证券之星消息,根据天眼查APP数据显示芯联集成(688469)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种晶圆键合方法及晶圆键合结构”,专利申请号为CN202310890090.5,授权日为2026年3月24日。
专利摘要:本发明提供了一种晶圆键合方法及晶圆键合结构。键合方法包括:提供第一晶圆,在第一晶圆的键合面形成第一键合环层;提供第二晶圆,在第二晶圆的键合面形成第二键合环层,该第二键合环层与第一键合环层相对应;在第二晶圆的第二键合环层内形成第一凹腔;形成贯穿至少一个晶圆的气路通道,该气路通道位于晶圆的非功能器件区;键合并形成键合环。键合结构包括第一晶圆、第二晶圆、第一凹腔、气路通道和键合环。本发明与传统器件相比,通过在晶圆上形成气路通道,使得在抽真空和回填气体时,气体交换更加充分,真空度更接近真值且均匀性更好,回填气体更纯,封装气压能做到更低,提高了器件的性能。
今年以来芯联集成新获得专利授权12个,较去年同期减少了14.29%。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了9.64亿元,同比增10.93%。
通过天眼查大数据分析,芯联集成电路制造股份有限公司共对外投资了19家企业,参与招投标项目1739次;财产线索方面有商标信息16条,专利信息769条,著作权信息3条;此外企业还拥有行政许可43个。
数据来源:天眼查APP
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