| 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万) | 占总股本 比例(%) | 较2025-06-30 持股变动数(万) |
| 淄博星恒途松控股有限公司 | 一般法人 | 9238.23 | 23.9600 | 0.00 |
| 殷福华 | 一般法人 | 6413.73 | 16.6300 | 0.00 |
| 季文庆 | 一般法人 | 972.93 | 2.5200 | 0.00 |
| 镇江市杰华投资有限公司 | 一般法人 | 645.46 | 1.6700 | 0.00 |
| 唐艳 | 一般法人 | 372.72 | 0.9700 | -21.53 |
| 香港中央结算有限公司 | 一般法人 | 333.45 | 0.8600 |  |
| 陈永勤 | 一般法人 | 250.80 | 0.6500 | 0.00 |
| 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 246.37 | 0.6400 | 140.57 |
| 黄建东 | 一般法人 | 142.00 | 0.3700 | -3.00 |
| 玄元私募基金投资管理(广东)有限公司-玄元科新272号私募证券投资基金 | 基金 | 131.19 | 0.3400 | -214.62 |
