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国家知识产权局信息显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请一项名为“喷嘴位置调整用的辅助装置及其位置调整方法”的专利，公开号CN121017011A，申请日期为2024年5月。

专利摘要显示，本发明提供了一种喷嘴位置调整用的辅助装置及其位置调整方法，包括：安装于喷嘴上的测距传感器以及可拆卸地安装于所述承片台上且覆盖所述承片台表面的承台治具，用于检测所述喷嘴与承片台的间距，所述测距传感器与所述喷嘴的底端平齐，所述喷嘴可以为治具喷嘴或工艺喷嘴。所述承台治具呈与所述承片台表面相适配的圆形状，所述承台治具的顶面为水平面，所述承台治具位于所述承片台以上部分的厚度与晶圆的厚度相等。在喷嘴上安装测距传感器，使用测距传感器直接测量喷嘴与承片台/承台治具之间的距离，无需配备多个摄像机进行图像合成，降低了设备成本。另外，还避免了图像处理带来的误差，提高了定位的准确性。

天眼查资料显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司，成立于2002年，位于沈阳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本20113.8646万人民币。通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目326次，财产线索方面有商标信息32条，专利信息633条，此外企业还拥有行政许可65个。

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