非经营性资金占用及其他关联资金

往来情况专项说明

矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

容诚专字[2025]100Z0398号

容诚会计师事务所(特殊普通合伙)

中国·北京

矽电半导体设备（深圳）股份有限公司非经营性资金占用及其他关联资金往来情况专项说明

容诚专字[2025]100Z0398号矽电半导体设备（深圳）股份有限公司全体股东：

我们接受委托，依据中国注册会计师审计准则审计了矽电半导体设备（深圳）股份有限公司（以下简称矽电股份）2024年12月31日的合并及母公司资产负债表，2024年度的合并及母公司利润表、合并及母公司现金流量表和合并及母公司所有者权益变动表以及财务报表附注，并于2025年4月27日出具了容诚审字[2025]100Z0041号的标准无保留意见审计报告。

根据中国证券监督管理委员会《上市公司监管指引第8号——上市公司资金往来、对外担保的监管要求》的要求及深圳证券交易所《深圳证券交易所创业板上市公司自律监管指南第1号——业务办理》的规定，矽电股份管理层编制了后附的矽电半导体设备（深圳）股份有限公司2024年度非经营性资金占用及其他关联资金往来情况汇总表（以下简称汇总表）。如实编制和对外披露汇总表并保证其真实、准确、完整是矽电股份管理层的责任。

我们对汇总表所载信息与本所审计矽电股份2024年度财务报表时所复核的会计资料和经审计的财务报表的相关内容进行了核对，在所有重大方面没有发现不一致。除了对矽电股份实施2024年度财务报表审计中所执行的对关联方交易有关的审计程序外，我们并未对汇总表所载资料执行额外的审计程序。为了更好地理解矽电股份的非经营性资金占用及其他关联资金往来情况，后附汇总表应当与已审计的财务报表一并阅读。

本专项说明仅供矽电股份年度报告披露之目的使用，不得用作任何其他目的。

附件：矽电半导体设备（深圳）股份有限公司2024年度非经营性资金占用及其他关联资金往来情况汇总表。

（此页无正文，为矽电半导体设备（深圳）股份有限公司容诚专字[2025]100Z0398号报告之签字盖章页。）