投资者提问:
英诺激光在EUV光刻机预脉冲激光器领域的技术突破时间线如下:根据公开披露,该项目预计2026年实现量产,届时将填补国内EUV预脉冲激光器的空白。当前研发进度符合预期,2025年第三季度已进入设备调试阶段,请问这属实吗?
董秘回答(英诺激光SZ301021):
尊敬的投资者,您好!公司半导体业务进展,请关注公司公告。感谢您的关注!
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