| 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万) | 占总股本 比例(%) | 较2025-03-31 持股变动数(万) |
| 深圳南山架桥卓越智能装备投资合伙企业(有限合伙) | 一般法人 | 510.20 | 5.1020 |  |
| 兴证证券资管-兴业银行-兴证资管鑫众汇成真空1号员工战略配售集合资产管理计划 | 券商 | 238.00 | 2.3800 | |
| 交通银行股份有限公司-永赢半导体产业智选混合型发起式证券投资基金 | 基金 | 168.00 | 1.6800 | 61.74 |
| 华安媒体互联网(001071.OF) | 基金 | 123.94 | 1.2394 | |
| 中国工商银行股份有限公司-华安媒体互联网混合型证券投资基金 | 基金 | 123.94 | 1.2394 | 56.06 |
| 深圳市宁濛瑞投资有限公司 | 一般法人 | 123.00 | 1.2300 | |
| 金信稳健策略混合(007872.OF) | 基金 | 121.66 | 1.2166 | 3.16 |
| 博时信用债券A(050011.OF) | 基金 | 106.00 | 1.0600 | |
| 中国工商银行股份有限公司-博时信用债券投资基金 | 基金 | 106.00 | 1.0600 | |
| 夏侯早耀 | 一般法人 | 92.71 | 0.9271 | |
