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力合科技:半导体AMC监测部分参数可实现ppt级

时间:2026年03月18日 15:00

投资者提问:

请问公司产品在半导体AMC监测领域浓度控制可以实现ppt级吗?谢谢!

董秘回答(力合科技SZ300800):

尊敬的投资者,您好!目前公司在半导体AMC监测方面,有针对颗粒物及颗粒物成分、无机气体、挥发性有机气体全套监测方案,AMC中部分参数可以到ppt级。感谢您的关注!

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