证券日报网1月29日讯 ，盛美上海在接受调研者提问时表示，2025年，公司立式炉管、Track以及PECVD设备等平台化产品已陆续投放市场，有望为2026年及今后的整体营收贡献力量，成为重要的业绩增长点。Track设备方面，2025年第三季度公司推出首款自主研发的高产出（300WPH）KrF工艺前道涂胶显影（Track）设备UltraLITHKrF，并已顺利交付中国头部逻辑晶圆厂客户，该产品具有高产能、先进温控技术以及实时工艺控制和监测功能，进一步拓展了光刻相关的应用领域，展现了公司在新产品品类中的持续扩展能力。在PECVD设备方面，公司对该类设备的差异化技术构架及未来市场前景非常有信心，后续也将持续加大研发投入，将PECVD设备推向更广阔的国内外市场。LPCVD、ALD炉管系列设备持续推进技术研发，均取得了创新突破。公司自主研发的UltraFn立式炉管设备采用公司独有的立式炉管结构设计，具备最高1250°C的处理能力，能够聚焦高端IGBT应用，市场整体反响良好，下一代产品目标做到具备1350°C的处理能力，对IGBT是重大利好；在ALD设备方面，近年来公司持续强化对ALD设备的研发投入，积累了一系列自主研发的具有全球知识产权保护的专利技术，并期待未来能够在ALD设备均匀性、材质等方面持续做出更多贡献，取得更多技术突破，以差异化创新工艺持续满足客户多样化需求，将成为公司未来业绩增长的一大增长点。

（编辑 袁冠琳）