| 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万) | 占总股本 比例(%) | 较2025-03-31 持股变动数(万) |
| 深圳国中创业投资管理有限公司-深圳国中中小企业发展私募股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 基金 | 429.62 | 4.5700 | -93.47 |
| 深圳南山架桥卓越智能装备投资合伙企业(有限合伙) | 一般法人 | 410.67 | 4.3700 | -94.01 |
| 北京石溪清流私募基金管理有限公司-合肥石溪产恒集成电路创业投资基金合伙企业(有限合伙) | 基金 | 316.28 | 3.3600 | 0.00 |
| 三亚市采希壹号私募基金合伙企业(有限合伙) | 基金 | 261.00 | 2.7800 | -2.96 |
| 招商银行股份有限公司-兴全合润混合型证券投资基金 | 基金 | 233.74 | 2.4900 |  |
| 兴全合润分级股票(163406.OF) | 基金 | 233.74 | 2.4863 | |
| 深圳源创力清源创业投资合伙企业(有限合伙) | 一般法人 | 181.32 | 1.9300 | -27.66 |
| 广东红土创业投资管理有限公司-深圳市人才创新创业一号股权投资基金(有限合伙) | 基金 | 169.00 | 1.8000 | -55.74 |
| 深圳市睿通达投资合伙企业(有限合伙) | 一般法人 | 162.50 | 1.7300 | |
| 常州清源天使创业投资合伙企业(有限合伙) | 一般法人 | 155.28 | 1.6500 | -23.67 |
