| 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万) | 占总股本 比例(%) | 较2025-03-31 持股变动数(万) |
| 谷德力 | 一般法人 | 155.14 | 0.3558 | 44.86 |
| 国联安中证全指半导体产品与设备 (512480.OF) | 基金 | 64.22 | 0.1473 | |
| 国泰君安证券股份有限公司-国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 64.22 | 0.1473 | |
| 费琳 | 一般法人 | 60.57 | 0.1389 | 24.34 |
| 招商银行股份有限公司-南方中证1000交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 55.61 | 0.1276 | |
| 南方中证1000ETF(512100.OF) | 基金 | 55.61 | 0.1275 | |
| 邱小玲 | 一般法人 | 51.05 | 0.1171 | 0.00 |
| 中国建设银行股份有限公司-西部利得事件驱动股票型证券投资基金 | 基金 | 46.90 | 0.1076 | |
| 泰达宏利成长混合(162201.OF) | 基金 | 41.75 | 0.0958 | |
| 交通银行股份有限公司-宏利价值优化型成长类行业混合型证券投资基金 | 基金 | 41.75 | 0.0958 | |
