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晶合集成获得发明专利授权:“背照式图像传感器及其制备方法”

时间:2026年03月27日 03:46

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“背照式图像传感器及其制备方法”,专利申请号为CN202511635667.3,授权日为2026年3月24日。

专利摘要:本发明属于半导体技术领域,公开一种背照式图像传感器及其制备方法,所述方法包括:提供一晶圆键合结构;晶圆键合结构包括器件晶圆;对器件晶圆的背面进行共离子注入,然后进行化学机械平坦化使器件晶圆减薄至设定厚度,然后在器件晶圆的背面形成衬底氧化层;在衬底氧化层上沉积高介电常数层;进行退火处理。本发明在CMP前对器件晶圆的背面进行共离子注入以改变背面的抛光速率,可以使化学研磨更加平坦化;通过H2O2与损伤Si反应生成牺牲氧化层,并加入HF去除牺牲氧化层可以减小化学研磨后的EPI损伤程度,消除硅损伤的同时,界面处产生的SI‑H键可弥补缺陷;本发明在保证白点以及暗电流终端性能好的前提下,解决气泡问题,提升产品终端性能。

今年以来晶合集成新获得专利授权130个,较去年同期增加了73.33%。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了14.53亿元,同比增13.2%。

通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目638次;财产线索方面有商标信息75条,专利信息1523条,著作权信息9条;此外企业还拥有行政许可22个。

数据来源:天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理,由AI算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。

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