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龙图光罩:公司将积极稳妥地推进合格国产基板的验证与导入工作

时间:2026年01月29日 20:47

证券日报网1月29日讯 ,龙图光罩在接受调研者提问时表示,目前国内高纯石英基板在满足高端光罩要求上,主要指标差距体现在材料纯度、缺陷密度、表面平坦度及热膨胀系数稳定性等方面,这些直接影响光罩的精度与良率,差距根源在于高纯度合成与超精密加工等核心技术积累。公司乐见并支持国内高端基板技术的突破,在相关产品能够持续满足工艺稳定性与良率要求的前提下,公司将积极稳妥地推进合格国产基板的验证与导入工作。

(编辑 王雪儿)

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