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大洋生物:芯之纯主要生产碳化硅高纯陶瓷等半导体核心零部件

时间:2026年03月11日 15:58

投资者提问:

据悉大洋投资的芯之纯半导体材料公司产品,主要用于半导体制造前道工序,比如刻蚀、薄膜沉积、离子注入、光刻和氧化扩散设备。请问公司产品涉及陶瓷材料,陶瓷加热器和静电卡盘吗?谢谢

董秘回答(大洋生物SZ003017):

尊敬的投资者,您好!芯之纯半导体材料有限公司主要生产碳化硅高纯陶瓷产品,如石墨托盘、聚焦环、喷淋头等。产品属于半导体制造设备核心零部件。

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