1、张江高科：国产光刻机关键研发与生产，作为上海微电子的主要股东（持股10.779%），其投资价值与国产光刻机的商业化进展深度绑定，上海微电子是国内唯一进行光刻机整机研发的企业。
2、茂莱光学：光学系统是光刻机的“眼睛”，为ASML供应纳米级透镜并通过认证，技术获得国际认可。
3、奥普光电：承担国家光刻机专项物镜系统研发任务，并为上海微电子提供干涉仪。
4、福晶科技：光源为光刻机的“心脏”，它是全球激光晶体核心供应商，在光源上游材料领域地位稳固#每日看盘[超话]##微博股票[超话]##今日看盘[超话]#
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