（来源：半导体前沿）

2025年9月17日，昊华气体有限公司西南电子特种气体建设项目迎来了环境影响报告书审批公示的关键时刻。该项目坐落于自贡市沿滩区沿滩工业园区的化工新材料产业园，新征占地面积约336.58亩，属于规划三类工业用地。项目总投资高达114326万元，且全部资金均由企业自筹。   

 该项目的建设总规模相当可观，包括6000吨/年电子级三氟化氮气体生产线、4000吨/年光电子级高纯氨生产线以及液体空分装置（生产液氮10万吨/年）生产线。此外，项目还将配套建设一系列公用工程，如供水、供电、循环水站、软水站、冷冻站等；环保工程，涵盖废水、废气处理等；储运工程，包括库房、储罐等；以及中控、办公、生活设施等。    

项目的产品（含中间产品）主要有电子级三氟化氮、电子级高纯氨（中间产品）和液氮，同时还会副产40%氢氟酸、20%氨水、氢氧化镍等。

来源：官方媒体/网络新闻

会议背景

电子特气是半导体制造中的关键材料，对芯片性能和良率有直接影响，是半导体制造的第二大耗材，占比约14%。2025年，中国电子特气市场规模近300亿，且保持每年10%的增长。

追随空气化工、林德、液化空气、大阳日酸等国际企业的步伐，国内电子特气企业金宏气体、华特气体、南大光电、中船特气和雅克科技等纷纷取得突破。国内企业已经在关键领域实现突破，产品进入台积电、美光、中芯国际等国际头部晶圆厂供应链。然而，高端前驱体和光刻气等仍依赖进口，国产化率低，具备很大的发展潜力。

2024年全球半导体金属/氧化物前驱体市场规模达17亿美元，同比增长15%。中国作为重要市场，亚化咨询预计2028年半导体前驱体市场将达12亿美元。主要受益于存储芯片及逻辑芯片先进制程的需求。伴随中芯、华润、华虹、长江存储、长鑫、等本土晶圆厂扩产，国产前驱体在纯度、定制化解决方案领域替代空间巨大。国内龙头企业雅克科技、南大光电、正帆科技发展迅速，厦门恒坤、上海至纯等在前驱体领域也不断推进。 

2025电子特气与半导体前驱体论坛（AESG2025）将于11月5-6日在苏州召开。会议由亚化咨询主办，金宏气体等企业战略支持。将探讨电子特气与前驱体发展现状与趋势，搭建产学研平台，聚焦技术创新、工艺优化、供应链安全与合作，推动半导体核心材料跨越式发展。

会议主题

• 全球与中国半导体发展的材料需求

• 半导体特气国产化进程与高端市场突破

• 电子特气与前驱体在晶圆厂的认证

• 金属/金属氧化物/硅基前驱体与掺杂材料技术

• 从实验室到量产：电子气体与前驱体的产业化

• ALD/CVD前驱体材料的国产化现状与未来方向

• ArF/DUV/EUV光刻过程中的气体纯度与控制技术

• 光刻胶配套特气的协同创新机遇

• 电子特气与前驱体分析检测技术与设备

• 合成、提纯技术（如精馏、吸附）与设备

• 阀门与配套设备的本土化进展

• 安全性评估与储运标准体系建设

• 商务参观：金宏气体