投资者提问:
据披露,公司EUV反射镜镀膜设备已向长春理工大学、张江实验室交付10台,用于国产EUV原型机研发。请问该设备在客户端的膜层附着力测试(此前提及达50MPa,超国际标准40MPa)是否已通过长期验证?目前是否启动了下一代High-NA EUV非球面镜片镀膜设备的客户送样?
董秘回答(汇成真空SZ301392):
尊敬的投资者,您好。公司设备技术及工艺以定期报告披露为主,感谢您的关注。
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