投资者提问:
公司的AGV转运系统已成功用于晶棒搬运和线切环节,并支持晶圆棒自动量测、粘棒设备上下料等功能。请问,在蚀刻、薄膜沉积、光刻等更前端的关键制程中,是否已开发出将AGV系统与晶圆缺陷检测设备(如光学检测设备)集成的解决方案?
董秘回答(赛腾股份SH603283):
尊敬的投资者您好,感谢您对公司的关注!公司AGV转运设备及其周边配套设备已得到客户认可,公司与客户始终保持密切沟通,努力持续深挖客户需求,谢谢!
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