，温控设备的销售规划数量是公司根据细分市场规模及市场占有率进行测算的结果，具体数据如下：

注1：2025年度国内新增晶圆产能预计数量及新增晶圆产能预计增长率来源于《SEMI报告：全球半导体晶圆厂产能预计2024年增长6%，2025年增长7%》，公司根据2025年度国内新增晶圆产能预计数量及预计增长率结合市场情况合理预测2026年度、2027年度和2028年的新增晶圆产能预计数量及预计增长率。注2：每新增万片晶圆产能预计新增温控设备需求量来源于华西证券股份有限公司《京仪装备(688652.SH):半导体专用温控/废气处理设备龙头，最受益先进制程扩产》研报内容。注3：公司预计市场占有率系根据公司战略规划制定的市场占有率提升计划。注4：上述测算数据仅包含集成电路领域市场，公司温控设备产品亦可用于半导体显示及新能源等领域。注5：上述测算仅考虑市场新机需求，未考虑替换需求。

7-1-44

（2）本次募投项目计划生产产品温控设备的销售规划数量是基于公司预计开拓客户数量及客户需求、产线产能调试进行测算，具体数据如下：

单位：台

注：上述测算数据仅包含集成电路及半导体显示领域市场，公司温控设备产品亦可用于新能源等领域。

（3）本次募投项目计划生产产品温控设备的销售规划数量目前已有意向性订单支持

本次募投项目计划生产产品温控设备的销售规划数量目前已有意向性订单支持。

7-1-45

4、本次募投项目运维数量是根据公司已销售的工艺废气处理设备数量和真空设备数量并结合质保期、运维系数、产线产能等因素综合进行测算

（1）本次募投项目工艺废气处理设备的运维数量是根据公司销售的工艺废气处理设备数量并结合质保期、运维系数、产线产能等因素综合进行测算，具体如下：

单位：台

7-1-46

注：公司工艺废气处理设备质保期一般为2年，本次募投项目规划工艺废气处理设备运维数量系公司已实现销售的产品运维数量。

（2）本次募投项目真空设备的运维数量是根据公司销售的真空设备数量并结合质保期、运维系数、产线产能等因素综合进行测算，具体如下：

单位：台

注：公司真空设备质保期一般为2年，本次募投项目规划真空设备运维数量系公司预计销售的产品运维数量。

7-1-47

（二）本次募投项目拟生产产品或提供服务的细分市场空间及下游发展情况

1、本次募投项目产品的细分市场空间及发展情况

随着中国半导体产业的持续扩张，半导体附属设备及关键零部件行业市场规模有望持续增长。根据华安证券测算，2023年-2025年中国大陆集成电路及半导体显示废气治理市场空间预计分别为28.2亿元、36.9亿元及42.6亿元；根据东吴证券研究所预测，2023年-2025年中国（含中国台湾地区）半导体真空泵市场规模分别为79亿元、81亿元及86亿元。根据智研咨询数据，2023年中国半导体专用温控设备的市场规模为16.94亿元。

2、本次募投项目产品的下游发展情况

本次募投项目产品是半导体制程工艺的配套附属设备及关键零部件，广泛应用于集成电路、半导体显示和新能源等领域。

全球集成电路产业的格局正在发生变化，行业需求中心和产能中心逐步向中国大陆转移，长江存储、中芯国际、华虹半导体及燕东微等一批中国半导体公司崛起，推动国产半导体设备产业链快速发展。

根据国海证券研究所数据，2023年中国集成电路市场规模约为12,276.9亿元；根据沙利文2023年12月出具《中国及全球集成电路市场研究报告》数据，未来，在5G商用、电动车、消费电子、物联网等行业的驱动下，预计2027年全球集成电路市场规模将达到36,320.6亿元，预计2027年中国集成电路市场规模约为15,078.2亿元。

从投资规模看，根据CINNO Research数据，2023年中国半导体产业项目投资金额达11,701亿人民币，同比下降22.2%；其中2023年中国半导体产业晶圆制造投资金额约为3,962亿人民币，投资占比约为33.9%，投资金额同比增长

114.2%。

从产能方面看，根据SEMI数据，国内各大晶圆厂仍处于扩产周期，在2025年前仍在进行产线扩建，2025年大陆晶圆产能将达到1,010万片/月（约当8英寸），约合全球产能的三分之一。在政府激励措施和芯片国产化政策的推动下，预计未来产能将持续增长。

7-1-48

2023年度，半导体行业整体处于“周期下行－底部复苏”阶段，智能手机、笔记本电脑等终端销售疲弱，导致上游半导体存储芯片、模拟芯片等需求不振，行业景气承压。进入2024年以后，随着终端厂商和供应链企业积极推进库存去化，叠加AI驱动行业创新，刺激手机、PC开启新一轮换机，半导体行业开始复苏。根据东莞证券研究所数据，2024年上半年，中国半导体板块实现营业收入2,788.31亿元，同比增长22.01%，半导体行业复苏趋势延续，板块单季度营收、净利润实现同比、环比增长，且盈利能力有所回升。展望未来，半导体行业在AI发展和国产替代的双重加持下有望延续复苏趋势，板块业绩有望实现逐季改善。半导体显示产业是国家战略性新兴产业。随着半导体显示产业的快速发展，在被显示企业视为“下一代显示屏技术”的MiniLED和MicroLED领域，中国企业的创新与落地也在不断推进。根据CINNO Research统计数据显示，2023年中国(含中国台湾)光电显示产业内投资资金主要流向显示面板、显示材料及Mini/Micro LED(MLED)领域，其中面板投资金额约1,586亿人民币，占比约为

51.7%，投资金额同比增长6.6%，MLED投资金额约为563亿人民币，占比约

18.3%，投资金额同比增长0.2%。

在碳中和的推动下，国内外光伏装机量大幅提升，下游需求旺盛拉动光伏厂商的资本开支。根据国家能源局数据显示：2024年全国光伏新增装机量为277GW。根据东吴证券研究所测算，国内光伏拉晶真空泵市场2022年规模为13亿元；而国内光伏电池片真空设备市场2023-2025年预计规模分别为12亿元、23亿及28亿元。彭博新能源财经（BNEF）在《2024年第三季度全球光伏市场展望》报告中预计2024年全球将新增592GW的光伏装机量，较2023年的444GW增长33%。光伏装机量的进一步提升将继续拉动对真空设备的市场需求。

3、本次募投项目产品的国产化进程加快

2024年12月2日，美国商务部工业和安全局（BIS）宣布将140家中国半导体相关公司列入“实体清单”。同时，BIS新规对24种半导体制造设备实施新管控，包括蚀刻、沉积、光刻等设备。截至2024年底，美国商务部工业和安全

7-1-49

局（BIS）已将超过300家中国半导体相关企业列入“实体清单”，其中包括诸多芯片制造企业，如中芯国际等。相关企业在采购美国原产或含有美国技术的制程设备及关键零部件时会受到更严格的审查和限制，甚至无法采购。面对外部限制，中国芯片制造企业也同步加大对国产设备的采购和研发投入，提高技术水平和产品质量。

（三）本次募投项目拟生产产品或提供服务同行业公司产能建设和发行人市场占有率情况国内半导体工艺废气处理设备及关键零部件市场由几家国际大型供应商主导，该国际大型供应商在技术、工艺水平、客户资源和品牌影响力等方面具有先发优势，在全球市场占据重要地位，市场集中度较高。

随着国内大型半导体企业受到美欧多国家的政策限制，以发行人、京仪装备及中科仪为代表的半导体附属设备及关键零部件本土厂商凭借本地化的服务、灵活高效的运维处理和更突出的性价比等优势，正在逐渐取代海外厂商的供应份额。

报告期内，根据公司工艺废气处理设备销售收入及市场数据进行分析测算，公司工艺废气处理设备市场占有率情况如下：

单位：万元

注：因可比公司京仪装备未披露2023年度及2024年度市场占有率情况，此处选择2022年度相关数据作为对比参考。

公司工艺废气处理设备市场占有率低于京仪装备，本次募集资金投资项目实施后，公司将提升相关产品的生产能力，提升产品竞争力从而提升公司产品市占率。

本次募投项目相关产品国内市场同行业上市公司产能建设情况如下：

7-1-50

单位：台

注：1、以上数据均来源于可比公司年度报告、招股说明书等公开资料；2、中科仪2021年度、2022年度及2023年度产能数据暂未公开。由上表可知，在半导体行业国产替代进程稳步发展的情况下，国内半导体附属设备及关键零部件厂商扩产积极。京仪装备2023年度工艺废气处理设备产量为702台，公司募投项目达产后工艺废气处理设备产能为1,600台/年，大于京仪装备扩产后产量，而温控设备产能低于京仪装备2023年度产量，真空设备产能低于中科仪年度产量。综上所述，在半导体行业国产替代进程稳步发展的情况下，国内半导体附属设备及关键零部件生产厂商正在积极扩产寻求更好的市场机会，公司也将通过本次募投项目的实施把握市场机遇，从而进行合理的产能消化；本项目有利于增强行业产品竞争力，进一步提高市场占有率，同时针对真空设备及温控设备加速进入市场具有积极影响，因此本项目新增产能规模具有合理性。

（四）本次募投项目拟生产产品或提供服务验证进展及预计订单情况

本次募投项目相关产品正在积极开展验证工作，具体进展详见本题回复之“二”之“（四）”内容。

截至2025年2月28日，公司与本次募集资金投资项目相关产品工艺废气处理设备在手订单合计8,373.74万元，在手订单对应工艺废气处理设备台数为334台。

截至本问询回复出具之日，公司真空设备产品仍在客户处进行验证测试中，验证测试进度仍在正常周期范围内，不存在验证测试失败的情况；公司温控设备产品已完成第三方机构的测试认证，已与潜在客户开展技术交流，暂未开展客户处验证。同时，随着下游客户的需求的增加，验证测试客户数量预计将同步增加，为公司本次募投项目的产能消化提供助力。

7-1-51

综上所述，公司工艺废气处理设备在手订单情况良好，在短期内能够合理地消化本次募投项目新增产能；此外，公司真空设备验证测试持续进行中，公司将在积极推进验证测试进度的同时寻求更多的市场及客户资源，从而使得公司新增产能能够合理消化；公司将积极开展温控设备的技术交流工作，积极拓展潜在客户资源。通过本次募集资金投资项目的实施，公司将持续满足下游客户需求，同时提高公司产能消化效率。

（五）本次募投项目拟生产产品或提供服务产能消化措施具备可行性和合理性

公司已经具备本次募投项目相关半导体附属设备及关键零部件所需的技术、制造经验与市场销售渠道等储备，并将发挥品牌优势及产品质量优势，保障产能消化效率，同时优化产品创新设计，增强产品竞争力，不断加大市场开拓力度，因此公司产能消化措施具备可行性和合理性。

1、公司已具备相关半导体附属设备及关键零部件所需的各项技术储备和制造经验、市场销售渠道等储备

公司管理和研发团队长期专注于半导体工艺废气治理，持续进行产品线的研发和技术创新，在半导体附属设备及关键零部件等方面均已形成深厚的技术积淀。同时，公司持续加大研发投入，逐步完成工艺废气处理设备、真空设备及温控设备等半导体附属设备和关键零部件的国产化研制，积累了丰富的技术储备，具备了规模化的生产能力。

针对本次募集资金投资项目的工艺废气处理设备、真空设备，公司均已有明确的市场销售渠道及商业化落地安排，具体内容详见本审核问询函回复问题1之“二、结合公司现有产品结构及收入情况，分析本次募投项目是否涉及新产品或新业务，与公司现有业务的协同效应，在原材料、技术、工艺、应用领域、下游客户等方面的区别与联系，公司是否已具备实施本次募投项目的相关能力，目前产品研发及验证测试进度，是否存在技术障碍，是否具有明确的销售渠道及商业化安排”内容。

2、发挥品牌优势及产品质量优势，保障产能消化效率

公司系中国高科技制造产业知名的绿色科技服务商。经过多年积累，公司建

7-1-52

立了完善的质量控制体系，依靠稳定的产品质量，获得了半导体行业优质客户的广泛认可，建立了良好的口碑和品牌优势。公司产品是客户生产工艺不可分割的组成部分。公司稳定的产品质量为客户的产能利用率、产品良率、员工职业健康及生态环境提供了有力保障，为公司保持稳固的行业地位和开拓市场提供了坚实基础。公司对产品研发设计、加工制造、系统集成及运维管理实施全过程标准化的管理和控制。公司或产品通过了FMApprovals 4922、ISO9001:2015质量管理体系认证、ISO14001环境管理体系认证、SEMI系列产品认证、CE认证等一系列国内、国际质量认证，并获得了客户的普遍认可与好评，是集成电路、半导体显示、新能源等高科技制造行业知名企业的优秀供应商和合作单位。综上所述，公司的品牌优势及产品质量优势将保障公司产能消化效率。

3、延伸产品链，增强产品竞争力，不断加大市场开拓力度

工艺废气处理设备、真空设备和温控设备共同作用于半导体制程设备反应腔的辅助控制，为半导体工艺环节创造所需的环境条件。为完善先进半导体附属设备及关键零部件平台搭建，充分发挥装备与零部件产品的协同性，公司不断丰富、延伸产品链。公司积极推进半导体附属设备及关键零部件业务市场拓展与研发验证工作，通过产品升级与拓类，匹配产业深度转型升级下的“高科技、高效能、高质量”要求。截至本问询回复出具之日，公司已发布多款工艺废气处理设备、真空设备、温控设备新产品，为下游客户提供更多自主设备选择。其中，工艺废气处理设备完成燃烧+水洗机型的研发，弥补公司在半导体CVD制程的设备空白；公司针对客户的CVD工艺生产过程中粉尘堵塞导致PM周期（预防性维护周期）短等痛点，定向研发的PW3000机型能够安全稳定运行。同时，公司运维服务将逐步打开进口设备涉及的零部件和PM运维市场。

此外，为更好的提升产能消化效率，公司将进一步完善市场拓展体系。基于广东盛剑、湖北盛剑以及新加坡盛剑等子公司，公司将更好的发挥地域化优势，通过更加灵活的维保服务探索潜在客户，从而在公司“以销定产”的销售模式下逐步提升产能消化效率。

7-1-53

四、结合盛剑半导体业务开展具体情况，分析本次通过盛剑半导体实施募投项目的背景，前期引入榄佘坤企管及员工持股平台的原因及合理性，对本次实施募投项目的具体影响，上述机构的股权结构及股东情况，与公司的具体关系，是否存在退出安排、是否实缴出资，未同比例提款借款的主要考虑

（一）本次通过盛剑半导体实施募投项目的背景及业务开展的具体情况

盛剑半导体自设立以来主要从事半导体附属设备及关键零部件的研发、生产及销售等业务，业务定位为“国产先进半导体附属设备平台”，系发行人半导体附属装备业务的承接主体。

在研发、生产方面，目前发行人半导体制程附属装备的设计及生产制造由盛剑半导体实施，盛剑半导体已就本次募投项目中的温控设备及真空设备取得相关核心技术，已依托其现有技术开展募投项目产品的研发及试生产，部分真空设备型号产品亦已完成验证测试。

在销售方面，半导体业务的下游客户由盛剑半导体进行开拓，相关产品已在市场中取得较好的声誉和市场竞争力。

在资产和人员方面，盛剑半导体有独立的生产产线，有研发部门、生产部门、销售部门构成的完整组织架构。

因此，盛剑半导体具备实施本次募集项目的研发、生产和销售能力，对于发行人未来在半导体附属设备领域继续拓展具有重要战略意义，发行人通过盛剑半导体实施募投项目具备必要性和合理性。

（二）盛剑半导体前期引入榄佘坤企管及员工持股平台的原因及合理性，对本次实施募投项目的具体影响

盛剑半导体引入外部投资者主要系按照公司战略发展规划，主要为增强盛剑半导体资本实力，优化股权结构。而盛剑半导体引入员工持股平台勤顺聚芯及勤顺汇芯旨在充分调动从事半导体业务员工的积极性、主动性和创造性，促进员工与企业共同成长和发展，推动盛剑半导体管理及业务长期、持续、稳健的发展。

因此，盛剑半导体前期引入榄佘坤企管、勤顺聚芯、勤顺汇芯具备合理性，符合盛剑半导体的战略发展规划，不会对本次实施募投项目造成不利影响。

7-1-54

（三）盛剑半导体其他股东的股权结构及股东情况，与公司的具体关系，是否存在退出安排、是否实缴出资，未同比例提款借款的主要考虑

1、机构股东的股权结构及股东情况，与公司的具体关系

截至本问询回复出具之日，榄佘坤企管、勤顺聚芯、勤顺汇芯均为有限合伙企业，其出资结构及相关合伙人情况，合伙人与公司的具体关系具体如下：

（1）榄佘坤企管的股权结构及与公司的具体关系

（2）勤顺聚芯的股权结构及与公司的具体关系

7-1-55

（3）勤顺汇芯的股权结构及与公司的具体关系

2、本次募投项目实施主体盛剑半导体其他股东是否存在退出安排截至本问询回复出具之日，榄佘坤企管、勤顺聚芯及勤顺汇芯均不存在关于退出盛剑半导体的相关安排。

3、本次募投项目实施主体盛剑半导体其他股东是否实缴出资

根据勤顺聚芯、勤顺汇芯及榄佘坤企管入股盛剑半导体时签署的《关于上海盛剑半导体科技有限公司之增资协议》，榄佘坤企管应在上述增资协议签署后30日内或盛剑半导体另行通知的支付时间之前，将认购价款全部汇入盛剑半导体指定账户；勤顺聚芯以及勤顺汇芯根据其合伙协议的约定收到合伙人足额出资后及时将认购价款汇入盛剑半导体指定账户。截至本问询回复出具之日，榄佘坤企管、勤顺聚芯、勤顺汇芯均已完成对盛剑半导体出资的实缴，盛剑半导体股权结构不存在重大不确定性。

4、本次募投项目实施主体盛剑半导体未同比例提款借款的主要考虑

截至本问询回复出具之日，榄佘坤企管除持有盛剑半导体股权外，未开展其他业务，其合伙人出资额合计金额即为其对盛剑半导体的出资额，榄佘坤企管资金为盛剑半导体的财务性投资者，实力有限，因此未同比例提款借款。

勤顺聚芯、勤顺汇芯为员工持股平台，除执行事务合伙人外，勤顺聚芯、勤顺汇芯其他合伙人为盛剑半导体业务的经营管理团队及核心人员，对本次募投项

7-1-56

目的顺利实施具有积极作用，其入股盛剑半导体具有必要性及合理性，该等合伙人资金实力有限，勤顺聚芯、勤顺汇芯其他合伙人在已实缴其认缴出资额后，短期内难以再同比例增资及借款，故后续不再同比例增资和提供借款。综上，本次募投项目实施主体盛剑半导体未同比例提款借款不存在导致盛剑半导体以明显偏低成本占用发行人资金的情形，不存在损害发行人利益的情形。

五、前次募集资金投向变更前后，实际用于非资本性支出占募集资金总额的比例是否超过30%

（一）公司前次募集资金投向变更前用于非资本性支出占募集资金总额的比例为59.61%，相关比例已超过30%

根据公司首次公开发行招股说明书披露内容，公司前次募集资金非资本性支出合计为36,700.50万元（包括补充流动资金27,758.99万元），占募集资金总额比例为59.61%，具体情况如下：

单位：万元

因此，公司前次募集资金投向变更前募集资金用于非资本性支出占募集资金总额的比例超过30%。

（二）公司前次募集资金投向变更后用于非资本性支出占募集资金总额的比例为60.78%，相关比例与前次募集资金投向变更前比例差异不大

公司于2022年2月25日召开2022年第一次临时股东大会，审议通过《关于调整部分募集资金投资项目实施内容及募集资金投入计划的议案》，同意公司

7-1-57

调整环保项目实施内容及相应总投资金额、调整环保项目及“新技术研发建设项目”的募集资金拟投入金额。公司“环保装备智能制造项目”的总投资金额由22,566.14万元调整为13,100.27万元，原计划投入募集资金12,528.27万元减少至9,228.27万元，减少3,300.00万元；“新技术研发建设项目”的总投资金额不变，原计划投入募集资金11,881.25万元增加至15,181.25万元，增加3,300.00万元。

截至2023年7月，公司前次募集资金投资项目已全部建设完毕，达到可使用状态。

截至前次募集资金账户注销之日，公司前次募集资金投向变更后用于非资本性支出占募集资金总额的比例为60.78%（考虑前次募集资金投资项目结余资金全部为非资本性支出），相关比例与前次募集资金投向变更前比例差异不大，具体如下：

单位：万元

综上所述，公司前次募集资金投向变更前后，实际募集资金投资用于非资本性支出占募集资金总额的比例均超过30%，变更前后实际募集资金非资本性支出占比相差不大。

7-1-58

六、中介机构核查情况

（一）保荐机构核查程序及核查意见

1、核查程序

针对上述问题，保荐机构执行了以下核查程序：

（1）查阅发行人本次募投项目可行性研究报告、发行人年度报告，了解关于本次募投项目具体建设内容、生产产品及相关产品在报告期内的生产、销售以及产能利用率等方面的具体情况，分析公司开展本次募投项目的主要考虑及必要性；查阅了行业报告等行业资料，结合行业市场竞争情况分析公司开展本次募投项目的主要考虑及必要性。

（2）查阅发行人年度报告，了解公司现有产品结构及收入情况，分析本次募投项目产品与公司现有业务的对比；访谈发行人业务负责人，了解本次募投项目产品与公司现有业务的协同效应，在原材料、技术、工艺、应用领域、下游客户等方面的区别与联系以及相关产品目前研发及验证测试进度情况，分析公司实施本次募投项目的相关能力；查阅了发行人员工花名册、专利及资质证书明细，分析发行人关于具备实施本次募投项目相应人员、技术、经验等方面的储备；访谈了发行人与本次募投项目产品相关的业务负责人，了解本次募投项目产品的研发及验证测试进度，分析相关产品的技术障碍、销售渠道以及商业化安排，从而论证本次募投项目符合投向主业要求。

（3）查阅了本次募投项目产品的行业分析报告及市场公开数据，了解本项目拟生产产品或提供服务的细分市场空间及发展情况、上下游供需情况并测算了发行人市场占有率；查阅了同行业公司的公开资料以及官网网站，了解同行业可比公司的产能建设情况；访谈了发行人与本次募投项目产品相关的业务负责人，了解客户验证进展以及预计订单情况；查阅了公司关于工艺废气处理设备、真空设备及温控设备验证测试流程的说明。

（4）查阅了公司针对盛剑半导体增资扩股并引入榄佘坤企管及员工持股平台的相关公告，查阅了盛剑半导体与榄佘坤企管及员工持股平台所签署的投资协议、员工持股平台的合伙协议；查阅了相关机构的出资凭证；访谈了榄佘坤企管的主要合伙人，了解其投资盛剑半导体的原因、股权结构、股东情况及与公司的

7-1-59

具体关系。

（5）查阅发行人前次募集资金银行账户银行存款日记账，分析前次募集资金投向变更前后，实际用于非资本性支出占募集资金总额的比例。

2、核查意见

经核查，保荐机构认为：

（1）公司开展本次募投项目综合考虑了公司发展战略落实、研发成果产业化、市场竞争情况及公司报告期内的生产及销售情况、产能利用率情况等因素，具有必要性。

（2）本次募投项目涉及新产品，不涉及新业务；本次募投项目产品与公司现有业务的协同效应，在原材料、技术、工艺、应用领域、下游客户等方面存在协同性；公司已具备实施本次募投项目的相关能力，目前产品研发及验证测试进度不存在技术障碍，同时具有明确的销售渠道及商业化安排，本次募集资金符合投向主业要求。

（3）本次募投项目新增产能规模测算具有合理性，公司制定具体产能消化措施。

（4）公司本次募投项目的实施符合《监管规则适用指引——发行类第6号》第8条的相关规定，具体情况如下：

7-1-60

（5）本次募投项目由公司非全资控股子公司盛剑半导体实施，具体实施方式为公司向盛剑半导体提供借款形式，盛剑半导体其他股东不进行同比例借款，主要原因是盛剑半导体其他股东资金实力有限；公司和盛剑半导体关于本次募投

7-1-61

项目实施的借款的年化利率为每笔借款的借款日（提款日）全国银行间同业拆借中心最近一次公布的贷款市场报价利率（LPR），借款利息根据每笔借款的实际借款额和借款天数计算，公司本次募投项目实施方式不存在损害上市公司利益的情形。

（6）公司已在《募集说明书》之“第六节 合规经营与独立性”之“五、关联方及关联交易情况”之“（二）关联交易”披露募投项目实施主体的基本情况，募投项目实施主体通过增资引入部分董事、监事和高级管理人员的原因、背景、必要性和合规性、相关利益冲突的防范措施；上述与关联自然人共同投资的关联交易，已经发行人第二届董事会第二十三次会议及第二届监事会第十七次会议审议通过，独立董事已发表了事前认可意见及同意实施的独立意见，具有合法合规性；公司通过增资引入部分董事、监事、高级管理人员行为符合《公司法》第一百四十八条的规定，公司已制定相关利益防范措施，相关利益防范措施具有有效性。

（7）前次募集资金投向变更前后，实际募集资金投资用于非资本性支出占募集资金总额的比例均超过30%，变更前后实际募集资金非资本性支出占比无重大差异。

（二）发行人律师核查程序及核查意见

1、核查程序

针对问题（4），发行人律师履行了如下核查程序：

（1）取得并查阅了榄佘坤企管、颐成投资、勤顺聚芯以及勤顺汇芯的工商档案、公司章程/合伙协议，并对前述主体的出资人情况进行了网络核查；

（2）取得并查阅了勤顺聚芯、勤顺汇芯及榄佘坤企管入股盛剑半导体时签署的《关于上海盛剑半导体科技有限公司之增资协议》及现行有效的《上海盛剑半导体科技有限公司章程》；

（3）取得并查阅了发行人关于盛剑半导体增资相关的公告；

（4）取得并查阅了榄佘坤企管的合伙人的调查问卷，对榄佘坤企管的执行事务合伙人委派代表进行访谈；

7-1-62

（5）取得并查阅了勤顺聚芯、勤顺汇芯的有限合伙人与发行人或其下属公司签订的劳动合同，取得并查阅了发行人关于该等自然人于公司任职情况的书面确认；

（6）取得并查阅了榄佘坤企管、勤顺聚芯及勤顺汇芯各自合伙人向其出资的凭证，以及榄佘坤企管、勤顺聚芯及勤顺汇芯向盛剑半导体支付投资款项的凭证；

（7）对发行人半导体附属装备业务的主要负责人进行访谈；

（8）取得并查阅了盛剑半导体报告期内的主要采购合同、主要销售合同；

（9）取得了盛剑半导体各股东，包括发行人、榄佘坤企管、勤顺聚芯、勤顺汇芯的书面确认。

2、核查意见

经核查，发行人律师认为：

发行人通过盛剑半导体实施募投项目具备必要性和合理性。盛剑半导体前期引入榄佘坤企管、勤顺聚芯、勤顺汇芯具备合理性，不会对本次实施募投项目造成不利影响。截至补充法律意见书（一）出具之日，榄佘坤企管的出资人与发行人不存在关联关系；勤顺聚芯、勤顺汇芯的出资人为发行人全资子公司或发行人员工；榄佘坤企管、勤顺聚芯及勤顺汇芯均不存在关于退出盛剑半导体的相关安排；榄佘坤企管、勤顺聚芯以及勤顺汇芯均已完成对盛剑半导体出资的实缴。榄佘坤企管、勤顺聚芯以及勤顺汇芯后续不向盛剑半导体提供同比例借款的安排具有合理的原因。

（三）申报会计师核查程序及核查意见

1、核查程序

针对问题（5），申报会计师履行了如下核查程序：

查阅发行人前次募集资金银行账户银行存款日记账，分析前次募集资金投向变更前后，实际用于非资本性支出占募集资金总额的比例。

7-1-63

2、核查意见

前次募集资金投向变更前后，实际募集资金投资用于非资本性支出占募集资金总额的比例均超过30%，变更前后实际募集资金非资本性支出占比无重大差异。

7-1-64

问题2：关于融资规模和效益测算根据申报材料，1）发行人本次募集资金不超过5亿元，其中用于“国产半导体制程附属设备及关键零部件项目（一期）”3.5亿元、用于补充公司流动资金

1.5亿元。2）本次募投项目建成且达产后，预计内部收益率为12.16%。

请发行人说明：（1）建筑工程费、设备购置及安装费等具体内容及测算过程，建筑面积、设备购置数量的确定依据及合理性，建筑单价、设备单价以及安装费与公司已投产项目是否存在明显差异；（2）本次募投项目实质上用于补流的规模及比例，是否存在置换董事会前投入的情形；（3）结合公司资产负债情况、现有资金规模、未来现金流入净额、各项资本性支出等，说明本次融资规模的合理性；

（4）效益预测中产品价格、成本费用等关键指标的预测过程及依据，与公司现有水平及同行业可比公司的对比情况。

请保荐机构及申报会计师根据《监管规则适用指引—发行类第7号》第5条、《证券期货法律适用意见第18号》第5条进行核查并发表明确意见。

【回复】

一、本次募投项目建筑工程费、设备购置及安装费等具体内容及测算过程，建筑面积、设备购置数量的确定依据及合理性，建筑单价、设备单价以及安装费与公司已投产项目是否存在明显差异

本次募集资金投资项目“国产半导体制程附属设备及关键零部件项目（一期）”建设内容主要包括购置土地、投资建设新厂房、引进先进的生产设备及生产系统等，拟通过建造高度自动化的生产线，打造先进国产半导体制程附属设备平台，建设国产半导体制程附属设备及关键零部件生产基地，以进一步扩大设备及关键零部件产品的生产能力，并同步提升运维服务能力。

本次募集资金投资项目的建设总投资为46,203.51万元，其中建筑工程费28,725.81万元、设备购置及安装费9,709.00万元，具体项目投资明细如下：

单位：万元

7-1-65

（一）本次募投项目建筑工程费具体内容、测算过程、建筑面积确定依据及合理性、建筑单价与公司已投产项目是否存在明显差异

1、建筑工程费具体内容及测算过程

本次募投项目拟投资建设四幢建筑物，分别为主厂房1幢、宿舍楼及食堂1幢、门卫室1幢和配电所1幢，总建筑面积为47,050平方米。

本次募投项目计划场地建设投资共28,725.81万元，其中土地购置费为3,429.50万元，场地建造费为22,985.51万元，场地装修费为2,310.80万元。土地购置费主要包括土地出让合同款及相关契税、印花税，场地建造费主要内容为工程建设投入和工程建设其他费用，场地装修费主要包括洁净室装修和一般装修。

本次募投项目场地建造费中各项费用根据向相关单位询价、公司历史建设经验并依据工程量大小及计费标准测算得出，具体如下：

7-1-66

本次募投项目场地装修费主要包括洁净室装修和一般装修投入，具体如下：

本次募投项目主厂房内部规划有测试间，用于产品测试，规划面积为5,000平方米，装修标准较高，为洁净室级别装修标准，因此装修单价按照2,500元/平方米测算；主厂房内部规划有其他公共区域4,000平方米，外加厂区内规划有宿舍区6,608平方米，装修标准为一般装修，装修单价按照1,000元/平方米测算。

2、建筑面积确定依据及合理性

本项目拟建设厂区的具体面积规划如下：

本项目的建筑面积依据拟建设产能生产工艺所须产线设备的占地面积、生产流程的布局、生产经营所必须的配套设施面积等综合考虑对所需场地面积的需求，

7-1-67

并考虑容积率、绿地率等多方面的要求进行规划，最终确定建设规划以及厂房设计图，建筑面积能够满足生产需求，具备合理性。

3、建筑单价与公司已投产项目不存在明显差异

（1）本次募投项目建设及装修单价与公司已投产项目比较情况

单位：万元/平方米

本次募投项目建设用地和公司总部大厦均位于上海市嘉定区，本次募投项目建设设施和公司总部大厦均为混凝土结构。本次募投项目建设及装修单价与公司同在嘉定区的总部大厦的建设及装修单价数据接近，差异较小。

（2）本次募投项目建设及装修单价与上海地区同类型项目比较情况

同行业上市公司在上海地区的募投项目的建设单价在0.49万元/平方米至

1.03万元/平方米区间，本次募投项目建设单价在该区间内，无重大异常情形。

7-1-68

（二）本次募投项目设备购置及安装费具体内容、测算过程、设备购置数量的确定依据及合理性、设备单价及安装费与公司已投产项目是否存在明显差异

1、设备购置及安装费具体内容、测算过程

公司本次募投项目产品的工艺原理为通过机加工、预组装、总装以及测试等工序，最后制造成符合客户要求的半导体附属装备以及核心零部件，故本项目中拟购置的软硬件设备主要用于产线搭建和生产管理。

本次募集资金投资项目计划投入软硬件设备购置费（含安装费）9,709.00万元，其中硬件设备购置及安装共计投资9,439.00万元，软件购置及安装共计投资

270.00万元，具体测算明细如下：

2、设备购置数量的确定依据及合理性

本次募集资金投资项目设备数量根据项目产能规划、生产工艺流程需要及历史项目生产经验等拟定；公司针对单价高于100万的设备进行了市场询价，询价设备总投资占本次软硬件投资总额的66.80%。其他单价较低的设备参照相同或

7-1-69

类似规格/型号设备的市场价格并结合公司历史采购经验得出。

3、设备单价及安装费与公司已投产项目是否存在明显差异

本次募集资金投资项目中工艺废气处理设备生产产线的募集资金投入是新购高度自动化设备并利用公司部分现有设备进行新产线建造，进一步提高产品生产工艺精度、生产工艺智能化及丰富产品型号，主要购置设备与已投产项目购置的设备是互补关系，暂不存在可比性；本次募投项目的真空设备和温控设备生产设备为新购置的生产产线，暂不存在可比性。从单位产能设备投资金额角度分析，本项目募集资金投资项目投资强度与现有产线的对比情况如下：

注：本次募投项目为技改项目，原有产线设备将迁入本项目，表中投资额包括本次募投项目技改投资9,709.00万元以及历史产线设备原值对应投资额1,744.12万元。

本次募集资金投资的项目主要产品与现有产线存在显著差异。具体而言，工艺废气处理设备将从现有型号升级为更复杂、附加值更高的新型号，如燃烧水洗式双腔和等离子水洗式双腔等。同时，真空设备和温控设备均为全新产品，产品和机型的变化导致本项目的生产设备与现有产线存在较大差异。此外，本次募集资金投资项目实施后，生产运维所需的零部件未纳入本项目的整机产能计算中，从而进一步增加了单位产能设备投资额。

本次募投项目实施后将作为公司国产半导体制程附属设备及关键零部件的研发平台，为工艺废气处理设备、真空设备和温控设备等产品的产业化及新产品的研发提供保障，因此公司本次募投项目选取的产线生产设备生产精度和自动化程度较高，相应设备价格更高。

综上所述，由于本次募投项目产品种类、生产设备类型和工艺流程等方面存在明显差异，致使设备单价与公司现有产线存在一定差异；而零部件运维对产能

7-1-70

的占用，使得本项目的单位产能设备投资额高于公司现有产线，具备合理性。

二、本次募投项目实质上用于补流的规模及比例，是否存在置换董事会前投入的情形

（一）本次募投项目实质上用于补流的规模及比例

本次向不特定对象发行可转换公司债券募集资金总额不超过50,000.00万元（含50,000.00万元），扣除发行费用后，募集资金拟用于以下项目：

单位：万元

本次向不特定对象发行可转债募集的资金中实质上用于补流的规模为15,000.00万元，不超过全部募集资金总额50,000.00万元的30%。

（二）本次募投项目是否存在置换董事会前投入的情形

本次募投项目中的“国产半导体制程附属设备及关键零部件项目（一期）”于董事会前投入的资金为3,429.50万元（土地购置费），该费用未列入本次募集资金投资构成中。公司未来也不会将董事会前投入的资金土地购置费3,429.50万元进行置换。

因此，公司不存在置换董事会前投入资金的情形。

三、结合公司资产负债情况、现有资金规模、未来现金流入净额、各项资本性支出等，说明本次融资规模的合理性

（一）公司资产负债情况

报告期内，公司合并口径的资产负债率为38.35%、45.19%、53.76%及55.62%，公司正处于快速发展阶段，债务融资规模的逐渐扩大，使得资产负债率逐步提升。截至2024年9月，公司短期借款余额42,693.84万元，一年内到期的非流动负债余额3,858.79万元，长期借款余额25,342.34万元，公司有息负债超过7亿元。

7-1-71

本次募投项目补充流动资金可以降低财务风险和经营风险，优化财务结构，有效避免因资金期限错配问题造成的偿债压力，有利于保障公司现有项目和在建项目顺利开展，以更低的成本扩大规模，实现公司的长期发展战略。

（二）结合现有资金规模、未来现金流入净额、各项资本性支出等，说明本次融资规模的合理性

考虑到公司未来三年预计经营活动现金流量净额、现金分红以及满足公司日常经营等需要，公司未来三年存在资金缺口合计约为52,689.00万元，具体测算如下：

单位：万元

1、最低货币资金保有量计算情况

在财务管理实践中企业通常会考虑其现金流的稳定性和可持续性，为了能应对可能的经营风险、市场波动或突发的资金需求，企业会倾向于保持一定水平的现金储备。

如选取公司最近一期各月平均经营性现金流出金额的三倍作为最低货币资金保有量，根据计算结果，公司最低货币资金保有量为44,262.58万元。

如选取公司最近一期各月末最低货币资金余额的三倍作为最低货币资金保有量，根据计算结果，公司最低货币资金保有量为44,430.32万元。

如选取以最近一年年度付现成本及货币资金周转次数进行测算最低货币资金保有量，根据计算结果，公司最低货币资金保有量为76,744.45万元。

7-1-72

基于谨慎性原则，公司选取上述三种测算结果中最低值作为最低货币资金保有量测算结果，即44,262.58万元。三个月的经营活动现金流出在实践中通常被认为能够覆盖企业短期内的大部分运营成本和潜在的紧急支出，从而为企业提供一定的财务缓冲，结合公司日常经营活动现金需求量较大的情况，公司选取最近一期各月平均经营性现金流出金额的三倍作为最低货币资金保有量具有合理性。

2、未来三年预计经营活动现金流量净额情况

2021年至2023年，公司业务发展较快，公司回款受下游客户投资建设进度影响较大，使得公司2021年至2023年平均经营活动现金流量净额存在小于零的情形。公司预计未来业务发展将保持稳健，基于资金缺口测算谨慎性原则，预计未来三年经营活动现金流量净额合计为0。

3、未来三年预计现金分红金额

根据《公司章程》，公司每年以现金方式分配的利润不少于当年实现的可供分配利润的10%。根据公司最近一年归属于上市公司股东的净利润为基础进行计算，假设公司未来三年归属于上市公司股东的净利润保持不变，则公司未来三年预计归属于上市公司股东的净利润合计52,114.32万元。

假设公司未来三年现金分红比例为10%，公司未来三年预计现金分红金额为5,211.43万元。

4、已审议投资项目资金使用安排

公司于2022年8月23日召开第二届董事会第十四次会议，审议通过《关于投资电子专用材料研发制造及相关资源化项目的议案》，公司拟在合肥新站区管委会辖区内购置土地投资建设“上海盛剑电子专用材料研发制造及相关资源化项目”，项目总投资3亿元。

截至2024年9月30日，该项目已投入资金9,726.59万元，尚需投入资金20,273.41万元。

近年来，公司业务持续快速发展。随着业务规模的迅速扩大，公司仅依靠内部经营积累和间接融资已经较难满足业务持续快速扩张对资金的需求。本次公司

7-1-73

拟将募集资金中的15,000.00万元用于补充流动资金，符合公司所处行业发展现状及公司业务发展需求。“补充流动资金”项目实施后，公司营运资金需求将得到有效满足，资产结构更加稳健，可提升抗风险的能力，保障公司的持续稳定发展，具备必要性和合理性。

综上所述，报告期内公司资产负债率逐步提升。截至2024年9月，公司有息负债超过7亿元；同时，根据公司现有资金规模、未来现金流入净额、各项资本性支出等进行合理测算，公司未来三年存在资金缺口合计约为52,689.00万元。本次募投项目实施后，可以降低公司财务风险和经营风险，故本次募集资金投资项目融资规模具有合理性。

四、本次募投项目效益预测中产品价格、成本费用等关键指标的预测过程及依据，与公司现有水平及同行业可比公司的对比情况

（一）本次募投项目收入预测过程

本次募投项目测算期为10年，收入主要来源于半导体附属装备及核心零部件产品的生产及销售，以及后续运维服务收入，主要产品包括工艺废气处理设备、真空设备和温控设备等多个系列的产品。

营业收入的预测系根据各系列产品每年的销售情况、产能释放情况与各系列产品的预测综合单价等因素确定。

本次募投项目达产后可实现1,600台工艺废气处理设备、1,200台真空设备和300台温控设备的供应能力，运维服务能力按照1,800套工艺废气处理设备运维服务能力和400套真空设备运维服务能力规划。

本次募投项目中，预测销售数量按照当年产量即为当年销量进行假设，预测产品单价基于公司历史同类产品的单价数据、竞争对手的公开数据、券商研究报告数据、未来市场竞争预测等综合确定。本次募投项目营业收入预测如下：

7-1-74

注：以上所示第一年为2024年，第二年为2025年，以此类推，下同。

1、工艺废气处理设备收入测算过程及关键数据确定依据

（1）工艺废气处理设备销售收入

1）产品销量测算过程公司根据预计市场拓展情况、项目投入进度等确定了工艺废气处理设备产品的销售计划。第一年项目建设，第二年产线完成技改并投产开始贡献收入。基于谨慎性考虑，预计第二年产能释放率为30%，第三年为50%，第四年为80%，

7-1-75

第五年完全达产为100%。随着公司在行业内竞争力不断提升，产能按照逐步释放，具备合理性。

2）产品单价测算过程工艺废气处理设备产品机型包括电加热水洗式、等离子水洗式、燃烧水洗式等多种类型，面向CVD工艺和ETCH工艺等不同工艺制程的多领域客户，由于技术差异，产品单价各有不同。

故采用以下方式测算未来工艺废气处理产品的综合单价：

A、已有机型基于公司历史产品价格，新机型综合考虑本次募投项目产品特点、相关客户市场需求、产品成本等因素进行定价，确定各类机型产品第一年的预计销售价格，价格区间在最低18万至最高70万（含税价）之间；

B、以第一年的价格为基准，考虑销售规模逐年放大及国产替代加速等因素，按照第二年至第五年，全部机型单价按照每年同比下降6%、6%、3%、3%预测未来每年的单价，至第五年本次募投项目满产后，单价稳定；

C、根据下游主要客户未来2-3年内的项目投资计划，预测主要客户对不同机型的采购量，以及公司能够获取的市场份额，根据各自机型预测目标销量/总销量得出未来2-3年不同机型的产品结构权重，根据该权重*单价，计算出工艺废气处理设备产品的综合平均单价。

（2）工艺废气处理设备运维收入

1）运维量预测过程

工艺废气处理设备运行过程中存在损耗，需要定期进行维修保养，公司提供

7-1-76

一定质保期限内的运维服务，超出质保期后，客户仍存在运维需求，公司为客户提供的运维服务会形成收入。随着公司工业废气处理设备销售量不断积累，预计本次募投项目测算期内运维量会持续增加，从第二年的90套逐步提升至第八年的1,800套。2）运维单价预测过程基于同类产品市场报价及公司获取合理利润的定价，确定第二年运维单价为

4.42万元/套，并基于谨慎性原则，假设第三年至第八年，按照每年服务单价有5%的降幅，第八年后单价稳定在3.25万元/套。

2、真空设备收入测算过程及关键数据确定依据

（1）真空设备产品收入

1）产品销量测算过程公司根据预计市场拓展情况、项目投入进度等确定了真空设备产品的销售计划。第一年项目建设，第二年真空设备产线投产并贡献收入。基于谨慎性考虑，预计第二年产能释放率为20%，第三年为50%，第四年为75%，第五年完全达产为100%。随着公司在行业内竞争力不断提升，产能按照逐步释放，具备合理性。

2）产品单价测算过程真空设备可用于半导体领域和光伏领域，产品单价不同，半导体专用真空设备对技术要求较高，其产品对应单价亦高于光伏领域专用真空设备。

根据公司的产品规划，公司第二年率先开始量产光伏领域用真空设备，项目

7-1-77

第二年产品单价为6.19万元/台，随后开始量产半导体领域用真空设备，并且随着半导体领域真空设备销售比重的提升，预计产品综合单价也会不断提高，基于谨慎性考虑，预计第五年真空设备实现价格稳定，为7.96万元/台。

（2）真空设备运维服务收入

1）运维量测算过程真空设备运行过程中存在损耗，需要定期进行维修保养，公司提供一定质保期限内的运维服务，超出质保期后，客户仍存在运维需求，公司为客户提供的运维服务会形成收入。随着公司真空设备销售量不断积累，预计本次募投项目测算期内运维量会持续增加，基于谨慎考虑，预计第四年开始出现真空设备运维需求，为20套，至第八年逐步提升至400套。2）运维单价测算过程基于同类产品的市场报价及公司获取合理利润的定价，确定第四年运维单价为2.65万元/套，并基于谨慎性原则，假设第五年至第八年，按照每年服务单价有5%的降幅，第八年后单价稳定在2.16万元/套。

3、温控设备收入测算过程及关键数据确定依据

温控设备收入测算过程及关键数据如下：

7-1-78

（1）产品销量测算过程

公司根据预计市场拓展情况、项目投入进度等确定了项目产品的销售计划。第一年项目建设，第二年温控设备产线投产并贡献收入。基于谨慎性考虑，预计第二年产能释放率为20%，第三年为50%，第四年为75%，第五年完成达产为100%。随着公司在行业内竞争力不断提升，按照产能逐步释放，具备合理性。

（2）产品单价测算过程

预计第二年开始量产温控设备，单价为15.45万元/台，基于谨慎性考虑，并考虑到销售规模放大及国产替代加速等因素，第三年至第五年期间按照每年单价降低3%，第五年达产后温控设备价格稳定，为14.10万元/台。

综上所述，本次募投产品及服务测算过程中公司充分考虑了下游客户需求规划、未来产品结构等多方面的情况，单价测算体现出合理性。对于新机型、新产品及新业务，均按照相对缓慢的节奏规划产能的释放，并充分考虑了规模效益和国产替代带来的产品单价保守性下调因素，测算过程具有谨慎性。

7-1-79

（二）本次募投项目成本费用预测过程

本次募投项目成本费用预测过程如下：

单位：万元

7-1-80

1、生产成本

（1）材料费

本次募投项目材料费参照2022-2023年公司工艺废气处理设备业务的材料费占收入的比重水平，基于谨慎性原则，按照未来毛利率有所下降、材料费占收入比重有所提升考虑，按照57.5%的收入占比测算未来材料费。

（2）生产、运维人工费

本次募投项目人工费主要包括生产人工费和质保期之外的运维人工成本。计算期工资及福利参考公司现有岗位人员工资福利水平并考虑每年5%的上浮计算。

（3）折旧与摊销

本次募投项目折旧按平均年限法计算，房屋及建筑物折旧年限按20年计算，残值率为5%；机器设备折旧年限按10年计算，残值率为5%，其他机器设备折旧年限按5年计算，残值率为5%。土地使用权按20年摊销，残值率为0%；软件按5年摊销，残值率0%，装修是产线的重要组成部分，与产线折旧年限保持一致，按10年摊销，残值率为0%。

（4）其他费用

本次募投项目其他费用包括燃料及动力、加工费、通讯费、办公费、修理费等其他费用，参照2022-2023年公司工艺废气处理设备业务的其他费用占收入的比重水平，基于谨慎性原则，按照0.6%的收入占比测算未来其他费用。

2、期间费用

（1）销售费用：参考公司2023年的销售费用率数据，按本次募投项目预测营业收入的同等比例计算销售费用，并与本次募投项目可测算的销售费用（本项目销售、分摊质保期内运维人员工资）比较，取孰高值。

（2）管理费用：参考公司2023年的管理费用率数据，按本次募投项目预测营业收入的同等比例计算管理费用，并与本次募投项目可测算的管理费用（本项目管理人员工资、土地使用权摊销）比较，取孰高值。

（3）研发费用：基于谨慎性原则，考虑到新机型、新设备的研发投入较大，

7-1-81

本次募投项目研发费用率取13%（高于公司2023年的研发费用率数据5.59%），按本次募投项目预测营业收入的同等比例计算研发费用，并与本次募投项目可测算的研发费用（本项目研发人员工资）比较，取孰高值。

3、主要税种及税率

城市维护建设税按免抵税额与实际缴纳流转税税额的7%计缴；教育费附加按免抵税额与实际缴纳流转税税额的5%计缴；地方教育费附加按免抵税额与实际缴纳流转税税额的2%计缴；企业所得税税率按15%测算。

（三）本次募投项目与公司现有水平及同行业可比公司的对比情况

1、本次募投项目产品单价与公司现有水平及同行业可比公司的对比情况

（1）工艺废气处理设备

公司本次募投项目与现有同类产品的单价和型号情况比较如下：

单位：万元/台

公司工艺废气处理设备细分类型包括燃烧水洗式、等离子水洗式、电加热水洗式等不同机型，在技术指标、适用场景等方面对比情况如下：

7-1-82

工艺废气处理设备不同技术路线类型之间的主要区别是产生高温环境的能量方式不同，相互之间不存在迭代或替代关系。本次募投项目拟扩产的工艺废气处理设备达产年单价为27.49万元/台，高于2022年平均单价20.99万元/台，略低于2023年平均单价29.29万元/台。上述平均单价之间的差异主要是因为产品结构变化导致。2022年公司主要出货机型是单腔电加热水洗式和单腔等离子水洗式，2023年由于下游需求的变化，主要出货机型为单价更高的单腔等离子水洗式，单价相对较低的单腔电加热水洗式机型出货量较少。本次募投项目中拟扩产的工艺废气处理设备机型覆盖了单腔等离子水洗式、单腔电加热水洗式、双腔等离子水洗式、双腔燃烧水洗式等多种机型。双腔机型的售价通常更贵，预计双腔机型出货量占比提升将抬升公司未来产品的平均单价，故第二年产品单价高于公司产品的历史均价，而基于谨慎性原则，考虑销售规模放大及国产替代加速等因素，按照第二年至第五年，各类机型单价同比下降6%、6%、3%、3%计算出各机型的未来单价，故达产年测算单价有所降低。

根据京仪装备公告资料，其2022年工艺废气处理设备单价55.33万元/台，收入结构中双腔燃烧水洗式63.13%、单腔燃烧水洗式收入占比24.05%、单腔等离子水洗式收入占比12.45%，其他类型收入占比0.36%。与同行可比公司京仪装备相比，本次募投项目拟扩产的工艺废气处理设备单价低于京仪装备产品单价，主要是因为机型不同，不具备可比性。

（2）温控设备

温控设备属于公司新开发的半导体附属设备，无历史单价数据，本次募投项目之温控设备的预测单价如下：

单位：万元/台

7-1-83

按照技术路线划分，市场中半导体专用温控设备可以分为热交换器类型（覆盖＞20℃温度区间）、单级压缩类型（覆盖-45℃至120℃温度区间）、复叠类型（覆盖-120℃至40℃温度区间）、热电类型（覆盖-10℃至80℃温度区间）。

热交换器

复叠

热电类型

半导体专用温控设备不同技术路线类型的主要参数区别是温度范围不同，相互之间不存在迭代或替代关系，此外相关产品根据通道数量的不同还进一步细分为单通道、双通道、三通道等多种类型，不同类型的技术指标和适用场景如下：

本次募集资金投资项目中温控设备产品预测价格为14.10万元/台，低于同行可比公司京仪装备的综合单价，主要原因是产品结构差异导致。

根据京仪装备的公开资料，2020-2022年期间，Y系列-单通道产品收入占比

22.79%，平均单价为11.80万元/台；Y系列-双通道产品收入占比59.5%，平均单价为23.45万元/台。温控设备具体型号的单价也有差异，如其单通道产品Y-8050SC型号价格约12-17万元/台；单通道产品Y-8020SC型号价格约8-9万元/台；双通道产品Y-8010DC型号价格约18-20万元/台。

7-1-84

温控设备根据技术路线和通道数量的不同单价差异较大，本次募集资金投资项目中温控产品预测单价为14.10万元/台，具备合理性。

（3）真空设备

真空设备属于公司的关键零部件产品，无历史单价数据，本次募投项目之真空设备的预测单价如下：

单位：万元/台

本次募投项目建设第二年率先投产光伏领域的真空设备产品，预计单价为

6.19万元/台，随后几年半导体领域真空设备销售占比提升会带动产品价格的提升，预计第五年为7.96万元/台，随后价格趋于稳定，与行业同类产品单价信息比较，该单价具备合理性。

2、产品毛利率、期间费用率与公司现有水平及同行业可比公司的对比情况

本次募集资金投资项目主要产品及服务主要为工艺废气处理设备、真空设备、温控设备及相应的运维服务，生产同类产品的企业主要包括京仪装备、中科仪等。

本次募投项目毛利率情况与公司历史数据及同行业可比公司对比数据如下：

7-1-85

本次募投项目达产年毛利率与报告期内可比上市公司综合毛利率均值35.61%相比并无明显差异，差异部分主要是因为业务结构、同类产品机型不同，具备合理性。本次募集资金投资项目的期间费用率具体如下：

注：因中科仪2023年度持有金融资产和金融负债产生的公允价值变动损益以及处置金融资产和金融负债产生的损益较高，故选择中科仪2023年度扣除非经常性损益影响后净利率进行比较；根据公告文件，中科仪2023年度净利润为60,000.85万元，归属于挂牌公司股东的扣除非经常性损益后的净利润7,045.80万元。

本次募投项目的销售和管理费用率参照母公司2023年水平具备合理性。其一，公司长期服务于集成电路、半导体显示、新能源等领域，积累了众多客户，本次募投项目产品的下游客户群体与母公司现有的客户资源高度重合，现有客户资源及渠道可实现有效利用与转化。其二，在长期业务开展过程中，公司已构建起一套成熟的服务体系，在销售、客户服务以及管理等方面均形成了相对成熟的流程与模式。

本次募投项目测算研发费用率高于可比公司，主要因为募投项目中存在工艺废气处理设备新机型、真空设备、温控设备等新产品，新产品后续仍有持续迭代需求，故研发投入维持较高水平具有合理性。

7-1-86

3、效益与公司现有水平及同行业可比公司的对比情况对比

可比公司京仪装备、中科仪并未披露相关同类型产品募投项目的内部收益率数据，故选取半导体设备或零部件行业上市公司募投项目作为参照。

本次募集资金投资项目税后内部收益率为12.16%，与可比项目平均水平不存在明显差异。

综上所述，公司本次募集资金投资项目效益预测中产品价格、成本费用等关键指标的预测过程严谨、测算依据合理，相关指标未明显偏离公司现有业务及同行业可比公司平均水平。

五、中介机构核查情况

（一）核查程序

针对上述问题，保荐机构及申报会计师执行了以下核查程序：

（1）查阅了本次募投项目可行性研究报告、募投项目投资测算表，了解本次募投项目建筑工程费、设备购置及安装费的具体内容及测算过程并分析建筑面积、设备购置数量的合理性；获取了公司已投产项目的建筑施工合同及设备采购台账；

（2）查阅了本次募投项目可行性研究报告、募投项目投资测算表，了解本次募投项目实质上用于补流的规模及比例；查阅了公司公开披露文件及国家税务总局上海市嘉定区税务局一所开具的中央非税收入统一票据，了解发行人本次募

7-1-87

投项目在董事会前投入的情况；

（3）查阅了公司报告期内的资产负债表、现金流量表、项目投资计划表、募投项目投资测算表，分析本次融资规模的合理性；

（4）查阅公司报告期内的利润表、募投项目投资测算表并查阅了同行业上市公司公开披露资料，对比本次募投项目预计毛利率、期间费用率等关键指标，分析本次募投项目测算的合理性。

（二）核查意见

经核查，保荐机构及申报会计师认为：

（1）本次募投项目场地建造费中各项费用根据向相关单位询价、公司历史建设经验并依据工程量大小及计费标准测算得出，建筑面积依据拟建设产能生产工艺所须产线设备的占地面积、生产流程的布局、生产经营所必须的配套设施面积等综合考虑对所需场地面积的需求，并考虑容积率、绿地率等多方面的要求进行规划，最终确定建设规划以及厂房设计图，建筑面积能够满足生产需求；建筑单价、设备单价以及安装费与公司已投产项目不存在明显差异，具备合理性。

（2）本次募投项目实质上用于补流的规模为1.5亿元，占拟募集资金总额的比例为30%，不存在置换董事会前投入的情形。

（3）截至报告期末，公司有息负债超过7亿元，本次募投项目补充流动资金可以降低财务风险和经营风险；公司未来现金流入净额、各项资本性支出系根据公司历史情况并结合预见性较强的资本性支出进行合理测算。募集资金到位后，公司营运资金需求将得到有效满足，资产结构更加稳健，可提升抗风险的能力，保障公司的持续稳定发展，具备必要性和合理性。

（4）效益预测中产品价格、成本费用等关键指标主要根据公司历史实际发生情况及未来预计情况进行合理预测。其中，价格及收入预测系根据各系列产品各年的销售情况、产能释放情况与各系列产品的预测综合单价等因素确定；成本费用系根据公司历史成本费用平均占比确定，相关测算与公司现有水平不存在重大差异，与可比公司相关指标的平均值不存在重大差异，相关测算结果、依据及过程具有谨慎性、合理性。

7-1-88

（5）公司本次募投项目的实施符合《监管规则适用指引——发行类第7号》第5条及《证券期货法律适用意见第18号》第5条的相关规定，具体情况如下：

7-1-89

7-1-90

问题3.1：关于业务及经营情况根据申报材料，1）公司主营业务收入包括绿色厂务系统、设备及关键零部件以及电子化学品材料三大类，下游客户主要包括集成电路、半导体显示和新能源领域，报告期内，公司营业收入分别为123,302.97万元、132,847.68万元、182,599.81万元、99,367.51万元。2）报告期内，公司主营业务毛利率分别为27.28%、

28.06%、26.66%和29.32%。3）公司收入季节性特点较为明显，报告期内四季度收入占比分别为35.82%、27.67%和41.27%，公司收入以安装调试验收为确认时点，报告期内存在期后与客户竣工决算时根据实际工作量调整收入的情形。4）公司期间费用以销售费用、管理费用和研发费用为主，公司销售人员人均薪酬较高，销售费用率、管理费用率和研发费用率低于同行业平均水平。5）报告期内，公司前五大客户收入占比持续提升，分别为60.11%、59.00%、69.89%及70.07%。请发行人说明：（1）结合各业务及产品销售情况，下游应用领域及市场竞争情况，产品销量、售价及成本变动等，分析各业务收入及毛利率的变动原因，与同行业公司的对比情况及差异原因；（2）公司各业务类别收入的确认标准及具体依据、凭证，是否与合同约定相符，存在差异的原因及合理性，是否符合行业惯例，是否存在提前确认收入情形，公司在竣工决算时点调整收入的规模及依据，公司会计处理是否符合《企业会计准则》相关规定；（3）结合公司报告期内四季度确认收入的主要项目情况，包括但不限于收入金额、对应客户、工期、合同签署时间、验收竣工时间、回款情况等，说明公司四季度收入占比较高的原因及合理性，与同行业可比公司是否存在较大差异，是否存在收入跨期情形；（4）公司各类费用主要构成及变动情况，与公司经营情况及业务规模是否匹配，与同行业可比公司的差异情况及合理性；公司销售人员人均薪酬较高的原因，公司业务订单的获取方式，相关业务获取过程是否合法合规；（5）公司主要客户背景、企业性质、成立时间、注册资本、员工人数，以及与公司的合作情况、是否存在关联关系，相关销售规模与客户需求的匹配情况。请保荐机构及申报会计师进行核查并发表明确意见，说明核查方法、核查比例及核查依据。【回复】

7-1-91

一、结合各业务及产品销售情况，下游应用领域及市场竞争情况，产品销量、售价及成本变动等，分析各业务收入及毛利率的变动原因，与同行业公司的对比情况及差异原因

（一）结合各业务及产品销售情况，下游应用领域及市场竞争情况，产品销量、售价及成本变动等，分析各业务收入及毛利率的变动原因

1、公司各业务及产品的区别与联系

公司围绕半导体制造领域需求与痛点展开布局，对工艺排气管道和中央废气治理设备等设备进行集成化布局和定制化设计形成绿色厂务系统整体解决方案，并进一步形成工艺废气处理设备、真空设备、温控设备、电子化学品材料等延伸产品，构建丰富的产品矩阵。具体如下：

7-1-92

公司的“绿色厂务系统-工艺废气治理系统”由工艺排气管道、中央废气治理设备等大量设备经过集成化设计、定制化布局而成；工艺排气管道由公司自主研发并生产，内壁喷涂高抗腐蚀性的氟涂料，具备优异的耐热、耐腐蚀、低摩擦等特性。中央废气治理设备包括沸石转轮、蓄热式/直燃式焚化炉、洗涤塔、预过滤器、深度冷凝器等，核心设备均由公司自主设计或生产制造。工艺废气治理系统覆盖客户的生产工艺全过程，同步进行废气收集、处理及排放，有力保障了客户的产能利用率、产品良率、员工职业健康及生态环境，是客户生产工艺不可分割的组成部分。自2012年公司首次整体承接半导体工艺废气治理系统项目以来，公司客户已覆盖集成电路、半导体显示及新能源行业的领军企业，市场地位稳固。由于工艺废气组分复杂、特性各异，在分析与处理剧毒、易爆等特殊废气时，仅使用中央治理技术无法满足先进半导体制程工艺要求，需对复杂工艺废气进行源头控制。为此，公司针对该应用场景开发了L/S设备等工艺废气处理设备，该类设备一端与半导体制程设备相连，通过真空设备抽取半导体制程设备内产生的废气并进行分解；另一端与中央治理系统相连，将分解后的气体排至中央处理装置并进行后续处理。2018年，公司成功研制单腔等离子水洗机型并实现销售。目前，基于对下游行业发展需求的把握和自身在半导体工艺废气治理系统的深耕积累，公司产品已实现先进半导体工艺段全面覆盖。

7-1-93

真空设备及温控设备共同作用于对半导体制程设备反应腔的辅助控制，可使反应腔满足刻蚀、离子注入、扩散及薄膜沉积等工艺所需的环境条件，是半导体制程中的重要设备。其中，温控设备可对反应腔进行高精密的温度控制，以实现半导体工艺制程的控温需求；真空设备可使反应腔体内部形成发生反应所必须的真空环境，抽离工艺废气并传输至工艺废气处理设备中进行无害化处理。公司基于半导体制程设备反应腔废气处理的技术积累和设计经验，开发了真空设备和温控设备。目前，公司在真空设备和温控设备方面已取得技术突破并形成充足技术储备，产品研发和验证测试工作均顺利开展。公司的“绿色厂务系统-化学品供应与回收系统”包括两个相关联化学品系统，即化学品供应系统和回收系统。化学品供应系统主要作用是将化学品/研磨液自包装容器输送至使用点的工艺系统，包含充装、加压、存储、调配、纯化及分配等功能，适用于无机酸碱类和有机溶剂类化学品；回收系统利用化学分离工程基本原理，将半导体制程所排放废液中有效成分回收并提纯利用，同时确保回收提纯后品质达到原液标准，可以对半导体制程工艺中产生的废液循环再生利用以减少排放，同时助力客户节约材料成本。2017年，公司开始拓展化学品供应与回收系统业务。报告期内，公司已成功实施多个化学品供应与回收系统项目。基于化学品供应与回收系统技术的积淀，公司积极布局延伸电子化学品材料研发制造业务，规划产品聚焦于剥离液、刻蚀液、清洗液等；公司电子化学品材料下游应用领域包括集成电路、半导体显示等，主要用于显影、刻蚀、清洗等制造工艺。目前，针对半导体显示领域的剥离液已经投产并实现收入，刻蚀液已完成研发并等待验证测试。

公司绿色厂务系统、设备及关键零部件、电子化学品材料三类业务形成的产品矩阵具有较强的协同效应，三类业务的关联及差异如下：

7-1-94

综上所述，公司绿色厂务系统、设备及关键零部件、电子化学品材料均系公司紧紧围绕半导体制程工艺开展的业务，三者在产品应用领域、客户特点、技术和生产等方面具有极强的关联性，在经营模式和收入确认等方面存在一定差异。

2、绿色厂务系统收入变动分析

（1）绿色厂务系统的收入变动与其在不同应用领域的表现有关

公司绿色厂务系统主要应用于集成电路、半导体显示和新能源等领域，报告期内公司绿色厂务系统收入变动与其在不同应用领域的表现有关，具体如下：

单位：万元

报告期初，公司产品在半导体显示领域客户收入占比较高，2021年至2023年，公司在半导体显示领域的收入金额和占比出现一定下降，主要原因系：半导体显示行业存在一定周期性特征，2021年下半年开始，随着需求增长放缓，面板价格开始回调；2022年以来公共卫生事件、国际局势动荡、全球通胀等影响消费预期，使得下游需求回落，半导体显示相关项目投产减少。2023年第三季度，消费电子产品出货量环比改善，半导体显示领域市场有一定程度回暖，2024年1-9月，公司在半导体显示领域的营业收入继续回升。

公司在报告期前已积极布局集成电路和新能源领域。在集成电路领域，公司

7-1-95

积极开拓中芯国际、华虹半导体、北方华创、格科微、卓胜微等行业龙头客户，实现了重要客户与关键项目的不断突破。集成电路领域项目产线普遍投入巨大，单个项目工期较长，收入金额较大，项目技术设计和安装施工等各方面要求较高，公司2021年度和2022年度是下游应用领域从半导体显示切换到集成电路关键时期，市场竞争力尚待进一步增强，公司2022年度收入项目数量有所减少；同时，2022年度受公共卫生事件等客观因素影响，公司主要项目的现场施工建设、人员调配、材料及设备供应和运输等受到了一定程度的不利影响，导致项目实施进度放缓。因此2022年度集成电路领域项目的收入金额下降；2023年，随着相关不利因素影响逐渐消退，项目施工建设恢复至正常状态，使得2023年公司集成电路领域收入金额和收入占比大幅提升。在新能源领域，公司积极服务于隆基绿能、天合光能等行业龙头客户，2021年至2023年，受益于国内光伏行业的快速发展，公司新能源领域收入金额上升。

（2）不同领域项目数量、体量的差异使得绿色厂务系统销售收入总额变动报告期内，公司不同领域绿色厂务系统项目数量和单位项目收入情况如下：

单位：个、万元

7-1-96

从单位项目收入来看，集成电路项目的单位项目收入通常比半导体显示项目高，主要原因系集成电路领域项目产线普遍投入巨大，单个项目工期较长，项目执行难度和要求更高，因此单位项目合同金额较大。2021年和2022年，公司半导体显示领域项目数量占比较大。2022年，由于半导体显示行业整体资本性支出存在一定的周期性波动，2022年度半导体显示平均单位项目收入由2021年的669.76万元下降至501.42万元；同时，受公共卫生事件等客观因素影响，公司主要绿色厂务系统项目的现场施工建设、人员调配、材料及设备供应和运输等受到了一定程度的不利影响，导致项目实施进度放缓，工期较长的集成电路领域交付验收项目数量占比由2021年的41.53%下降至

29.57%，使得平均单位项目收入下降。上述因素综合使得公司2022年绿色厂务系统收入较上年下降。

2023年，随着下游投资力度加大，公司承接集成电路领域项目规模相应增加，集成电路生产基地项目工艺排气系统等部分项目收入超过1亿元，同时随着外部相关不利因素影响逐渐消退，项目施工建设恢复至正常状态，公司集成电路领域项目数量占比由29.57%提升至55.00%，当期集成电路领域单位项目收入由1,100.05万元增加至1,866.31万元，带动整体单位项目收入由754.08万元增加至1,519.65万元，使得绿色厂务系统收入较上年上升。

综上所述，公司不同应用领域单位收入差异较大，项目之间不具有可比性。不同应用领域项目数量和体量的差异使得绿色厂务系统销售收入总额变动。

3、绿色厂务系统毛利率变动分析

报告期内，公司绿色厂务系统毛利率情况如下：

（1）公司的绿色厂务系统业务为高度定制化业务，单个收入项目单价和单位成本相差较大，因此绿色厂务系统业务的产品销量、售价及成本变动等因素不

7-1-97

具有量化可比性公司的绿色厂务系统业务以定制化的方案设计、加工制造、系统集成及运维管理为主要生产模式。公司半导体行业客户的大部分生产线位于洁净厂房中，公司根据不同客户的产品工艺流程、废气成分、空间布局等因素，定制化设计治理方案、设备选型、控制系统、排放布局等，以实现绿色厂务系统与客户工艺设备的深度整合，并安全稳定地自动化运行。

因此，公司绿色厂务系统业务的产品销量、售价及成本变动等因素不具有量化可比性。

（2）公司的绿色厂务系统业务变动受下游应用领域及市场竞争情况影响，部分规模较大项目的毛利率波动对业务毛利率影响较大

1）报告期内，公司加大对下游集成电路领域业务的扩展力度，在市场开拓过程中采取有竞争力的价格影响毛利率

公司绿色厂务系统业务目前的竞争企业主要是少数国际知名供应商和拥有完整的设计、生产、服务能力的国内大型供应商。产品为非标准化定制产品，主要通过招投标和竞争性谈判的方式承接项目，通过公开方式进行市场化定价，中标价格受到市场竞争、客户类型、项目规模等因素影响。

2021年至2023年，公司绿色厂务系统毛利率略有下降，主要原因是：①2021年下半年开始，随着需求增长放缓，面板价格开始回调；2022年以来国际局势动荡、全球通胀等影响消费预期，使得下游需求回落，半导体显示相关项目投产减少，半导体显示领域毛利率受行业周期影响存在一定下滑；②公司在此期间从半导体显示领域切入集成电路领域，市场开拓过程中采取有竞争力的价格获取更多订单。

2）报告期内，公司成本中主要设备及材料的采购价格存在波动，对毛利率造成一定影响

公司绿色厂务系统业务毛利率除了受到行业整体发展趋势影响外，具体还会受到项目成本的影响。项目成本主要为直接材料、直接人工、折旧摊销等，受原

7-1-98

材料价格波动、项目执行周期、合同内容与合同变更等因素影响。

2021年至2023年期间，主要设备及材料的采购价格存在一定上升，同时人工成本存在一定上升，上述原因综合使得公司绿色厂务系统毛利率下降。报告期各期，公司绿色厂务系统成本主要包括原材料（不锈钢、涂层风管等）和设备（风机等）等，其成本占比超过70%，主要原材料采购单价情况如下：

由上表可知，公司报告期内不锈钢卷/板以及氟材料的平均采购单价存在一定波动。公司2022年度不锈钢卷/板采购单价上涨以及2023年度氟涂料采购单价上涨均使得绿色厂务系统单位成本存在一定上升。2024年1-9月，随着公司业务规模增大，公司在采购价格谈判上更具有优势，部分设备及材料采购价格存在一定下降，其中不锈钢卷/板、电气元件、仪器仪表、阀类产品等的采购单价存在一定下降，带动绿色厂务系统单位成本下降。

3）报告期内，公司新建属地化生产基地，同时引入新型生产设备，有效降低单位生产成本和节省产品物流运输费用，影响毛利率数据

2024年1-9月，公司绿色厂务系统毛利率呈现一定上升，主要原因是公司加强属地化配套，新建广东惠州基地和湖北孝感基地，通过引入新型生产设备提升产品生产效率并减少材料损耗，有效降低单位生产成本、节省产品物流运输费用。

报告期内，公司营业收入按客户注册地拆分的区域分布构成情况如下表所示：

单位：万元

7-1-99

由上表可知，公司华南区域的业务收入占比由2023年度的15.04%提升至

32.91%，华北区域的业务收入占比由2023年度的19.32%提升至32.36%，公司广东惠州生产基地、湖北孝感生产基地可辐射华南、华北区域，在单位成本降低的基础上，有效降低产品物流运输费用。

4）报告期内，公司部分金额较大项目的毛利率波动对业务毛利率影响较大报告期内，公司绿色厂务系统毛利率相对稳定，该业务类型单个项目金额较大，毛利率亦受单个项目影响较大。公司绿色厂务系统业务由于项目竞争环境、公司战略布局和设计生产情况等因素，毛利率存在一定波动，具有合理性。

4、设备及关键零部件收入和毛利率变动分析

公司设备及关键零部件可分为半导体附属设备及关键零部件、工艺排气管道、中央废气治理设备等三类业务。半导体附属设备及关键零部件主要包括L/S设备、LOC-VOC设备、真空设备、温控设备；工艺排气管道主要包括不锈钢涂层风管；中央废气治理设备主要包括沸石转轮、蓄热式焚化炉、直燃式焚化炉等。

（1）公司半导体附属设备及关键零部件收入和毛利率变动分析

报告期内，公司销售的半导体附属设备及关键零部件主要包括L/S设备和LOC-VOC设备。

L/S设备和LOC-VOC设备均系用于处理半导体生产制造过程中产生的有毒有害气体，主要的不同是L/S设备通常与半导体制程设备相连，对半导体制程腔排出的含氟、氯、硅等元素为代表的成分复杂的有毒有害废气进行源头处理，通过高温氧化、还原反应，降低有毒物质浓度，设备复杂程度和控制精密程度相对较高；LOC-VOC设备通常部署于半导体工厂洁净室，对洁净室循环风中一定量的挥发性VOCs气体进行吸附后排放，设备复杂程度和控制精密程度相对较低。因此，L/S设备的毛利率通常高于LOC-VOC设备。

7-1-100

L/S设备根据工艺废气处理方式的不同可分类为电加热水洗式、等离子水洗式、燃烧水洗式等多种类型。由于技术和零部件差异，通常等离子水洗式设备产品的单价高于电加热水洗式和燃烧水洗式，公司2018年即完成单腔等离子水洗机型的研制开发并实现销售，等离子水洗式设备是报告期内公司销售的主力机型。

1）公司半导体附属设备及关键零部件收入分析

2022年，公司半导体附属设备及关键零部件销售收入提升，主要系公司将研发和市场重心移至L/S设备，L/S设备销量提升所致。2022年，公司L/S设备销售单价下降，主要原因系公司着力开拓L/S设备市场，获取了北方华创、中芯国际、惠科股份等行业龙头客户的批量订单，其中电加热水洗式机型出货量大幅增加，该机型售价较公司主力机型等离子水洗式略低。

2023年，公司L/S设备销量下降，主要系受下游半导体领域客户需求变动影响，产品订单量存在一定下降所致；同时，当期主要出货机型为单价更高的等离子水洗式，其销售数量占比超过90%，使得当期L/S设备销售单价大幅提升。上述因素总体使得当期L/S设备销售收入下降。

2024年1-9月，集成电路行业回暖，L/S设备销量提升。上述因素总体使得当期L/S设备销售收入上升。

2）公司半导体附属设备及关键零部件毛利率分析

报告期内，L/S设备和LOC-VOC设备销售占比变动是导致整体毛利率变动的主要原因。

报告期内，公司LOC-VOC设备客户主要分布在半导体显示领域，L/S设备客户主要分布在集成电路、半导体显示和新能源领域。2022年起，受半导体显示领域下游需求回落，相关项目投产减少影响，公司调整战略布局，将研发和市场重心移至L/S设备，LOC-VOC设备销售占比随着市场情况和公司布局变化逐步下降。随着公司在集成电路领域市场开拓力度及影响力的提升，L/S设备销售占比大幅提升。

①2022年毛利率变动分析

2022年，公司半导体附属设备及关键零部件毛利率快速增长，主要系毛利率

7-1-101

较高的L/S设备销售收入快速增长所致，L/S设备销售收入占比由55.90%提升至

94.49%，毛利率提升。

2022年，L/S设备工艺改进，核心零部件火炬头引入自动化产线，实现产品更新升级；同时L/S设备订单量增长，产量上升使得L/S设备成本摊薄，综合使得L/S设备平均单位成本下降，毛利率大幅上升。2022年，LOC-VOC设备销售收入占比由44.10%下降至5.51%，由于当期不锈钢卷/板等大宗原材料采购价格存在一定上升，叠加公共卫生事件导致的物流困难等因素，公司与客户协商适当上调了产品价格，产品毛利率较2021年保持稳定。

②2023年毛利率变动分析

2023年，半导体附属设备及关键零部件中L/S设备销售收入占比达96.58%，整体毛利率波动与L/S设备毛利率波动有关。

2023年，公司针对客户的CVD工艺生产过程中粉尘堵塞导致PM周期（预防性维护周期）短等痛点，定向研发PW3000机型。该产品能够显著提升客户的生产稼动率（设备实际使用效率指标），产品附加值和定价较高，使得当期L/S设备平均毛利率上升；此外，由于当期销售单价和单位成本较低的电加热水洗式销售数量占比下降，也使得整体销售单价和单位成本均有所上升。

2023年，LOC-VOC设备销售收入252.04万元，在整体销售收入中金额和占比较小，主要原因系当期公司计划降低LOC-VOC设备相关原材料和零部件库存，使得2023年销售单价较低，毛利率较低。

③2024年毛利率变动分析

2024年1-9月，半导体附属设备及关键零部件销售均来源于L/S设备。L/S设备毛利率下降，主要原因系集成电路行业投资持续旺盛，设备销量提升，受客户议价等因素影响，公司对批量相对较大的订单适当降价，销售平均单价略有下降，使得毛利率略有下降。

（2）公司工艺排气管道收入和毛利率变动分析

2021年至2023年，公司工艺排气管道销售数量持续上升，带动收入持续上

7-1-102

升。工艺排气管道销售单价的变动与原材料价格变动关联度较大，具体分析见下文毛利率分析。公司工艺排气管道型号规格较多，生产工艺亦存在一定差异，其单价波动与市场竞争情况、成本加成情况、不同型号销售占比等因素有关；工艺排气管道成本中材料占比较高，因此其单位成本波动与不锈钢卷/板、氟材料等原材料的采购价格因素、不同型号销售占比有关。

报告期内，工艺排气管道主要原材料不锈钢卷/板、氟材料的采购单价变动如下：

单位：元/kg

由上表可知，2022年，不锈钢卷/板材料的采购价格大幅上升，使得工艺排气管道2022年单位成本大幅上升；同时，受公共卫生事件影响，人工成本和制造成本存在一定上升；公司根据原材料价格变化情况和市场竞争情况适当调高了工艺排气管道单价，但由于单价上升幅度低于单位成本上升幅度，产品毛利率下降。

2023年和2024年，不锈钢卷/板材料的采购价格大幅下降，氟材料的采购价格小幅上升，公共卫生事件影响减弱，综合使得工艺排气管道单位成本下降，公司根据原材料价格变化情况和市场竞争情况适当下调了工艺排气管道单价，工艺排气管道毛利率上升。

（3）公司中央废气治理设备收入和毛利率变动分析

公司中央废气治理设备主要系沸石转轮、蓄热式焚化炉、直燃式焚化炉等设备，该部分业务收入受客户项目定制化方案需求影响较大，产品型号较多，计量单位不同，因此各期单价和单位成本不具有可比性。报告期内，该类产品收入占比较小，公司主要根据单位成本并加上合理毛利定价，毛利率保持稳定。

5、电子化学品材料收入和毛利率变动分析

2024年1-9月，电子化学品材料销量较2023年度提升，主要系公司新增鄂尔

7-1-103

多斯市源盛光电有限责任公司（京东方集团下属子公司）、咸阳彩虹光电科技有限公司（彩虹股份集团下属子公司）等客户，使得订单量增加，带动销售收入提升。另一方面，公司电子化学品材料销售单价存在一定下降，主要系公司仍处于市场开拓阶段，采取了具有竞争力的报价策略所致。报告期内，公司电子化学品材料毛利率变动情况如下：

公司电子化学品材料2023年起形成收入，2024年1-9月毛利率为负，主要原因系：（1）2024年1-9月，由于公司仍处于市场开拓阶段，故采取了具有竞争力的报价策略，使得2024年1-9月平均单价下降；（2）2024年1-9月主要原材料单乙醇胺和二乙二醇丁醚价格存在一定上涨；同时该业务仍处于市场开拓和产能爬坡阶段，产能未完全释放，单位产品的制造成本较2023年度增加，使得产品单位成本较高，毛利率为负。公司将积极加强技术研发和市场开拓以改善产品毛利率。

（二）公司各业务毛利率与同行业公司的对比情况及差异原因

报告期内，公司绿色厂务系统业务毛利率存在一定的波动，主要由于绿色厂务系统业务存在定制化的差异，使得毛利率水平受到项目具体情况有所不同，设备及关键零部件毛利率与同行业可比公司较为接近，电子化学品材料收入及毛利占比较小。

1、公司绿色厂务系统毛利率与同行业上市公司的对比情况

报告期内，公司绿色厂务系统业务与同行业上市公司可比业务的毛利率对比情况如下：

注：由于同行业公司未披露2024年1-9月按业务分类的毛利率情况，故此处未比较2024年1-9

7-1-104

月按业务分类的毛利率情况。

2021年至2023年，公司绿色厂务系统业务毛利率与正帆科技接近，低于至纯科技，主要原因系公司与同行业公司下游应用领域有所差异，客户需求、项目需求、施工情况均有不同，因此毛利率水平根据项目具体情况有所不同。公司可比上市公司正帆科技、至纯科技具体业务情况如下：

数据来源：上市公司定期报告

正帆科技可比业务系高纯气体和湿化学品供应系统，客户群是泛半导体行业的FAB制造厂商，该系统是将客户生产过程中所需的高纯气体、湿化学品和先进材料供应至客户的工艺机台设备。上述业务的销售模式、客户群与公司接近，因此其毛利率与公司毛利率接近。

至纯科技可比业务系集成电路制造企业及泛半导体产业提供高纯工艺系统的设计、安装、测试调试服务。高纯工艺系统的核心是系统设计，系统由专用设备、侦测传感系统、自控及软件系统、管阀件等组成，其中专用设备主要包括高纯特气设备、高纯化学品供应设备等，至纯科技已实现较高的自产率，使得整体系统项目的采购成本降低，毛利率较高。

2、公司设备及关键零部件业务毛利率与同行业上市公司的对比情况

报告期内，公司设备及关键零部件业务毛利率与同行业上市公司可比业务毛利率的对比情况如下：

注：由于同行业公司未披露2024年1-9月按业务分类的毛利率情况，故此处未比较2024年1-9月按业务分类的毛利率情况。

7-1-105

公司半导体附属设备及关键零部件的毛利率整体高于同行业公司平均水平。公司半导体附属设备及关键零部件产品毛利率在2021年和2022年低于京仪装备，2023年高于京仪装备，主要原因系：公司2021年半导体附属设备主力产品为毛利率相对较低的LOC-VOC设备，公司2022年起根据市场情况调整了战略布局，将研发和市场重心移至L/S设备；随着L/S设备在客户验证通过后取得批量订单，L/S设备销量占比大幅提升，使得整体毛利率提升。因此，公司2021年毛利率低于京仪装备，2022年毛利率与京仪装备接近。

2023年，京仪装备之半导体专用工艺废气处理设备毛利率下降，而公司半导体附属设备及关键零部件毛利率略有上升，主要系下游应用领域略有不同所致。京仪装备客户应用领域相对集中，2023年设备毛利率下降主要系毛利率较高的产品销量有所减少所致。公司主要客户包括集成电路、半导体显示和新能源领域客户，2023年，公司针对客户的CVD工艺生产过程中粉尘堵塞导致PM周期（预防性维护周期）短等痛点，定向研发PW3000机型。该产品能够显著提升客户的生产稼动率，产品附加值较高，毛利率较高，使得整体毛利率上升。

中科仪主要产品系干式真空泵，而公司真空设备产品目前尚未形成收入，因此公司毛利率与中科仪毛利率存在一定差异，具有合理性。

综上所述，公司主要业务绿色厂务系统和设备及关键零部件的毛利率与同行业公司对比存在一定差异，差异具有合理性。

二、公司各业务类别收入的确认标准及具体依据、凭证，是否与合同约定相符，存在差异的原因及合理性，是否符合行业惯例，是否存在提前确认收入情形，公司在竣工决算时点调整收入的规模及依据，公司会计处理是否符合《企业会计准则》相关规定

（一）公司各业务类别收入的确认标准及具体依据、凭证，否与合同约定相符，存在差异的原因及合理性

报告期内，公司产品主要包括绿色厂务系统、设备及关键零部件产品、电子化学品材料等三类，具体收入确认标准及具体依据、凭证如下：

7-1-106

由上表可知，公司各业务类别收入的确认标准及具体依据、凭证与合同约定相符。

（二）公司收入确认是否符合行业惯例

公司收入确认政策符合行业惯例，同行业可比上市公司主要收入确认政策如下：

7-1-107

来源：可比公司公开披露的年度报告。由上表可知，公司收入确认的确认标准及具体依据、凭证与同行业公司一致，符合行业惯例。

（三）公司在竣工决算时点调整收入的规模及依据，公司会计处理是否符合《企业会计准则》相关规定公司在验收后调整收入存在以下几种情形：1、竣工决算审计调整：部分项目合同定价系综合单价制，客户约定项目竣工时由第三方进行结算审计，合同价款以最终审定金额为准，公司依据竣工决算审计报告的审定金额等调整收入；2、合同变更结算调整：由于项目规模较大、施工环境较为复杂，施工周期长，施工过程中可能发生设计变更、材料变更、工程量增加等情况，使得项目实际工作量发生变化，影响最终收入确认金额，公司依据合同变更指令单、追加结算单等调整收入。公司验收即完成合同约定的履约义务，在取得客户的完工验收单时确认收入，

7-1-108

按照合同金额作为“最佳估计数”确认收入金额；上述调整收入情形属于项目交付服务成果、控制权转移后新发生的情形，调整收入计入结算当期。根据公开披露信息，类似行业中类似业务中亦存在竣工结算调整收入为系统集成业务的惯例，具体如下：

根据《企业会计准则》规定，对于已履行的履约义务，其分摊的可变对价后续变动额应当调整变动当期的收入，该调整事项不会影响公司收入确认的准确性。因此，公司在竣工决算时点调整收入的会计处理符合《企业会计准则》相关规定。

1、公司2024年1-9月竣工决算时点调整收入项目情况

单位：万元

7-1-109

2、公司2023年度竣工决算时点调整收入项目情况

单位：万元

3、公司2022年度竣工决算时点调整收入项目情况

单位：万元

4、公司2021年度竣工决算时点调整收入项目情况

单位：万元

综上所述，公司报告期各期收入调整金额占当期营业收入比例较低，依据充分，公司会计处理符合《企业会计准则》相关规定。

7-1-110

三、结合公司报告期内四季度确认收入的主要项目情况，包括但不限于收入金额、对应客户、工期、合同签署时间、验收竣工时间、回款情况等，说明公司四季度收入占比较高的原因及合理性，与同行业可比公司是否存在较大差异，是否存在收入跨期情形

（一）报告期各期第四季度确认收入前五大项目情况

7-1-111

2023年度第四季度确认收入前五大项目情况如下：

单位：万元

注：累计回款金额系统计截至2025年2月28日的回款金额。

7-1-112

2022年度第四季度确认收入前五大项目情况如下：

单位：万元

注：累计回款金额系统计截至2025年2月28日的回款金额。

7-1-113

2021年度第四季度确认收入前五大项目情况如下：

单位：万元

注：累计回款金额系统计截至2025年2月28日的回款金额。

7-1-114

由上表可知，部分项目约定工期未强制要求在年底前完工，但项目仍在年底验收，主要原因系：1、公司绿色厂务系统系半导体生产产线洁净室的关键系统之一，若公司分包项目绿色厂务系统无法交付验收，则整个半导体产线建设的其他分包系统施工调试、设备搬入安装等工作将难以进行。为确保总体项目按时完成，总包商或终端客户会要求公司提前完成工作，避免生产投产延期。2、项目工期是发包方依据标准工程量和普通承包方产能计算的平均水平，公司绿色厂务系统的核心设备（工艺排气管道和中央废气处理设备等）产能充足，安装调试人员工作经验丰富，使得项目工期缩短。3、根据行业惯例，大部分项目实施现场存在春节前提前放假，春节后重新招工的情形，因此为避免元旦至春节期间的额外人工成本，公司倾向于在年底前提高项目执行效率，提前完成交付和验收工作。

（二）公司四季度收入占比较高的原因及合理性

报告期内，公司营业收入按季节划分的数据如下：

单位：万元

报告期内，公司第四季度收入占比较高，收入确认呈现一定季节性特征，主要系绿色厂务系统收入具有季节性特征所致。2021年至2023年，公司绿色厂务系统收入占总体销售收入的比例均超过60%。

公司绿色厂务系统收入具有一定季节性特征，主要原因系：（1）公司绿色厂务系统业务执行进度受下游客户立项及投资建设节奏影响，收入确认与客户项目实施及验收密切相关。主要客户系央企、国企与上市公司，普遍存在上半年项目招标或集中开工，下半年尤其是第四季度进行项目具体实施并验收结算的情形；

（2）公司绿色厂务系统系半导体生产产线洁净室的关键系统之一，若公司分包

7-1-115

项目绿色厂务系统无法交付验收，则整个半导体产线建设的其他分包系统施工调试、设备搬入安装等工作将难以进行。为确保总体项目按时完成，总包商或终端客户会要求公司在年底前提前完成工作，避免生产投产延期。（3）根据行业惯例，大部分项目实施现场存在春节前提前放假，春节后重新招工的情形，因此为避免元旦至春节期间的额外人工成本，公司倾向于在年底前提高项目执行效率，提前完成交付和验收工作。因此，公司绿色厂务系统业务收入以及总体销售收入具有第四季度收入占比较高的特征具有合理性。2022年，公司第四季度收入占比较低，主要原因系季节性特征不强的工艺废气处理设备销售收入对总体销售收入的季度收入分布影响增大，同时当期受公共卫生事件等客观因素影响，公司主要项目的现场施工建设、人员调配、材料及设备供应和运输等受到了一定程度的不利影响，全年绿色厂务系统收入占主营业务收入的比例由76.31%下降至65.40%。2022年，青岛芯恩Fab-C项目（工艺废气处理设备）集中在第三季度交付验收，使得第三季度销售收入较高，第四季度销售收入占比降低。若仅考虑绿色厂务系统收入，2022年第四季度收入占全年绿色厂务系统收入的比例为33.66%，呈现第四季度收入占比较高的特征。此外，随着公司业务规模逐步扩大，能够参与及承接的单个项目规模也逐渐变大，部分合同金额较大的项目验收亦对收入分布产生一定影响。报告期各期第四季度收入主要项目分析详见本题回复之“三”之“（一）报告期各期第四季度确认收入前五大项目情况”内容。综上所述，公司存在四季度收入占比较高的情形，具有合理性。

（三）与同行业可比公司不存在较大差异，不存在收入跨期情形报告期内，公司第四季度收入分布与同行业可比公司对比情况如下：

7-1-116

2021年度

公司第四季度收入占比较高主要系绿色厂务系统的交付验收通常在四季度完成，使得第四季度收入占比较高。系统类收入占比较高的正帆科技、至纯科技的收入季节性特征与公司接近，具体如下：

正帆科技的主营业务包括高纯气体和湿化学品供应系统、泛半导体工艺设备模块与子系统等系统类业务。一方面，该类业务受春节放假影响，第一季度的开工与项目验收相对较少，项目招投标手续或商务谈判一般在春节后陆续开展且项目实施及客户验收存在时间周期；另一方面，正帆科技所处行业惯例为第四季度对项目验收，导致公司第四季度营业收入占比相对较高。上述季节性特征与公司接近。

至纯科技的主营业务包括高纯工艺系统业务。至纯科技的收入确认具有季节性特点，受传统春节假期影响，第一季度的开工与签约量相对较低，由于下游行业工程建设和设备安装等主要集中在下半年尤其是第四季度，因此高纯工艺系统业务收入经常确认在下半年尤其是第四季度。上述季节性特征与公司接近。

京仪装备主营业务系半导体专用设备销售，半导体专用设备的收入季节性主要受客户产线建设、采购和验收进度的影响。京仪装备主要客户相对集中，客户根据各自产线规划及建设进度等综合考量后开展固定资产投资，并进行设备安装和验收，采购行为具有集中性且时间点不均匀，同时设备安装和验收进度亦受产线整体建设进度、验收要求不同等多种因素影响而有所变化，导致了其各季度经营业绩存在一定波动。报告期内，公司主营业务中设备及关键零部件

7-1-117

收入占比较低，因此京仪装备上述季节性特征与公司不同，具有合理性。综上，公司收入确认季节性特征和同行业可比公司不存在重大差异，公司不存在收入跨期的情形。

四、公司各类费用主要构成及变动情况，与公司经营情况及业务规模是否匹配，与同行业可比公司的差异情况及合理性；公司销售人员人均薪酬较高的原因，公司业务订单的获取方式，相关业务获取过程是否合法合规

（一）公司各类费用主要构成及变动情况，与公司经营情况及业务规模是否匹配，与同行业可比公司的差异情况及合理性

1、公司销售费用主要构成及变动情况

报告期内，公司销售费用主要构成及变动情况如下：

单位：万元

公司销售费用主要包括职工薪酬、业务招待费和售后维护费等，这三类销售费用合计占比在90%左右。

（1）公司销售费用之职工薪酬及变动情况

报告期内，公司销售费用中列示的职工薪酬主要包括两大类人员：专职销售人员和销售支持人员。专职销售人员的主要职责包括市场调查、制定销售策略、开拓新的区域市场及潜在新客户、与客户进行商业谈判并完成销售订单的签署、维护客户关系、追踪客户回款和订单执行情况等。销售支持人员主要是项目人员，

7-1-118

在项目验收后负责项目跟踪服务、技术检查、及时响应及配合客户需求等服务，其薪酬按照项目进行归集计入销售费用。报告期各期，公司专职销售人员及销售支持人员数量如下：

单位：人

注：销售支持人员数量=当期计入销售费用职工薪酬的项目人员人次/当期月份数专职销售人员数量=当期计入销售费用职工薪酬的销售人员人次/当期月份数

公司销售收入规模逐年增长，专职销售人员随之递增。同时，随着开工项目数量逐年增多，为更好的服务客户，提高客户满意度，销售支持人员数量整体增加，2023年增长较快，主要系当年完工项目较多所致。报告期内，公司销售支持人员与服务项目数量匹配关系如下：

单位：人、个、人/个

注：销售支持人员数量=当期计入销售费用职工薪酬的项目人员人次/当期月份数

报告期内，剔除销售支持人员数量及其薪酬后，公司专职销售人员人均薪酬情况如下：

注：专职销售人员数量=当期计入销售费用职工薪酬的销售人员人次/当期月份数

报告期内，公司专职销售人员人均薪酬呈逐年递增趋势，主要系公司为更好的激励销售人员提高了相应的薪资水平，2022年专职销售人员年均薪酬增长较大，主要系公司招募了资深销售人员，定级薪酬较高所致。2024年1-9月，公司专职销售人员人均薪酬较高，主要系新加坡子公司当年新入职销售人员薪酬较高所致。

报告期内，公司销售支持人员人均薪酬情况如下：

7-1-119

注：销售支持人员数量=当期计入销售费用职工薪酬的项目人员人次/当期月份数

报告期内，公司同行业上市公司的销售人员薪酬情况如下：

单位：万元

注1：人均薪酬=销售费用之薪酬金额/（（期末销售人员数量+期初销售人员数量）/2）；注2：京仪装备销售人员中包括销售及技术支持人员，公开数据未披露其销售人员具体人员构成，京仪装备技术支持人员主要在客户现场提供服务，在客户现场驻场并向客户推介产品并与客户对接产品需求、配合客户进行产品验证、在客户现场装机、跟踪产品验收等工作。

2021年，公司同行业上市公司正帆科技、至纯科技总部位于上海市，其销售人员薪酬略高于公司；2022年，正帆科技和至纯科技销售人员平均薪酬均有所下降，主要系相关年度上述公司新招聘销售人员较多所致，具体情况如下：

2023年，随着公司业务领域拓展和业绩规模提升，公司增强销售力量，招募了部分业内资深销售人员，销售人员平均薪酬提升。公司销售人员平均薪酬与正帆科技和至纯科技接近。

报告期内，中科仪与京仪装备销售人员平均薪酬低于本公司。其中，中科仪总部位于苏州市，其销售人员薪酬低于公司。京仪装备销售人员数量较多，包括

7-1-120

部分售后支持人员，使得其销售人员薪酬低于公司。综上所述，公司销售人员人均薪酬与同行业可比公司不存在重大差异。

（2）公司销售费用之业务招待费及变动情况

报告期内，公司业务招待费占比较高，2022年业务招待费较低主要系卫生事件使得业务招待减少所致，2023年，随着公共卫生事件的缓解，公司加大客户开拓力度，使得业务招待费增加。

（3）公司销售费用之售后维护费及变动情况

公司售后维护费为公司根据合同约定及业主需求为已完工的项目履行合同维保义务所发生的费用，企业会计准则应用指南2024年明确了关于保证类质保费用的列报规定，公司于2024年起将原列报于销售费用的售后质保期维护费计入主营业务成本。随着公司业务规模扩大，相关安装及售后维护费用增加。

因此，公司销售费用各项明细波动及占比情况，与公司经营情况及业务规模匹配一致。

（4）公司销售费用与同行业可比上市公司比较情况

报告期内，公司可比上市公司销售费用明细占收入比情况如下：

7-1-121

报告期内，公司与同行业可比公司销售费用构成均以职工薪酬为主，其余主要费用包括维修服务费、业务招待费、差旅费等，各可比公司由于各年度业务开展情况的不同，从而导致费用结构略有差异。报告期内，公司销售费用占收入比例高于正帆科技和至纯科技，主要原因系正帆科技和至纯科技收入规模较大，规模效应使得其单位销售费用带来的收入提升，其销售费用占收入比例较小。公司销售费用占收入比例低于京仪装备和中科仪，主要原因系京仪装备和中科仪销售收入中设备收入占比高，使得售后服务费及质保费占收入的比例较高。

2、公司管理费用主要构成及变动情况

报告期内，公司管理费用主要构成及变动情况如下：

单位：万元

7-1-122

公司管理费用主要包括职工薪酬、折旧及摊销、中介咨询费、办公费与业务招待费等，其中职工薪酬金额占收入比最高。

（1）公司管理费用之职工薪酬及变动情况

报告期内，公司管理费用的职工薪酬主要包括管理人员及中后台行政人员等人员的薪酬，其中2023年增长较多主要系当年新招聘人员较多所致。

报告期内，公司管理费用人均薪酬如下：

注：管理人员总薪酬包括薪酬及股份支付费用；管理费用人员数量=（期末人员数量+期初人员数量）/2

报告期内，公司管理费用中人均薪酬较高，主要系管理人员薪酬较高且公司实施股权激励产生股份支付费用所致。2024年1-9月，人均薪酬较高主要系当年发生一定离职补偿费用所致。

（2）公司管理费用之折旧及摊销及变动情况

2023年，公司管理费用中折旧及摊销费用及办公费占比增长较大，主要原因系2022年底嘉定研发中心及配套办公基地建设工程达到预定可使用状态，公司管理和研发等部门搬入新办公室，使得折旧摊销及办公费用增加。

（3）公司管理费用之股份支付费用及变动情况

2023年，公司管理费用中股份支付费用占比下降，主要系限制性股票未达解锁条件，股份支付费用相应减少所致。

因此，公司管理费用各项明细波动及占比情况，与公司经营情况及业务规模匹配一致。

（4）公司管理费用与同行业上市公司比较情况

报告期内，公司可比公司管理费用明细及占收入比重情况如下：

7-1-123

报告期内，公司与同行业可比上市公司管理费用构成均以职工薪酬为主，其余主要费用包括折旧摊销费用、股份支付费用、办公费等，各可比上市公司由于各年度业务开展情况的不同，从而导致费用结构略有差异。

公司严格管控各项费用开支，报告期内，公司管理费用占收入比重低于同行业可比公司平均值，主要由于公司管理费用中职工薪酬支出占收入比重低于可比公司。报告期内，公司精简中后台人员，提高人效，因此管理费用中的中后台人员薪酬支出占收入比重较低。

7-1-124

3、公司研发费用主要构成及变动情况

报告期内，公司研发费用主要构成及变动情况如下：

单位：万元

报告期内，公司研发费用主要为直接材料和职工薪酬，2021年至2023年呈明显增长趋势，主要原因系：（1）为推动公司技术迭代和产品升级，公司通过持续加大研发投入，以保持产品的市场竞争力，公司研发人员数量持续增加，职工薪酬随之增长；（2）公司秉持“行业延伸+产品延伸”的发展战略，进一步深化在半导体产业链的延伸布局，加大在半导体附属设备及关键零部件相关领域的研发及验证测试投入。

因此，公司研发费用各项明细波动及占比情况，与公司经营情况及业务规模匹配一致。

报告期内，公司可比公司研发费用明细及占收入比情况如下：

7-1-125

报告期内，公司与同行业可比公司研发费用构成均以职工薪酬和直接材料为主，其余主要费用包括折旧摊销费用和股份支付费用等，各公司由于各年度业务开展情况的不同，从而导致费用结构略有差异。

报告期内，公司研发费用占收入比重与正帆科技接近，略低于其余上市公司，主要受收入结构影响。其中，中科仪和京仪装备研发费用占收入比例较高，主要系其收入规模较小所致。

4、财务费用主要构成及变动情况

报告期内，公司财务费用情况如下：

单位：万元

报告期内，公司财务费用分别为-323.51万元、-200.39万元、708.75万元和

7-1-126

875.02万元，主要包括利息费用、利息收入、手续费支出和汇兑损益等。报告期内，公司利息费用呈一定上升趋势，主要系公司根据业务发展和项目建设需求，借入银行借款所致。公司财务费用各项明细波动及占比情况，与公司经营情况及业务规模匹配一致。

报告期内，公司可比公司财务费用占收入比重情况如下：

报告期内，公司与同行业可比公司财务费用构成均以利息费用为主，其余主要费用包括利息收入和汇兑损益，各公司由于各年度业务开展情况的不同，从而导致费用结构略有差异。

7-1-127

（二）公司销售人员人均薪酬较高的原因，公司业务订单的获取方式，相关业务获取过程是否合法合规报告期内，公司销售费用中列示的职工薪酬主要包括两大类人员：专职销售人员和销售支持人员，专职销售人员人均薪酬与同行业可比公司不存在重大差异，不存在人均薪酬较高的情形。具体详见本题回复之“四”之“（一）”之“1、公司销售费用主要构成及变动情况”内容。

报告期内，公司的系统类业务通过招投标和商务谈判获取，公司的设备类业务主要通过商务谈判获取。报告期内，公司主营业务收入中通过招投标和商务谈判获取的业务对应的收入金额和占比情况如下：

单位：万元

公司以非招投标方式获取的项目均不属于《中华人民共和国招投标法》规定的必须采用招投标采购的情形，相关业务获取过程合法合规。

五、公司主要客户背景、企业性质、成立时间、注册资本、员工人数，以及与公司的合作情况、是否存在关联关系，相关销售规模与客户需求的匹配情况

报告期内，公司主要客户为大型央企、国企和上市公司等，主要客户成立时间较长，注册资本金额和员工人数规模较大，与公司合作期间较长，公司与主要客户均不存在关联关系，相关销售规模与客户需求相匹配。

报告期内，公司各期前五大客户的基本情况如下：

7-1-128

注：员工人数数据来源为企查查公示信息。上述主要已上市客户或其控股股东发布的定期披露数据中披露的最近一年收入情况如下：

单位：亿元

注：上述列示公司主要客户均系上市公司全资或控股子公司，由于无法获取其公开渠道数据，故此处列示收入为上市公司合并口径收入。

7-1-129

结合公司主要客户中已上市公司公开披露的数据来看，公司主要客户的销售额与客户需求及客户自身规模匹配一致。

六、中介机构核查情况

（一）核查程序

针对上述问题，保荐机构和申报会计师执行了以下核查程序：

1、获取发行人报告期内销售收入明细表，获取各业务销量、售价及成本情况；查阅下游应用领域市场情况，分析各业务收入及毛利率的变动原因；查阅同行业公司可比业务的毛利率情况，分析差异原因；

2、查阅了发行人重要销售合同及订单条款，判断发行人各业务类别销售收入确认政策是否符合企业会计准则的规定；

3、结合同行业可比上市公司收入确认政策，分析发行人收入确认政策是否符合行业惯例；

4、检查报告期各年度全部竣工结算调整收入涉及的项目合同及单据，判断发行人会计处理是否符合企业会计准则的规定，核查竣工结算调整单据比例为100%；对发行人收入进行函证，报告期内函证核查比例分别为85.41%、81.17%、

87.83%和58.43%；

5、对发行人收入季度分布情况进行分析，对比同行业上市公司收入分布规律，查看企业收入确认季节分布是否符合行业特征；

6、获取发行人报告期各期第四季度确认收入主要项目的合同、验收单据、开票、回款资料等，询问并检查约定工期与验收时间存在较大偏差的原因，检查项目回款情况；对销售收入执行截止测试程序，核查是否存在收入跨期或提前确认收入的情形。报告期各期截止测试程序核查比例分别为30.91%、31.69%、40.95%和42.07%；

7、获取发行人报告期各期费用明细表，分析费用主要构成及变动情况，判断是否与发行人经营情况及业务规模相匹配；查询同行业可比公司的各类费用构成情况，分析差异情况及合理性；

8、获取销售人员薪酬表，分析发行人销售人员人均薪酬较高原因，结合发

7-1-130

行人业务订单的获取方式，判断相关业务获取过程的合法合规性；

9、通过企查查、客户访谈等方式查阅发行人主要客户背景等相关信息，查阅客户披露的财务数据，分析相关销售规模与客户需求的匹配情况。

（二）核查意见

经核查，保荐机构和申报会计师认为：

1、报告期内公司各业务及产品收入及毛利率变动原因具有合理性，与同行业公司对比及差异情况具有合理性。

2、公司各业务类别收入的确认标准及具体依据、凭证与合同约定相符，符合行业惯例，不存在提前确认收入情形；公司竣工决算时点调整收入的规模较小，依据具有合理性，会计处理符合《企业会计准则》相关规定。

3、公司四季度收入占比较高的原因具有合理性，与同行业可比公司不存在较大差异，公司不存在收入跨期情形。

4、公司各类费用主要构成及变动情况与公司经营情况及业务规模匹配；与同行业可比公司存在的差异情况具有合理性；销售人员人均薪酬较高的原因具有合理性，公司业务订单的获取方式主要包括招投标和商务谈判，相关业务获取过程合法合规。

5、公司主要客户与公司不存在关联关系，相关销售规模与主要客户需求具有匹配性。

7-1-131

问题3.2：关于业务及经营情况根据申报材料，1）报告期各期末，公司应收账款账面价值分别为68,698.98万元、100,637.72万元、132,674.02万元及122,027.79万元，1年以上的应收账款余额占比分别为25.58%、37.87%、39.02%及46.53%，公司应收账款周转率低于同行业平均水平，公司部分应收账款客户存在涉诉或破产情形。2）报告期各期末，公司存货账面价值分别为18,273.70万元、34,951.62万元、65,506.15万元及91,012.49万元，公司存货构成以合同履约成本、库存商品、原材料为主，公司存货周转率高于同行业平均水平。3）报告期各期末，公司固定资产账面价值分别为8,951.54万元、33,337.01万元、38,902.05万元和38,467.85万元，以房屋建筑物与机械设备为主。公司在建工程、使用权资产余额最近一期规模增长。4）报告期各期末，公司持有一定规模的有息借款和货币资金，其中有息借款以短期借款、一年内到期非流动负债、长期借款为主，货币资金主要系银行存款和银行承兑汇票受限保证金。5）报告期内，公司资产负债率分别为38.35%、45.19%、53.76%、

55.62%，公司经营活动产生的现金流量净额分别为3,442.82万元、-17,088.84万元、

22.75万元和-38,921.71万元，波动幅度较大且最近一期为负值，与净利润存在一定差异。

请发行人说明：（1）公司报告期内应收账款主要客户的交易内容、销售金额、信用政策及账龄情况，分析公司应收账款规模以及账龄一年以上应收账款占比提升的原因及合理性，公司应收账款周转率低于同行业平均水平的原因，部分总承包项目实际按照背靠背条款执行的背景及原因，对结算周期的具体影响；（2）报告期内公司应收账款回款情况，部分客户大额未回款的原因，以及涉诉、破产、逾期情况，是否已出现较大信用风险，对于该类客户的坏账计提情况及依据，结合同行业可比公司计提，分析公司坏账准备计提是否充分；（3）公司存货规模持续增长的原因，在订单覆盖充足情况下，库龄超过1年存货的形成背景、尚未结转的合理性，公司存在大额合同履约成本的原因，相关设备尚未安装或完成调试的影响因素，是否涉及纠纷或质量问题，与合同约定周期是否存在差异；结合公司在手订单、存货库龄、期后结转情况等，说明公司存货跌价计提是否充分，与同行业公司是否存在较大差异；（4）公司固定资产规模持续增加的原因，相关折旧摊销政策与同行业公司是否存在较大差异；公司在建工程和使用权资产变动原

7-1-132

因，在建工程中相关项目情况，建设进度是否符合预期，是否存在延期转固情形；

（5）公司同时持有一定规模货币资金及有息负债的原因及合理性，利息收入及支出与存贷款规模是否匹配，公司受限资金规模与银行承兑汇票、借款规模等是否匹配；（6）报告期内公司经营活动产生的现金流净额波动较大、与净利润差异较大的原因，结合公司资产负债情况、未来偿债安排等，说明公司后续是否存在短期偿债风险。请保荐机构及申报会计师进行核查并发表明确意见，说明核查方法、核查比例及核查依据。

【回复】

一、公司报告期内应收账款主要客户的交易内容、销售金额、信用政策及账龄情况，分析公司应收账款规模以及账龄一年以上应收账款占比提升的原因及合理性，公司应收账款周转率低于同行业平均水平的原因，部分总承包项目实际按照背靠背条款执行的背景及原因，对结算周期的具体影响

（一）公司报告期内应收账款主要客户的交易内容、销售金额、信用政策及账龄情况

报告期各期末，公司应收账款前五名客户情况如下：

单位：万元

公司应收账款主要客户为报告期各期末应收账款余额前五名客户，其各期应收账款期末余额占公司应收账款总额的比例在40%以上。

7-1-133

截至2024年9月30日，发行人应收账款账面余额前五名情况如下表：

单位：万元

注：期后回款情况统计至2025年2月28日。

2023年12月31日，发行人应收账款账面余额前五名情况如下表：

单位：万元

7-1-134

注：期后回款情况统计至2025年2月28日。2022年12月31日，发行人应收账款账面余额前五名情况如下表：

单位：万元

注：期后回款情况统计至2025年2月28日。

7-1-135

2021年12月31日，发行人应收账款账面余额前五名情况如下表：

单位：万元

注：期后回款情况统计至2025年2月28日。

7-1-136

报告期各期末，公司应收账款前五名客户合计金额分别为36,096.31万元、44,694.62万元、65,447.46万元及56,045.89万元，占当期应收账款期末余额的比例分别为48.37%、40.12%、43.99%及40.11%，报告期内总体保持稳定，应收账款余额和销售规模匹配。公司应收账款主要客户销售产品包括绿色厂务系统、设备及关键零部件等，均为公司主要产品。公司按照项目主体与客户签订合同，并将应收账款结算方式在合同中明确约定。公司绿色厂务系统、设备及关键零部件业务主要采用“收款节点+收款比例”的里程碑式收款方式。合同款项一般由预付款、到货款、验收款、质保金等构成。

（二）公司应收账款规模以及账龄一年以上应收账款占比提升的原因及合理性

1、公司应收账款规模提升的原因及合理性

报告期内，公司营业收入及应收账款结构如下：

单位：万元

公司2022年末和2024年9月末的应收账款余额占当期营业收入比例均存在较大上升的情形，公司应收账款余额及占营业收入的比例与公司产品销售情况、客户情况、经营特点有关。

2022年末应收账款余额较2021年末变动较大的客户情况如下：

单位：万元

7-1-137

由上表可知，2022年末公司应收账款余额大幅增加，其中北京北方华创微电子装备有限公司增加金额较大，主要系公司向该客户销售的L/S设备大幅增加所致。2022年，公司着力开拓L/S设备市场，获取了北方华创、中芯国际、惠科股份等行业龙头客户的批量订单，L/S设备销售收入由上年的9,057.95万元增加至16,390.46万元。北方华创是国内半导体设备龙头企业，系公司战略合作客户，在京东方、燕东微、青岛芯恩等项目中均采购本公司产品，回款受下游客户回款等因素影响存在一定延迟，使得应收账款余额较上期末大幅增加。此外，楷德电子工程设计有限公司、武汉华星光电技术有限公司、客户C、深圳市华星光电半导体显示技术有限公司等公司应收账款余额增加较多，主要系当期该等客户项目验收，销售收入较大所致。2023年末应收账款余额较2022年末变动较大的客户情况如下：

单位：万元

由上表可知，2023年末应收账款较2022年末变动金额较大的客户中，期末应收账款余额大部分为一年以内金额，因此其应收账款余额增加主要来源于当

7-1-138

期收入金额的增加。2023年，随着公共卫生事件等相关不利因素影响逐渐消退，项目施工建设恢复至正常状态，同时随着下游投资力度加大，公司承接集成电路领域项目规模也有所增加，集成电路生产基地项目工艺排气系统等部分项目收入超过1亿元，带动当期绿色厂务系统收入由2022年度的86,719.36万元提升至121,572.07万元。中国电子系统工程第二建设有限公司、中国电子系统工程第四建设有限公司系知名半导体厂务建设总包商，报告期内公司与该等客户合作数十个项目，收入和应收账款增长较快。2024年9月末应收账款余额较2023年末变动较大的客户情况如下：

单位：万元

由上表可知，2024年9月末应收账款较2023年末变动较大金额主要来源于当期收入。公司终端客户受项目进度安排、下游客户回款等因素影响，通常四季度回款比例较高（2021年至2023年第四季度销售商品提供劳务收到的现金流占全年现金流的比例平均为45.85%），因此2024年9月末应收账款余额较高具有一定合理性；同时受下游客户招投标、预算制定，施工安排的影响，公司项目主要集中在下半年尤其是第四季度验收，总体呈现第四季度收入相对较高的特征。上述因素综合使得公司2024年9月末应收账款占当期营业收入比例较高。综上所述，公司应收账款规模提升主要系报告期内L/S设备、绿色厂务系统收入增长所致，与公司业务发展情况匹配。2024年9月末应收账款余额较高，主要系公司下游客户回款和项目验收具有季节性所致。公司在2024年四季度及2025年将针对大额和长账龄应收账款加大催收力度以控制应收账款规模。

7-1-139

2、账龄1年以上应收账款占比提升的原因及合理性

报告期各期末，公司账龄1年以上的应收账款余额占比分别为25.58%、

37.87%、39.02%和46.53%。

公司账龄1年以上的应收账款余额占比较高主要原因如下：①部分总包商在合同中约定了背靠背支付条款，或虽未约定背靠背支付条款但按照上述方式执行，使得总包商的回款时间依赖于终端客户对总包商的付款时间。由于部分终端客户受宏观经济、行业景气度、经营情况和项目整体进度等因素影响，使得其向总包商支付款项进度不及时，进而导致总包商向公司回款延缓。②公司承接的部分项目系国有资金投资项目，项目投资规模较大，部分合同条款约定的里程碑付款条件包括项目需要整体联合调试、政府审核审计等。该类付款条件在实际执行过程受项目规模等因素影响存在未及时完成的情形，导致公司回款延缓。③部分合同中包含部分质保金款项（通常为合同金额的3%-10%）。该等质保金款项根据合同约定，于质保期（通常为在验收完成后2年）结束后支付。质保期间，该等款项计入合同资产，待质保期结束后转入应收账款。由于账龄连续计算，该款项账龄往往超过1年，且该款项受请款流程等因素影响，进一步导致1年以上应收账款金额增大。公司管理层对应收账款回款问题一直高度重视，也在积极采取相应措施进行应对（例如每周开专题会议督促应收账款回款进度、把应收账款回款作为销售人员的重要KPI考核指标）。未来，公司将针对账龄1年以上的项目加大催收力度，降低应收账款的信用风险。

公司账龄1年以上的应收账款余额对应的客户主要是国企、央企和上市公司，公司截至2024年9月30日账龄1年以上的应收账款余额中客户为国企、央企和上市公司的应收账款余额占比合计为71.92%，该部分客户资信情况较好，经营规模较大，出现不可回收的风险较小；公司截至2024年9月30日账龄1年以上的应收账款余额中客户为非上市民企的应收账款余额占比合计为28.08%，整体坏账计提比例24.33%，具体结构如下：

单位：万元

7-1-140

公司截至2024年9月30日客户性质为非上市民企的账龄1年以上应收账款余额18,252.37万元，但该应收账款对应的客户集中度高，相关客户为行业知名半导体显示或集成电路企业、知名半导体行业总包商，经营规模较大，与公司合作时间长，出现不可回收的风险较小，具体如下：

单位：万元

报告期各期末，公司账龄1年以上的应收账款的主要客户情况如下：

（1）公司截至2024年9月30日账龄1年以上应收账款的主要客户情况

单位：万元