累计持有：5033.10万股，累计占流通股本比38.33%，较上期变化： -228.72万股 ，占比变化： -1.74%

累计持有：5261.82万股，累计占流通股本比40.07%，较上期变化： -127.14万股 ，占比变化： -0.97%

累计持有：5388.96万股，累计占流通股本比41.04%，较上期变化： -39.20万股 ，占比变化： -0.30%

累计持有：5428.16万股，累计占流通股本比41.34%，较上期变化： -35.87万股 ，占比变化： -0.27%

累计持有：5464.03万股，累计占流通股本比41.61%，较上期变化： -302.06万股 ，占比变化： -2.30%

股东名称	持有数量 (万股)	持股变化 (万股)	占流通股本比例(%)	占比变化(%)	股份类型
张立新	3430.10	未变	26.12	未变	流通A股
易扬波	468.40	未变	3.57	未变	流通A股
国家集成电路产业投资基金股份有限公司	418.27	-87.10	3.19	-0.66	流通A股
李志宏	261.78	未变	1.99	未变	流通A股
薛伟明	159.70	未变	1.22	未变	流通A股
上海睿郡资产管理有限公司－睿郡有孚1号私募证券投资基金	152.73	未变	1.16	未变	流通A股
陈健	147.99	2.00	1.13	0.02	流通A股
天风证券股份有限公司	143.36	2.31	1.09	0.02	流通A股
华林创新投资有限公司	141.00	新进	1.07	新进	流通A股
国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金	140.70	新进	1.07	新进	流通A股