中微公司(688012)_公司公告_中微公司:2025年第三季度报告

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中微公司:2025年第三季度报告下载公告
公告日期:2025-10-30

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证券代码:688012证券简称:中微公司

中微半导体设备(上海)股份有限公司

2025年第三季度报告

重要内容提示:

公司董事会及董事、高级管理人员保证季度报告内容的真实、准确、完整,不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏,并承担个别和连带的法律责任。公司负责人、主管会计工作负责人及会计机构负责人(会计主管人员)保证季度报告中财务信息的真实、准确、完整。第三季度财务报表是否经审计

□是√否?公司2025年前三季度(1-9月)营业收入为80.63亿元,同比增长约46.40%。其中刻蚀设备

收入61.01亿元,同比增长约38.26%;LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元,同比增长约1332.69%。?2025年前三季度(1-9月)归属于上市公司股东的净利润为12.11亿元,较去年同期增长约

32.66%。?根据市场需求,公司显著加大研发力度。2025年前三季度公司研发支出25.23亿元,较去年

同期增长约63.44%,研发支出占公司营业收入比例约为31.29%。?公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升,先进逻

辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件的超高深宽比刻蚀工艺实现大规模量产。其中CCP

方面,公司用于关键刻蚀工艺的单反应台介质刻蚀产品保持高速增长,60比1超高深宽比介

质刻蚀设备成为国内标配设备,量产指标稳步提升,下一代90比1超高深宽比介质刻蚀设备

即将进入市场;ICP方面,适用于下一代逻辑和存储客户用ICP刻蚀设备和化学气相刻蚀设

备开发取得了良好进展。加工的精度和重复性已达到单原子水平。公司为先进存储器件和逻

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辑器件开发的LPCVD、ALD等多款薄膜设备已经顺利进入市场,并且设备性能完全达到国际领先水平,薄膜设备的覆盖率不断增加。公司硅和锗硅外延EPI设备已顺利运付客户端进行量产验证,并且获得客户高度认可。在泛半导体设备领域,公司正在开发更多化合物半导体外延设备,已陆续付运至客户端开展生产验证。审计师发表非标意见的事项

□适用√不适用

一、主要财务数据

(一)主要会计数据和财务指标

单位:元币种:人民币

项目本报告期本报告期比上年同期增减变动幅度(%)年初至报告期末年初至报告期末比上年同期增减变动幅度(%)
营业收入3,101,963,845.3850.628,062,565,115.4246.40
利润总额509,457,874.8622.731,227,224,383.2229.65
归属于上市公司股东的净利润505,275,864.4727.501,211,192,400.8232.66
归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润348,036,426.835.46886,804,273.299.05
经营活动产生的现金流量净额1,095,412,692.01不适用1,298,309,239.31385.23
基本每股收益(元/股)0.8126.561.9431.08
稀释每股收益(元/股)0.8026.981.9231.51
加权平均净资产收益率(%)2.38增加0.27个百分点5.87增加0.91个百分点
研发投入合计1,031,348,610.2979.932,523,003,038.6363.44
研发投入占营业收入的比例(%)33.25增加5.42个百分点31.29增加3.26个百分点
本报告期末上年度末本报告期末比上年度末增减变动幅度(%)
总资产29,786,854,954.2826,217,544,719.0713.61
归属于上市公司股东的所有者权益21,472,163,860.9319,736,912,284.368.79

注:“本报告期”指本季度初至本季度末3个月期间,下同。

公司站在先进制程工艺发展的最前沿,坚持技术的创新、产品的差异化和知识产权保护的基

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本原则。坚持原创的设计,和国际领先的半导体客户公司同步前行。公司目前在研项目涵盖六类设备,超二十款新设备的开发。公司研发新产品的速度显著加快,过去通常需要三到五年开发一款新设备,现在只需两年或更短的时间就能开发出有竞争力的新设备,并顺利进入市场,公司有望在未来几年加速、大规模地推出多种新产品。

公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升,先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件的超高深宽比刻蚀工艺实现大规模量产。其中CCP方面,公司用于关键刻蚀工艺的单反应台介质刻蚀产品保持高速增长,60比1超高深宽比介质刻蚀设备成为国内标配设备,量产指标稳步提升,下一代90比1超高深宽比介质刻蚀设备即将进入市场;ICP方面,适用于下一代逻辑和存储客户用ICP刻蚀设备和化学气相刻蚀设备开发取得了良好进展。加工的精度和重复性已达到单原子水平。公司为先进存储器件和逻辑器件开发的LPCVD、ALD等多款薄膜设备已经顺利进入市场,并且设备性能完全达到国际领先水平,薄膜设备的覆盖率不断增加。公司硅和锗硅外延EPI设备已顺利运付客户端进行量产验证,并且获得客户高度认可。在泛半导体设备领域,公司正在开发更多化合物半导体外延设备,已陆续付运至客户端开展生产验证。

公司2025年前三季度(1-9月)营业收入为80.63亿元,同比增长约46.40%。其中刻蚀设备收入61.01亿元,同比增长约38.26%;LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元,同比增长约1332.69%。

2025年前三季度(1-9月)归属于上市公司股东的净利润为12.11亿元,较上年同期增长约

2.98亿元,同比增长约32.66%,主要原因为:(1)2025年前三季度营业收入增长46.40%下,毛利较上年增长约8.27亿元;(2)由于市场对中微开发多种新设备的需求急剧增长,2025年公司显著加大研发力度,以尽快补短板,实现赶超,为持续增长打好基础。2025年前三季度公司研发支出较上年同期增长9.79亿元(增长约63.44%),研发支出占公司营业收入比例约为31.29%,远高于科创板均值;(3)由于市场波动,公司2025年前三季度计入非经常性损益的股权投资收益为

3.29亿元,较上年同期增加约2.75亿元。

2025年前三季度(1-9月)归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润约8.87亿元,较上年同期增加0.74亿元(增长约9.05%),主要由于营业收入增长下毛利增加8.27亿元,以及研发费用较上年同期增加8.80亿元。

(二)非经常性损益项目和金额

√适用□不适用

单位:元币种:人民币

非经常性损益项目本期金额年初至报告期末金额说明
非流动性资产处置损益,包括已计提资产减值准备的冲销部分27,523,991.9732,266,162.27
计入当期损益的政府补助,但与公司正常经营业务密切相关、符合国家政策规定、按照确定的标准享有、对公司损益产生持续影响的政府补助除外-4,668.7017,823,330.56
除同公司正常经营业务相关的有效套期保值业务外,非金融企业持有金157,821,642.60329,034,514.74

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融资产和金融负债产生的公允价值变动损益以及处置金融资产和金融负债产生的损益
除上述各项之外的其他营业外收入和支出-381,360.812,544,804.10
减:所得税影响额-27,743,522.56-57,301,853.23
少数股东权益影响额(税后)-18,983.04-21,169.09
合计157,239,437.64324,388,127.53

对公司将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》未列举的项目认定为非经常性损益项目且金额重大的,以及将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目,应说明原因。

□适用√不适用

(三)主要会计数据、财务指标发生变动的情况、原因

√适用□不适用

项目名称变动比例(%)主要原因
营业收入_本报告期50.622025年第三季度(7-9月)公司的营业收入为31.02亿元,同比增长50.62%。其中,2025年第三季度刻蚀设备收入达到23.20亿元,较上年同期增长35.34%。
营业收入_年初至报告期末46.402025年前三季度(1-9月)公司的营业收入同比增长46.40%达80.63亿元。公司2025年前三季度刻蚀设备收入为61.01亿元,较去年同期增长约38.26%。
归属于上市公司股东的净利润_年初至报告期末32.662025年前三季度(1-9月)归属于上市公司股东的净利润为12.11亿元,较上年同期增长约2.98亿元,同比增长约32.66%,主要原因为:(1)2025年前三季度营业收入增长46.40%下,毛利较上年增长约8.27亿元;(2)由于市场对中微开发多种新设备的需求急剧增长,2025年公司显著加大研发力度,以尽快补短板,实现赶超,为持续增长打好基础。2025年前三季度公司研发支出较上年同期增长9.79亿元(增长约63.44%),研发支出占公司营业收入比例约为31.29%,远高于科创板均值;(3)由于市场波动,公司2025年前三季度计入非经常性损益的股权投资收益为3.29亿元,较上年同期增加约2.75亿元。
经营活动产生的现金流量净额_年初至报告期末385.232025年前三季度(1-9月)公司经营活动产生的现金流量净额为12.98亿元,同比增长385.23%。主要是随着营业收入的增长,公司的收款增加导致。
基本每股收益(元/股)_年初至报告期末31.08本报告期归属于上市公司股东的净利润的增长导致基本每股收益上升。

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稀释每股收益(元/股)_年初至报告期末31.51
研发投入合计_本报告期79.932025年公司显著加大研发力度,以尽快补短板,实现赶超。公司目前在研项目涵盖六类设备,20多个新设备的开发。随着研发项目的进行,公司增大研发材料投入,以及研发人员人数增加导致研发人员薪酬增长。
研发投入合计_年初至报告期末63.44

二、股东信息

(一)普通股股东总数和表决权恢复的优先股股东数量及前十名股东持股情况表

单位:股

报告期末普通股股东总数60,782报告期末表决权恢复的优先股股东总数(如有)/
前10名股东持股情况(不含通过转融通出借股份)
股东名称股东性质持股数量持股比例(%)持有有限售条件股份数量包含转融通借出股份的限售股份数量质押、标记或冻结情况
股份状态数量
上海创业投资有限公司国有法人93,483,53314.93093,483,5330
巽鑫(上海)投资有限公司国有法人77,188,72212.33077,188,7220
香港中央结算有限公司其他55,893,8958.93055,893,8950
华芯投资管理有限责任公司-国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司国有法人23,254,3493.71023,254,3490
中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金其他14,945,3742.39014,945,3740
招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金其他14,633,5812.34014,633,5810
中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金其他9,937,0331.5909,937,0330
中国工商银行-上证50交易型开放式指数证券投资基金其他8,366,3181.3408,366,3180
中国工商银行股份有限公其他7,503,5201.2007,503,5200

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司-华泰柏瑞沪深300交易型开放式指数证券投资基金
中国建设银行股份有限公司-华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金其他5,672,3160.9105,672,3160
前10名无限售条件股东持股情况(不含通过转融通出借股份)
股东名称持有无限售条件流通股的数量股份种类及数量
股份种类数量
上海创业投资有限公司93,483,533人民币普通股93,483,533
巽鑫(上海)投资有限公司77,188,722人民币普通股77,188,722
香港中央结算有限公司55,893,895人民币普通股55,893,895
华芯投资管理有限责任公司-国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司23,254,349人民币普通股23,254,349
中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金14,945,374人民币普通股14,945,374
招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金14,633,581人民币普通股14,633,581
中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金9,937,033人民币普通股9,937,033
中国工商银行-上证50交易型开放式指数证券投资基金8,366,318人民币普通股8,366,318
中国工商银行股份有限公司-华泰柏瑞沪深300交易型开放式指数证券投资基金7,503,520人民币普通股7,503,520
中国建设银行股份有限公司-华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金5,672,316人民币普通股5,672,316
上述股东关联关系或一致行动的说明巽鑫(上海)投资有限公司与华芯投资管理有限责任公司-国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司存在关联关系。除此之外,未知上述其他股东是否存在关联关系或一致行动关系。

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前10名股东及前10名无限售股东参与融资融券及转融通业务情况说明(如有)/

持股5%以上股东、前10名股东及前10名无限售流通股股东参与转融通业务出借股份情况

□适用√不适用前10名股东及前10名无限售流通股股东因转融通出借/归还原因导致较上期发生变化

□适用√不适用

三、其他提醒事项需提醒投资者关注的关于公司报告期经营情况的其他重要信息

□适用√不适用

四、季度财务报表

(一)审计意见类型

□适用√不适用

(二)财务报表

合并资产负债表2025年9月30日编制单位:中微半导体设备(上海)股份有限公司

单位:元币种:人民币审计类型:未经审计

项目2025年9月30日2024年12月31日
流动资产:
货币资金7,507,444,158.527,761,617,180.32
结算备付金
拆出资金
交易性金融资产790,872,864.79834,024,383.58
衍生金融资产
应收票据54,647,181.0592,614,452.08
应收账款2,092,709,569.901,352,336,466.74
应收款项融资
预付款项138,207,576.5954,423,424.47
应收保费
应收分保账款
应收分保合同准备金
其他应收款28,471,619.3311,387,415.47
其中:应收利息

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应收股利
买入返售金融资产
存货8,193,954,349.447,038,518,704.32
合同资产24,079,352.9628,173,421.93
持有待售资产
一年内到期的非流动资产17,301,642.3614,832,000.00
其他流动资产775,662,365.16712,979,301.33
流动资产合计19,623,350,680.1017,900,906,750.24
非流动资产:
发放贷款和垫款
债权投资
其他债权投资
长期应收款11,171,673.2110,138,889.35
长期股权投资1,432,915,472.77869,593,490.46
其他权益工具投资
其他非流动金融资产2,109,068,702.651,768,867,710.22
投资性房地产5,483,321.855,793,441.93
固定资产2,786,009,086.002,716,202,457.70
在建工程803,729,614.49652,149,990.74
生产性生物资产
油气资产
使用权资产9,371,158.1315,855,988.76
无形资产1,169,173,906.75692,961,834.76
开发支出1,330,662,256.361,247,588,985.02
商誉
长期待摊费用4,727,540.766,153,912.32
递延所得税资产314,891,454.08180,152,570.61
其他非流动资产186,300,087.13151,178,696.96
非流动资产合计10,163,504,274.188,316,637,968.83
资产总计29,786,854,954.2826,217,544,719.07
流动负债:
短期借款
向中央银行借款
拆入资金
交易性金融负债
衍生金融负债
应付票据
应付账款2,106,730,058.621,679,974,308.81
预收款项
合同负债4,388,698,991.332,586,467,855.67
卖出回购金融资产款
吸收存款及同业存放

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代理买卖证券款
代理承销证券款
应付职工薪酬211,835,958.12390,999,571.63
应交税费13,998,888.01208,864,005.92
其他应付款609,949,851.90580,117,043.20
其中:应付利息
应付股利
应付手续费及佣金
应付分保账款
持有待售负债
一年内到期的非流动负债18,839,190.2535,625,808.69
其他流动负债150,490,257.28151,798,662.61
流动负债合计7,500,543,195.515,633,847,256.53
非流动负债:
保险合同准备金
长期借款735,100,000.00721,800,000.00
应付债券
其中:优先股
永续债
租赁负债5,428,013.0310,994,026.49
长期应付款
长期应付职工薪酬
预计负债4,212,996.2115,777,688.36
递延收益95,530,887.0595,736,672.93
递延所得税负债38,613.0138,613.01
其他非流动负债5,289,470.923,808,569.79
非流动负债合计845,599,980.22848,155,570.58
负债合计8,346,143,175.736,482,002,827.11
所有者权益(或股东权益):
实收资本(或股本)626,145,307.00622,363,735.00
其他权益工具
其中:优先股
永续债
资本公积14,800,521,900.8414,102,277,241.39
减:库存股-300,777,168.85-300,777,168.85
其他综合收益9,725,745.842,437,993.70
专项储备
盈余公积311,181,867.50311,181,867.50
一般风险准备
未分配利润6,025,366,208.604,999,428,615.62
归属于母公司所有者权益(或股东权益)合计21,472,163,860.9319,736,912,284.36

/

少数股东权益-31,452,082.38-1,370,392.40
所有者权益(或股东权益)合计21,440,711,778.5519,735,541,891.96
负债和所有者权益(或股东权益)总计29,786,854,954.2826,217,544,719.07

公司负责人:尹志尧主管会计工作负责人:陈伟文会计机构负责人:陈伟文

合并利润表2025年1—9月编制单位:中微半导体设备(上海)股份有限公司

单位:元币种:人民币审计类型:未经审计

项目2025年前三季度(1-9月)2024年前三季度(1-9月)
一、营业总收入8,062,565,115.425,507,194,599.46
其中:营业收入8,062,565,115.425,507,194,599.46
利息收入
已赚保费
手续费及佣金收入
二、营业总成本7,340,762,993.904,686,862,382.99
其中:营业成本4,910,025,964.063,181,954,720.24
利息支出
手续费及佣金支出
退保金
赔付支出净额
提取保险责任准备金净额
保单红利支出
分保费用
税金及附加52,580,289.4219,276,533.22
销售费用320,722,707.74318,633,250.62
管理费用308,335,539.25311,373,120.65
研发费用1,794,094,679.65913,942,970.40
财务费用-44,996,186.21-58,318,212.14
其中:利息费用14,357,599.5911,473,463.34
利息收入82,845,487.8984,675,705.97
加:其他收益167,289,127.4277,737,100.58
投资收益(损失以“-”号填列)68,539,990.1823,778,931.15
其中:对联营企业和合营企业的投资收益26,393,152.69-13,026,377.75
以摊余成本计量的金融资产终止确认收益
汇兑收益(损失以“-”号填列)
净敞口套期收益(损失以“-”号填列)

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公允价值变动收益(损失以“-”号填列)317,297,825.6254,387,065.55
信用减值损失(损失以“-”号填列)-28,719,835.59-14,872,548.54
资产减值损失(损失以“-”号填列)-25,078,480.87-19,191,641.13
资产处置收益(损失以“-”号填列)3,432,574.1490,844.29
三、营业利润(亏损以“-”号填列)1,224,563,322.42942,261,968.37
加:营业外收入6,129,787.916,704,546.73
减:营业外支出3,468,727.112,404,590.27
四、利润总额(亏损总额以“-”号填列)1,227,224,383.22946,561,924.83
减:所得税费用46,460,259.3934,377,786.74
五、净利润(净亏损以“-”号填列)1,180,764,123.83912,184,138.09
(一)按经营持续性分类
1.持续经营净利润(净亏损以“-”号填列)1,180,764,123.83912,184,138.09
2.终止经营净利润(净亏损以“-”号填列)
(二)按所有权归属分类
1.归属于母公司股东的净利润(净亏损以“-”号填列)1,211,192,400.82912,979,678.37
2.少数股东损益(净亏损以“-”号填列)-30,428,276.99-795,540.28
六、其他综合收益的税后净额7,287,752.14447,806.79
(一)归属母公司所有者的其他综合收益的税后净额7,287,752.14447,806.79
1.不能重分类进损益的其他综合收益
(1)重新计量设定受益计划变动额
(2)权益法下不能转损益的其他综合收益
(3)其他权益工具投资公允价值变动
(4)企业自身信用风险公允价值变动
2.将重分类进损益的其他综合收益7,287,752.14447,806.79
(1)权益法下可转损益的其他综合收益-3,853,519.121,351,687.95
(2)其他债权投资公允价值变动
(3)金融资产重分类计入其他综合收益的金额
(4)其他债权投资信用减值准备
(5)现金流量套期储备
(6)外币财务报表折算差额11,141,271.26-903,881.16
(7)其他

/

(二)归属于少数股东的其他综合收益的税后净额
七、综合收益总额1,188,051,875.97912,631,944.88
(一)归属于母公司所有者的综合收益总额1,218,480,152.96913,427,485.16
(二)归属于少数股东的综合收益总额-30,428,276.99-795,540.28
八、每股收益:
(一)基本每股收益(元/股)1.941.48
(二)稀释每股收益(元/股)1.921.46

本期发生同一控制下企业合并的,被合并方在合并前实现的净利润为:0元,上期被合并方实现的净利润为:0元。公司负责人:尹志尧主管会计工作负责人:陈伟文会计机构负责人:陈伟文

合并现金流量表2025年1—9月编制单位:中微半导体设备(上海)股份有限公司

单位:元币种:人民币审计类型:未经审计

项目2025年前三季度(1-9月)2024年前三季度(1-9月)
一、经营活动产生的现金流量:
销售商品、提供劳务收到的现金10,580,960,004.388,209,467,133.66
客户存款和同业存放款项净增加额
向中央银行借款净增加额
向其他金融机构拆入资金净增加额
收到原保险合同保费取得的现金
收到再保业务现金净额
保户储金及投资款净增加额
收取利息、手续费及佣金的现金
拆入资金净增加额
回购业务资金净增加额
代理买卖证券收到的现金净额
收到的税费返还
收到其他与经营活动有关的现金329,206,017.19210,116,490.30
经营活动现金流入小计10,910,166,021.578,419,583,623.96
购买商品、接受劳务支付的现金7,578,219,632.746,860,677,733.68
客户贷款及垫款净增加额
存放中央银行和同业款项净增加额
支付原保险合同赔付款项的现金
拆出资金净增加额
支付利息、手续费及佣金的现金
支付保单红利的现金
支付给职工及为职工支付的现金1,352,622,501.60997,674,217.20
支付的各项税费540,229,751.19215,902,825.45

/

支付其他与经营活动有关的现金140,784,896.7377,761,265.24
经营活动现金流出小计9,611,856,782.268,152,016,041.57
经营活动产生的现金流量净额1,298,309,239.31267,567,582.39
二、投资活动产生的现金流量:
收回投资收到的现金5,754,264,512.168,477,404,872.58
取得投资收益收到的现金66,395,476.25165,399,378.23
处置固定资产、无形资产和其他长期资产收回的现金净额-
处置子公司及其他营业单位收到的现金净额
收到其他与投资活动有关的现金
投资活动现金流入小计5,820,659,988.418,642,804,250.81
购建固定资产、无形资产和其他长期资产支付的现金502,096,588.31695,257,410.50
投资支付的现金5,888,507,258.846,216,637,280.73
购建开发支出所支付的现金619,562,358.61563,239,699.31
质押贷款净增加额
取得子公司及其他营业单位支付的现金净额
支付其他与投资活动有关的现金
投资活动现金流出小计7,010,166,205.767,475,134,390.54
投资活动产生的现金流量净额-1,189,506,217.351,167,669,860.27
三、筹资活动产生的现金流量:
吸收投资收到的现金236,695,696.59100,528,960.50
其中:子公司吸收少数股东投资收到的现金
取得借款收到的现金-250,000,000.00
收到其他与筹资活动有关的现金
筹资活动现金流入小计236,695,696.59350,528,960.50
偿还债务支付的现金4,600,000.00250,000,000.00
分配股利、利润或偿付利息支付的现金199,341,053.93195,949,344.00
其中:子公司支付给少数股东的股利、利润
支付其他与筹资活动有关的现金3,750,295.76311,311,556.75
筹资活动现金流出小计207,691,349.69757,260,900.75
筹资活动产生的现金流量净额29,004,346.90-406,731,940.25
四、汇率变动对现金及现金等价物的影响-11,970,007.30-7,656,730.98
五、现金及现金等价物净增加额125,837,361.561,020,848,771.43
加:期初现金及现金等价物余额5,655,372,752.403,538,458,521.32
六、期末现金及现金等价物余额5,781,210,113.964,559,307,292.75

公司负责人:尹志尧主管会计工作负责人:陈伟文会计机构负责人:陈伟文

/

2025年起首次执行新会计准则或准则解释等涉及调整首次执行当年年初的财务报表

□适用√不适用

特此公告。

中微半导体设备(上海)股份有限公司董事会

2025年10月29日


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