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江丰电子申请高致密度铝钛合金靶材制备方法专利,靶材致密度高

时间:2025年11月22日 14:16

本文源自:市场资讯

国家知识产权局信息显示,宁波江丰电子材料股份有限公司申请一项名为“一种高致密度铝钛合金靶材的制备方法”的专利,公开号CN 120989563 A,申请日期为2025年8月。

专利摘要显示,本发明涉及一种高致密度铝钛合金靶材的制备方法,所述制备方法包括以下步骤:(1)将钛粉与铝粉混合均匀,得到混合粉末;(2)将所述混合粉末进行冷等静压处理,得到合金压坯;(3)将步骤(2)所述合金压坯装入包套后,依次进行包套焊接处理、脱气处理以及热等静压处理,去除所述包套后得到所述铝钛合金靶材;本发明采用特殊的烧结工艺制备铝钛合金靶材,能够有效解决内部孔洞、成分不均等问题,靶材致密度高,具有优良的溅射性能。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

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