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国家知识产权局信息显示，上海芯源微企业发展有限公司申请一项名为“一种基板供液装置及基板处理设备”的专利，公开号CN 121011546 A，申请日期为2025年8月。

专利摘要显示，本发明公开了一种基板供液装置及基板处理设备，基板处理装置包括：供液单元，用于提供处理液；输出管路，一端与供液单元连通，另一端为出液口，用于排出流经输出管路的处理液；泵送装置，设于输出管路，以输送输出管路内的处理液；调节装置，设于输出管路；调节装置对流经输出管路的处理液的压力进行多次调节，以使流经输出管路的处理液的压力处于预设区间内。基板处理设备包括基板供液装置、喷头和晶圆承载装置；晶圆承载装置用于承载晶圆；喷头的一端设于出液口并与出液口连通，以使流经输出管路的处理液通过出液口进入喷头；喷头的另一端与晶圆承载装置对应，以使处理液流经喷头后喷至晶圆的表面。本发明能够提升处理液流量稳定性。

天眼查资料显示，上海芯源微企业发展有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事商务服务业为主的企业。企业注册资本63800万人民币。通过天眼查大数据分析，上海芯源微企业发展有限公司参与招投标项目8次，专利信息60条，此外企业还拥有行政许可60个。

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