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国家知识产权局信息显示,苏州天准科技股份有限公司申请一项名为“一种光路在线验证调节装置”的专利,公开号CN 121008434 A,申请日期为2025年8月。专利摘要显示,本发明提供了一种光路在线验证调节装置,属于半导体量检测设备的光路调节技术,光路在线验证调节装置包括上游光机构、下游验证机构和在线显示单元;上游光机构用于验证图像信息采集或向光路提供验证照明光源,下游验证机构用于光路输出的接收和/或验证图像信息的采集,在线显示单元连接至上游光机构或下游验证机构,并实时显示光路状态。本申请的方案能够实时在线显示光路状态为半导体量检测设备的光路调节提供了在线调节方案提高了光路调节效率,便于在半导体套刻对准、CD、缺陷等纳米级、亚微米级量检测的光路调节场景推广应用。
天眼查资料显示,苏州天准科技股份有限公司,成立于2009年,位于苏州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19413.65万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州天准科技股份有限公司共对外投资了15家企业,参与招投标项目70次,财产线索方面有商标信息77条,专利信息833条,此外企业还拥有行政许可28个。
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