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国家知识产权局信息显示，上海芯源微企业发展有限公司申请一项名为“基板清洗装置及其组合体”的专利，公开号CN 121054534 A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本申请涉及一种基板清洗装置及其组合体，基板清洗装置包括：清洗腔室阵列，包括多个清洗腔室，具有沿着水平面的第一方向成对排列的层阵列，且在垂直方向上设置为多层；基板中转单元，用于容纳中转的基板；基板盒载台，用于基板清洗装置的基板供给或回收；层间机械手，用于在第一基板盒载台和各层的第一基板中转单元之间以及在第二基板盒载台和各层的第二基板中转单元之间转运基板；以及层内机械手，在清洗腔室阵列的层阵列的每一个中设置一个，位于第一行和第二行之间且沿着第一行和第二行的中分线做直线往复运动，分别用于在每一层的基板中转单元和清洗腔室之间转运基板。

天眼查资料显示，上海芯源微企业发展有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事商务服务业为主的企业。企业注册资本63800万人民币。通过天眼查大数据分析，上海芯源微企业发展有限公司参与招投标项目8次，专利信息62条，此外企业还拥有行政许可60个。

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