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力合科技:公司半导体AMC监测未用化学电离飞行时间质谱法

时间:2026年03月18日 15:00

投资者提问:

请问公司在半导体AMC监测使用化学电离飞行时间质谱法技术吗?

董秘回答(力合科技SZ300800):

尊敬的投资者,您好!目前公司在半导体AMC监测方面,有针对颗粒物及颗粒物成分、无机气体、挥发性有机气体全套监测方案,监测原理暂未使用到化学电离飞行时间质谱法。感谢您的关注!

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