投资者提问:
公司开发的锡滴过滤与真空蒸馏回收系统,此前称已集成于上海微电子LPP-EUV光源,可将锡利用率提升至95%。请问该系统目前在客户产线的实际运行中,锡纯度恢复是否稳定达到99.999%的EUV光源要求?是否已进入中芯国际等晶圆厂的EUV验证线测试?
董秘回答(汇成真空SZ301392):
尊敬的投资者,您好。公司暂无该产品,感谢您的关注。
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