固态电池产业链持续突破,看好蒸镀锂金属技术

蒸镀锂金属技术超预期、具备降本+提升循环双优势，固态电池制造固固界面时候对设备的精度和能力要求极高，PVD等高精度设备有望在锂金属、SEI膜等环节大展身手。

根据检索结果，真空蒸镀机可以应用于蒸镀锂金属，且已在多个研究和工业场景中得到验证。以下是关键分析：

1. 技术可行性

工艺适配性：真空蒸镀机通过加热锂金属至气态（熔点180.5℃），在真空环境下（压力≤10 Pa）沉积到基材（如铜箔、铝箔）上，形成超薄锂膜（厚度1–20 μm）。例如，专利中采用电子束轰击蒸发源（7.5 kV，70 mA）实现锂颗粒均匀涂覆。

材料兼容性：锂的低熔点和高蒸气压使其适合真空蒸镀，南京航空航天大学研究显示，调节蒸发温度（480–520℃）可制备纯度99.99%的锂箔

中国团队通过真空蒸镀技术制备≤10 μm的锂箔（VELi），用于锂金属电池负极，循环性能优异（LiFePO全电池240次循环后容量保持率90.56%）。

专利显示，卷对卷（R2R）真空蒸镀系统可连续生产锂带，收卷速度1–5 m/min，厚度可控至5–13 μm。

金辰股份：公司高端智能制造装备包括电池镀膜真空蒸镀机，可应用于蒸镀锂金属。