（来源：大风口上的猪）

今日光刻机板块走强，概念股震荡上扬。新莱应材盘中创新高，凯美特气涨停，富创精密涨超10%，广立微、华特气体、珂玛科技等个股跟涨。

消息面上，10月11日深圳表示，以超常规力度支持半导体产业发展，已设立50亿元产业投资基金。其次，深圳本土企业新凯莱将参展10月15-17日湾区半导体展并预期带来惊喜。此外，11月20-21日将举办光刻胶研讨会，强化国产替代预期。

分析人士指出，深圳政策提供短期产业催化剂，直接利好本地光刻机产业链；新凯莱的技术突破预期吸引了市场资金提前布局；光刻胶研讨会重申2030年关键材料国产化目标，有望增强板块长期投资信心，带动国产替代情绪升温，但需关注消息落地进度。

光刻机相关概念股如下：新莱应材涉及半导体设备和光刻机部件领域，今日涨幅突出；凯美特气提供光刻气体等关键材料；富创精密专注于精密仪器制造；广立微布局半导体测试和软件支持。相关的ETF有华夏中证机床ETF（159663）、国泰中证机床ETF（159667）、万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）。

近5个交易日，光刻机概念累计上涨3.09%，期间主力资金累计净卖出17.11亿元。这表明尽管板块有所上扬，但主力资金净流出可能反映短期获利了结或市场分歧，需关注资金流向后续变化。