| 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万) | 占总股本 比例(%) | 较2025-06-30 持股变动数(万) |
| 衢州市柯城区盈川产业基金管理有限公司 | 基金 | 8000.00 | 5.4200 | 0.00 |
| 深圳市远致富海投资管理有限公司-深圳远致富海十一号投资企业(有限合伙) | 一般法人 | 5142.49 | 3.4800 | -30.00 |
| 中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 1332.55 | 0.9000 | -65.23 |
| 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 624.63 | 0.4200 |  |
| 招商银行股份有限公司-南方中证1000交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 540.64 | 0.3700 | -3.62 |
| 海通创新证券投资有限公司 | 券商 | 508.30 | 0.3400 | |
| 应淑秋 | 一般法人 | 479.21 | 0.3200 | |
| 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 446.19 | 0.3000 | |
| 国泰海通证券股份有限公司-国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 403.63 | 0.2700 | |
| 广发证券股份有限公司-鹏华上证科创板100交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 356.54 | 0.2400 | -5.01 |
