| 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万) | 占总股本 比例(%) | 较2025-09-30 持股变动数(万) |
| 宁波旭诺创业投资基金管理合伙企业(有限合伙) | 基金 | 536.97 | 8.9495 | 0.00 |
| 上海金浦新兴产业股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 基金 | 304.25 | 5.0708 | -33.08 |
| 钟格 | 一般法人 | 287.00 | 4.7833 | 0.00 |
| 天津金海通半导体设备股份有限公司-2025年员工持股计划 | 一般法人 | 173.48 | 2.8913 | 8.59 |
| 南京金浦新潮创业投资合伙企业(有限合伙) | 一般法人 | 172.00 | 2.8666 | -6.65 |
| 秦维辉 | 一般法人 | 95.58 | 1.5931 | |
| MERRILL LYNCH INTERNATIONAL | 一般法人 | 73.46 | 1.2243 | |
| MORGAN STANLEY & CO. INTERNATIONAL PLC. | 一般法人 | 72.61 | 1.2102 | |
| 中国建设银行股份有限公司-国寿安保智慧生活股票型证券投资基金 | 基金 | 63.28 | 1.0546 | 0.00 |
| 余慧莉 | 一般法人 | 60.62 | 1.0103 | |
