1. KrF(248 nm)
东京电子(TOK) ≈ 34%
2. ArF干式(193 nm)
JSR + 信越化学 两家合计 ≈ 58%
3. ArFi(浸没式)
美国杜邦(原陶氏) ≈ 41%
4. CMP铜抛光液
安集科技(688019) 52% (这是唯一由国产厂商拿下第一名的细分)
在国产厂商内部比,北京科华(KrF)和恒坤新材(ArF/ArFi)分列国产第一、第二,但放到“含外资”的全市场,他们仍排在TOK、JSR、信越、杜邦、Cabot之后,所以恒坤目前只能算“国产龙头”,全球份额还在个位数。
注:此文仅代表作者观点
