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晶盛机电:2025年9月公司首条12英寸碳化硅衬底加工中试线在子公司浙江晶瑞SuperSiC正式通线

时间:2026年03月03日 19:57

证券日报网3月3日讯 ,晶盛机电在接受调研者提问时表示,2025年9月,公司首条12英寸碳化硅衬底加工中试线在子公司浙江晶瑞SuperSiC正式通线,至此,子公司浙江晶瑞SuperSiC真正实现了从晶体生长、加工到检测环节的全线设备自主研发,100%国产化,标志着晶盛在全球SiC衬底技术从并跑向领跑迈进,迈入高效智造新阶段。今年1月份,依托自主搭建的12英寸中试线,浙江晶瑞SuperSiC成功实现12英寸碳化硅衬底厚度均匀性(TTV)≤1μm的关键技术突破;这是继建成行业首条12英寸碳化硅中试线后,晶盛机电研发中心与浙江晶瑞SuperSiC联手取得的又一重大成果,充分彰显了晶盛机电“装备+材料”协同创新的核心优势。

(编辑 王雪儿)

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