| 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万) | 占总股本 比例(%) | 较2025-03-31 持股变动数(万) |
| 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 基金 | 5502.67 | 19.6714 |  |
| 国投(上海)创业投资管理有限公司-国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙) | 基金 | 3788.80 | 13.5445 | |
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 一般法人 | 2051.63 | 7.3343 | 0.00 |
| 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 779.38 | 2.7862 | -8.02 |
| 华夏上证科创板50成份ETF(588000.OF) | 基金 | 779.38 | 2.7862 | |
| 香港中央结算有限公司 | 一般法人 | 682.77 | 2.4408 | 119.26 |
| 中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 579.02 | 2.0699 | 19.25 |
| 易方达上证科创板50成份ETF(588080.OF) | 基金 | 579.02 | 2.0699 | |
| 中国工商银行股份有限公司-诺安成长混合型证券投资基金 | 基金 | 454.88 | 1.6262 | -18.47 |
| 诺安成长混合(320007.OF) | 基金 | 454.88 | 1.6261 | |
