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力合科技:自主研发系统用于半导体车间空气监测,回应AMC业务情况

时间:2026年03月19日 20:45

投资者提问:

半导体制程节点向个位数纳米、甚至埃米级别迈进,晶圆上的电路结构愈发精细,对AMC的敏感度急剧提升,AMC监测已从半导体制造的“辅助环节”升级为“核心刚需”,成为保障先进制程稳定推进的关键支撑。请问公司在AMC监测领域如何开展业务,对该业务有重点研究发展吗?

董秘回答(力合科技SZ300800):

尊敬的投资者,您好!公司自主研发了LFGCMS-100环境空气挥发性有机物气相色谱-质谱连续监测系统,高度集成了VOCs在线富集、GC-MS+FID联用检测、气体发生器、配气仪等仪器和部件,通过创新设计、多平台软件协同工作,可连续监测100余种VOCs组分,实现空气中VOCs组分连续24h定性定量监测。系统目前已应用于半导体车间空气监测。感谢您的关注!

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