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光智科技:回应投资者关于光刻机技术研究及专利相关问题

时间:2025年10月24日 15:47

投资者提问:

公司孙公司安徽光智科技有限公司在光刻机光源、光刻工艺方面的技术研究有哪些?据公开信息:光刻机曝光光源聚焦深度稳定性的工艺监控方法、改善光刻图形以及线宽异常的曝光方法是公司在光刻机领域取得的专利对吗?

董秘回答(光智科技SZ300489):

尊敬的投资者您好!公司是从事红外光学全产业链、高性能铝合金材料研发、生产和销售的高新技术企业,公司产品广泛应用于安防视频监控、车载物联网、工业检测、航空航天、电子信息、交通运输、核燃料加工设备制造等领域。感谢您的关注。

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